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倍率を50ミクロンとした、ニッケル、銅、亜鉛粒子を示すChemiSEM画像
（Thermo Scientific ChemiSEMアプリケーションの適用前と適用後）
（Thermo Scientific ChemiSEMアプリケーションの適用前と適用後）
EDS分析
EDS（EDX）分析（エネルギー分散型X線分光法）は、微細組織の組成情報を明らかにできる強力な技術です。EDSは走査電子顕微鏡（SEM）と組み合わせることで、試料上の収束した電子線が走査した箇所から放出される特性X線を用いて組成情報を取得できます。この技術により検出できる元素の範囲は、周期律表のほぼすべてに及びます。EDSが提供するデータは、プロセス、および品質の管理から故障解析、基礎研究に至るまで、幅広いアプリケーションに不可欠です。そのため、ほぼすべてのSEMにEDSシステムが装備されています。
ChemiSEMテクノロジーを用いたSEM EDS分析
Thermo Scientific ChemiSEMテクノロジーは、使いやすさ、利便性、および分析速度を飛躍的に向上させます。最新の元素分析と電子画像をリアルタイムで統合します。1つのソフトウェアインターフェイスで、以下を実現できます。
- 任意の電子検出器からサンプル画像を表示する
- サンプル表面のさまざまな化学組成を持つエリアを見る
- ワンクリックで、ポイントやエリアの組成分析を表示する
- サンプル全体の組成の変化をグラフ化する
- サンプル全体の元素や相の分布に関するマップを作成する
ChemiSEMテクノロジーはEDS分析に革命をもたらし、元素情報をより迅速かつ簡単に提供します。SEMのユーザーインターフェースに完全に統合されているため、元素情報がライブ画像でカラー表示されます。ChemiSEMテクノロジーは、ライブ定量分析結果と数十年にわたる当社のEDS分析の専門知識を基に構築されており、信頼性の高い結果を保証します。ChemiSEMテクノロジーは常にオンになっており、結果取得までの時間が大幅に短縮されるだけではありません。以前は見落とされていたであろう特徴も表示し、より完全な情報やより信頼できる情報を提供します。
ChemiSEMテクノロジーを用いたSEM EDS分析のメリット
データ取得までの時間を短縮
ChemiSEMテクノロジーは、機械学習や超高速シグナル処理、最も厳しいSEM EDSに基づく新しいデータセグメンテーションアプローチを組み合わせています。つまり、ChemiSEMテクノロジーにより、従来の手法の2～4倍の速さで元素情報を取得できるということです。
高い信頼性
ChemiSEMテクノロジーは、数十年におよぶ専門知識の蓄積であり、非常幅広い操作条件で正確な定性および定量分析を実現します。
情報の完全性
ChemiSEMテクノロジーでは最大限に包括的なマイクロスケールでの元素組成が得られます。即座にカラーで結果が得られるため、全体像を確認して、他の分析方法では見落としがちな欠陥や不均一性を発見できます。
常時オン
カラーイメージングと元素分析の統合により、研究者は試料ごとにSEMイメージングからEDS分析に移行する必要がなくなり、カラー画像取得のための時間を削減できます。
操作性
より広範なユーザーベース - 操作性に優れ、カラー情報の即時取得が可能なChemiSEMテクノロジーを利用することで、誰でも元素情報にアクセスできます。さまざまなユーザーが使用するラボの環境において、設備を使用できる科学者やエンジニアの数を容易に増やすことができます。
ChemiSEM技術は常時オンになっており、あらゆるユーザーが元素データを取得できます。これまで以上に完全な情報を取得できます。以下の動画で、EDSとSEMの同時分析の有用性の例をいくつかご覧ください。
あっという間に元素情報を取得
これは30 mm2 EDS検出器を装備したThermo Scientific Prisma E SEMで撮影した動画です。ChemiSEMテクノロジーによる高速取得を始め、組成の自動同定（AutoID）および解析対象の元素選択が簡単にできることを実証しています。
見落とされがちなコントラストを強調
ChemiSEMは常時オンのテクノロジーであるため、元素情報が必要な際にアプリケーションを切り替える必要はなく、結果はSEMユーザーインターフェースの画面上にライブ表示されます。この動画では、いくつかの分析法による元素情報（ポイントおよびエリア）を取り上げています。
信頼できるEDS情報
信頼性のない元素情報は役に立ちません。この動画では、ChemiSEMテクノロジーによりX線ピークのオーバーラップとデコンボリューションがどのように処理されるかが示されており、ライブのカラーイメージングであっても関連する元素情報が正しく取得されることが確認できます。
詳細情報をお求めですか？詳細についてはChemiSEMテクノロジーのパンフレットをダウンロードしてください ›
オンデマンドのe-learningでは、以下のことができます：
- ChemiSEMを使用することで、より完全な試料情報確認が可能になり、欠陥を含む重要な構造情報を見逃さずに検出する方法をご覧いただけます。
- 常時オンのカラーイメージングと元素分析の統合により、カラー画像の生成時間がどれだけ削減できるかを解説しています。
- ChemiSEMテクノロジーを使用することにより、従来の手法の2～4倍の速さで元素情報を取得できることをご確認ください。
参考資料
当社のeBook、「産業界におけるSEMおよびEDS分析」をダウンロードして、詳細をご覧ください：
- SEMおよびEDS分析の統合アプリケーションが、産業用途向けの詳細な材料解析をどのようにサポートするかをご覧になれます
- 当社独自のThermo Scientific ChemiSEM技術は、これら2つの技術を1つの迅速で使いやすいパッケージに統合したものであり、初心者でも専門家でも利用しやすく、価値のあるものとなっています
オンデマンドのe-learningでは、以下のことができます：
- ChemiSEMを使用することで、より完全な試料情報確認が可能になり、欠陥を含む重要な構造情報を見逃さずに検出する方法をご覧いただけます。
- 常時オンのカラーイメージングと元素分析の統合により、カラー画像の生成時間がどれだけ削減できるかを解説しています。
- ChemiSEMテクノロジーを使用することにより、従来の手法の2～4倍の速さで元素情報を取得できることをご確認ください。
品質管理と不良解析
近年の産業では、品質管理と品質保証が不可欠です。私たちは、欠陥をマルチスケールかつ多モードで分析可能なEMおよび分光ツールを提供しており、これらにより得られる信頼性の高い十分な情報によりプロセス制御および改善のための決定が可能となります。
基礎材料研究
新材料開発では、その物理的および化学的特性を最大化するために、より小さなスケールでの研究がなされています。電子顕微鏡は、マイクロスケールからナノスケールのさまざまな材料特性について重要な情報を研究者に提供します。
繊維およびフィルター
合成繊維の直径、形態、密度は、フィルターの寿命と機能性を決定する重要なパラメーターです。走査電子顕微鏡法（SEM）は、これらの特徴を迅速かつ容易に調査するための理想的な手法です。
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