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Thermo Scientific Quattro ESEMは、イメージングおよび分析における多目的に対応できる高性能と独自の環境モード（ESEM）を組み合わせており、試料を自然な状態で観察できます。多様な学術、産業、政府機関のラボに最適で、さまざまな経験レベルや分野のユーザーに対応する汎用性と使いやすさを備えており、独自のin situ分析にも対応しています。Quattro ESEMは、高分解能を実現する電界放出電子銃（FEG）を備えており、3種類の真空モード（高真空、低真空、およびESEM）により、ガス放出のある試料や高真空で観察不可能な試料など、幅広い試料に対応できます。
高性能と汎用性
Quattro ESEMは、さまざまなオプションに対応する試料室を備えた、汎用性の高い分析装置です。180°デュアルEDS接続用ポートを備えたエネルギー分散型X線分光（EDS）、EDSと同一平面上にある電子後方散乱回折（EBSD）、波長分散型X線分光（WDS）などの分析機能を備えています。
Quattro ESEMでは、オプションの高真空加熱ステージ、Thermo Scientific AutoScript 4ソフトウェア（Pythonベースのスクリプトツール）、および新型RGBカソードルミネッセンス（CL）検出器を利用できます。RGB CL検出器はカラー画像を生成し、従来の電子またはX線イメージング技術では確認できない試料特性を明らかにします。高真空加熱ステージにより、きれいな高温観察が可能です。AutoScript 4ソフトウェアを使用すると、無人での自動データ取得およびステージ移動をスクリプトによって実行できます。
Quattro ESEMのアプリケーション例：
ナノ解析
- 金属、合金、破断、溶接、研磨された表面、磁性材料、超伝導材料
- セラミック、複合材料、プラスチック
- フィルム／コーティング
- 地質断面、鉱物
- 軟質材料: 高分子材料、医薬品、フィルター、ゲル、組織、植物材料
- 粒子、多孔質材料、繊維
in situの解析
- 結晶化／相変態
- 酸化、触媒
- 材料の成長
- 水和／脱水／湿潤／接触角分析
- 引張り試験（加熱または冷却機能付き）
動的in situ分析
Quattro ESEMの汎用性は、材料科学における幅広い試料と用途に適しています。従来の高分解能SEMイメージング／分析にも、動的in situ分析にも、等しく適しています。これにより、研究者は自然な状態で幅広い試料を研究し、構造や組成に関するもっとも正確な情報を得ることができます。
独自の環境制御モード
Quattro ESEMの環境制御型観察機能を使用することで、湿潤／多湿、高温、反応性などのさまざまな条件下で材料を観察し、建設、自動車、包装、コーティング、エネルギー材料など、多様な分野の新しい材料や製品の開発に利用できます。Quattro ESEMは、酸化、腐食、エッチング、結晶成長、触媒作用などの化学反応を研究する独自の機能を備えており、科学や環境に大きな影響を与えることができます。
動的in situ分析
自然状態の材料のin situ研究：環境制御モード（ESEM）を備えた独自の高分解能FEG-SEM。各種の冷却、ペルチェ、加熱ステージを用いた温度範囲-165℃～1,400℃でのin situ分析。
試料作製時間の短縮
低真空とESEM機能により、非導電性試料や水和した試料の帯電のないイメージングおよび分析が可能になります。
試料観察
あらゆる操作モードで、SEとBSEを同時に利用して、どの試料でも豊富な情報を入手できます。
優れた分析機能
同時に3つのEDS検出器を装備できるチャンバー、180°離れた2つのEDSポート、WDS、同一平面上のEDS/EBSDが、優れた分析機能をもたらします。非導電性試料の優れた分析：Quattro ESEMの差動排気真空システムにより、低真空での正確なEDSおよびEBSDを実現します。
柔軟で正確
傾斜範囲105°の柔軟性と正確性に優れたユーセントリック試料ステージにより、あらゆる視点から試料を観察できます。
革新的なオプションで簡単操作
使いやすくて直感的なソフトウェア、ユーザーガイダンスとやり直し（Undo）機能があります。少ないマウスクリックで、より迅速なデータ取得。新たな革新的なオプションとして、リトラクタブルRGBカソードルミネッセンス（CL）検出器、1,100℃の高真空加熱ステージ、Pythonベースのスクリプトツール（API）を提供するAutoScript4ソフトウェアなどが追加されています。
Style Sheet for Products Table Specifications
| 分解能 |
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| 標準検出器 |
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| オプション検出器 |
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| ChemiSEMテクノロジー（オプション） |
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| ステージバイアス（ビーム減速、オプション） |
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| 低真空モード |
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| ステージ |
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| 標準試料ホルダー |
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| チャンバー |
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| in situアクセサリー（オプション） |
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| ソフトウェアのオプション |
|
Style Sheet for Komodo Tabs
CaCu3Ti4O12（CCTO）は、非常に高い誘電率を持つ化合物です。試料提供：フランスCRISMAT研究所、Sylvain Marinel氏。
Quattro ESEMを使用すると、これらの花粉粒のように、ESEMモードで湿度100%での試料調査ができます。
ESEMモードで水が凝縮または蒸発すると塩の結晶が溶解して再結晶します。
Webセミナー：走査電子顕微鏡：お客様のニーズに合った適切な技術を選択します
このオンデマンドWebセミナーは、お客様独自のニーズに最適なSEMを決定するのに役立つよう設計されています。当社は、マルチユーザー研究ラボ向けの サーモフィッシャーサイエンティフィックSEM技術の概要を説明し、これらの幅広いソリューションがどのように性能、汎用性、in situダイナミクスを提供し、結果を得るまでの時間を短縮するかに焦点を当てています。ご興味のある方は、以下のWebセミナーをご覧ください。
- さまざまな微量分析モダリティ（EDS、EBSD、WDS、CLなど）のニーズを満たす方法。
- 前処理を必要とせずに、試料を自然な状態で解析する方法。
- 新しい高度な自動化により、研究者が時間を節約し、生産性を向上させる方法。
CaCu3Ti4O12（CCTO）は、非常に高い誘電率を持つ化合物です。試料提供：フランスCRISMAT研究所、Sylvain Marinel氏。
Quattro ESEMを使用すると、これらの花粉粒のように、ESEMモードで湿度100%での試料調査ができます。
ESEMモードで水が凝縮または蒸発すると塩の結晶が溶解して再結晶します。
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- 前処理を必要とせずに、試料を自然な状態で解析する方法。
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電子顕微鏡を使用したプロセス制御
近年の産業では、確かなプロセス制御によって維持される優れた品質とスループットの両立が求められています。専用の自動化ソフトウェアを搭載したSEMおよびTEMツールは、プロセスモニタリングおよびプロセス改善のための迅速なマルチスケール情報を提供します。
品質管理と不良解析
近年の産業では、品質管理と品質保証が不可欠です。私たちは、欠陥をマルチスケールかつ多モードで分析可能なEMおよび分光ツールを提供しており、これらにより得られる信頼性の高い十分な情報によりプロセス制御および改善のための決定が可能となります。
基礎材料研究
新材料開発では、その物理的および化学的特性を最大化するために、より小さなスケールでの研究がなされています。電子顕微鏡は、マイクロスケールからナノスケールのさまざまな材料特性について重要な情報を研究者に提供します。
半導体のパスファインディングと開発
高性能半導体デバイス製造を可能にするソリューションや設計へ導く高度な電子顕微鏡、集束イオンビーム、および関連する分析手法。
歩留り改善と計測
当社は、幅広い半導体アプリケーションやデバイスの生産性向上と歩留り改善に寄与する、欠陥分析、計測、およびプロセス制御のための高度な分析機能を提供しています。
半導体故障解析
半導体デバイスは益々構造が複雑化しているため、欠陥の原因と成り得る箇所が増えています。私たちの次世代ワークフローは、歩留り、性能、信頼性に影響を与える僅かな電気的不良の特定と解析に役立ちます。
物理解析および化学分析
継続的な性能要求により、小型で高速、かつ安価な電子デバイス開発が促進されています。これらの製造には、多岐に渡る半導体およびディスプレイデバイスのイメージング、分析、解析を行う、生産性の高い装置とワークフローが重要な役割を果たします。
エネルギー分散分光法
エネルギー分散分光法（EDS）を使用することにより、電子顕微鏡の画像情報に加えて、詳細な元素情報も収集できます。電子顕微鏡観察時に重要な組成分布を得ることができます。EDSにより、全容を示す低倍率のスキャンから、原子分解能マッピングに至るまで、試料の元素組成情報が短時間で得られます。
高温試料のイメージング
実際の条件下で材料を研究するには、高温の試料を観察する必要もよくあります。高温下で材料が再結晶化、溶解、変形、反応する際の挙動は、走査電子顕微鏡またはDualBeamシステムを用いてin situで研究できます。
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環境制御型SEM（ESEM）
環境制御型SEMにより、材料を本来の状態で観察できます。これは、ウェットな、汚れている、反応性のある、ガス放出があるなどの真空に適さない試料を扱う研究者に最適です。
In situ試験
加熱、冷却、液中での再結晶化、グレイン成長、相変態などの動的プロセスの基本原理を理解するには、電子顕微鏡を用いて、微細構造変化を直接かつリアルタイムで観察する必要があります。
粒子解析
粒子解析は、ナノマテリアルの研究および品質管理において重要な役割を果たします。電子顕微鏡のナノスケールの分解能と優れたイメージングは、粉末や粒子の迅速な解析のための専用ソフトウェアと組み合わせて使用することが出来ます。
カソードルミネッセンス
カソードルミネッセンス（CL）では電子ビームで励起され、物質から放出された光を検出します。この信号は、特殊なCL検出器によって収集され、試料の組成、結晶欠陥、またはフォトニクス特性に関する情報が得られます。
ChemiSEM
ChemiSEM技術は、ライブEDS（エネルギー分散型X線分光法）とライブ定量を使用して、SEM画像をカラー化します。どのユーザーでも、組成のデータを継続的に取得して、これまで以上に詳細な情報を得ることができます。
半導体のイメージング・分析
サーモフィッシャーサイエンティフィックは、一般的なイメージング業務から、正確な電圧コントラスト測定を必要とする高度な故障解析技術まで、半導体ラボのあらゆる機能に対応する走査電子顕微鏡を提供します。
エネルギー分散分光法
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高温試料のイメージング
実際の条件下で材料を研究するには、高温の試料を観察する必要もよくあります。高温下で材料が再結晶化、溶解、変形、反応する際の挙動は、走査電子顕微鏡またはDualBeamシステムを用いてin situで研究できます。
環境制御型SEM（ESEM）
環境制御型SEMにより、材料を本来の状態で観察できます。これは、ウェットな、汚れている、反応性のある、ガス放出があるなどの真空に適さない試料を扱う研究者に最適です。
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加熱、冷却、液中での再結晶化、グレイン成長、相変態などの動的プロセスの基本原理を理解するには、電子顕微鏡を用いて、微細構造変化を直接かつリアルタイムで観察する必要があります。
粒子解析
粒子解析は、ナノマテリアルの研究および品質管理において重要な役割を果たします。電子顕微鏡のナノスケールの分解能と優れたイメージングは、粉末や粒子の迅速な解析のための専用ソフトウェアと組み合わせて使用することが出来ます。
カソードルミネッセンス
カソードルミネッセンス（CL）では電子ビームで励起され、物質から放出された光を検出します。この信号は、特殊なCL検出器によって収集され、試料の組成、結晶欠陥、またはフォトニクス特性に関する情報が得られます。
ChemiSEM
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Style Sheet to change H2 style to p with em-h2-header class
Style Sheet for Support and Service footer
Style Sheet for Fonts
Style Sheet for Cards