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現代の産業プロセスでは、費用対効果を高めるために高速の生産が求められています。ただ、最終製品の品質、信頼性、一貫性も非常に重要です。そのため、プロセス管理は、生産を最適に調整し、生産量と品質のバランスを取ることを目指しています。サイズ、形態、不純物などのさまざまなパラメータのモニタリングは、分析が生産時間全体に与える影響を最小限に抑えるために、できるだけ効率的である必要があります。さらに、プロセスの調整が試料の真の特性に基づいて確実に行われるように、観察は高い信頼性を必要とします。
電子顕微鏡（EM）は汎用性が高く貴重なデータをもたらす機器ですが、プロセス制御アプリケーションとしての用途に関しては実用性に欠けていました。その理由はマニュアル操作を必要とするためです。現在、専用ツールや自動化ソフトウェアが登場し、電子顕微鏡は生産モニタリングと分析に欠かせないものとなりつつあります。同じ装置内でエネルギー分散型X線分光法（EDS）に電子顕微鏡観察を組み合わせることで、構造情報に加えて原子の組成情報も得ることができます。
走査電子顕微鏡（SEM）ツールは、製品品質に根本的に影響を与えるサブミクロンからナノメートルスケールの粒子、介在物、欠陥を自動的に可視化、定量化、および報告することができます。透過型電子顕微鏡（TEM）は、ナノ粒子の構造や元素組成などのナノスケール以下の特徴を観察し、解析することができ、さらに詳細な情報を得ることができます。この迅速な分析は数分で実行でき、重要なプロセス制御と改善のための重要な試料パラメータに関する実用的で堅牢な統計値を作成できます。また、試料内部の情報が必要な場合は、DualBeam（集束イオンビームとSEM）により表面ミリングとイメージングを交互に行うサンプルプロービングが可能で、層構造などの3D情報を取得できます。
サーモフィッシャーサイエンティフィックは、プロセス制御アプリケーション専用のハードウェアおよびソフトウェアソリューションを幅広く提供しています。詳細については、以下のリンクを参照してください。
シートメタル上のリン酸亜鉛のSEM像。
SEMにより取得されたアディティブマニュファクチャリングその後、解析ソフトウェアを用いて粒子と凝集体の分離が可能。
Talos TEMでは、Maps、Velox、Avizoソフトウェアの組み合わせにより、ナノ粒子の広領域TEMデータの生成と解析の自動処理が可能。ここでは、その後のデータ分析により粒子径の分布を特定。試料提供：B. Gorman教授、R. Richards教授、コロラド鉱山大学。
Thermo Scientific Talos TEMによって生成されたナノ粒子の広領域TEM像。次の像は、これらの粒子をサイズに応じて自動的に分析しソートしたもの。試料提供：B. Gorman教授、R. Richards教授、コロラド鉱山大学。
Talos TEMでは、Maps、Velox、Avizoソフトウェアの組み合わせにより、ナノ粒子の広領域TEMデータの生成と分析の自動処理が可能。表示色は粒子サイズに対応。データはその後の定量および分析が可能。試料提供：B. Gorman教授、R. Richards教授、コロラド鉱山大学。
シートメタル上のリン酸亜鉛のSEM像。
SEMにより取得されたアディティブマニュファクチャリングその後、解析ソフトウェアを用いて粒子と凝集体の分離が可能。
Talos TEMでは、Maps、Velox、Avizoソフトウェアの組み合わせにより、ナノ粒子の広領域TEMデータの生成と解析の自動処理が可能。ここでは、その後のデータ分析により粒子径の分布を特定。試料提供：B. Gorman教授、R. Richards教授、コロラド鉱山大学。
Thermo Scientific Talos TEMによって生成されたナノ粒子の広領域TEM像。次の像は、これらの粒子をサイズに応じて自動的に分析しソートしたもの。試料提供：B. Gorman教授、R. Richards教授、コロラド鉱山大学。
Talos TEMでは、Maps、Velox、Avizoソフトウェアの組み合わせにより、ナノ粒子の広領域TEMデータの生成と分析の自動処理が可能。表示色は粒子サイズに対応。データはその後の定量および分析が可能。試料提供：B. Gorman教授、R. Richards教授、コロラド鉱山大学。
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(S)TEM試料作製
DualBeam顕微鏡では、(S)TEM分析用の高品質な極薄膜試料の作製が可能です。高度な自動化機能により、ユーザーの経験レベルにかかわらず、あらゆる材料で熟練者と同等の結果を得ることができます。
3D材料解析
多くの場合、材料の開発にはマルチスケールの3D解析が必要です。DualBeam装置により、大量の連続スライスと、その後のナノメートルスケールでのSEMイメージングが可能となり、試料の高品質な3D再構成処理を行うことができます。
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EDS元素分析
EDSは、電子顕微鏡観察に不可欠な組成情報を提供します。特に、当社独自のSuper-XおよびDual-X検出器システムはSTEM-EDS分析の速度や感度を向上させるため、材料の研究に必要な元素分布情報が入手しやすくなります。
ChemiSEM
ChemiSEM技術は、ライブEDS（エネルギー分散型X線分光法）とライブ定量を使用して、SEM画像をカラー化します。どのユーザーでも、組成のデータを継続的に取得して、これまで以上に詳細な情報を得ることができます。
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環境制御型SEM（ESEM）
環境制御型SEMにより、材料を本来の状態で観察できます。これは、ウェットな、汚れている、反応性のある、ガス放出があるなどの真空に適さない試料を扱う研究者に最適です。
In situ試験
加熱、冷却、液中での再結晶化、グレイン成長、相変態などの動的プロセスの基本原理を理解するには、電子顕微鏡を用いて、微細構造変化を直接かつリアルタイムで観察する必要があります。
マルチスケール分析
新しい材料の場合、その構造全体を把握しながら、高い分解能で分析する必要があります。マルチスケール分析では、X線マイクロCT、DualBeam、レーザーPFIB、SEM、TEMなどのさまざまなイメージング技術や方法の相関が可能です。
自動NanoParticleワークフロー（APW）は、ナノ粒子分析用の透過型電子顕微鏡ワークフローです。広領域のナノスケール高分解能イメージングとデータ取得、およびその場での処理を行えます。
(S)TEM試料作製
DualBeam顕微鏡では、(S)TEM分析用の高品質な極薄膜試料の作製が可能です。高度な自動化機能により、ユーザーの経験レベルにかかわらず、あらゆる材料で熟練者と同等の結果を得ることができます。
3D材料解析
多くの場合、材料の開発にはマルチスケールの3D解析が必要です。DualBeam装置により、大量の連続スライスと、その後のナノメートルスケールでのSEMイメージングが可能となり、試料の高品質な3D再構成処理を行うことができます。
EDS元素分析
EDSは、電子顕微鏡観察に不可欠な組成情報を提供します。特に、当社独自のSuper-XおよびDual-X検出器システムはSTEM-EDS分析の速度や感度を向上させるため、材料の研究に必要な元素分布情報が入手しやすくなります。
ChemiSEM
ChemiSEM技術は、ライブEDS（エネルギー分散型X線分光法）とライブ定量を使用して、SEM画像をカラー化します。どのユーザーでも、組成のデータを継続的に取得して、これまで以上に詳細な情報を得ることができます。
環境制御型SEM（ESEM）
環境制御型SEMにより、材料を本来の状態で観察できます。これは、ウェットな、汚れている、反応性のある、ガス放出があるなどの真空に適さない試料を扱う研究者に最適です。
In situ試験
加熱、冷却、液中での再結晶化、グレイン成長、相変態などの動的プロセスの基本原理を理解するには、電子顕微鏡を用いて、微細構造変化を直接かつリアルタイムで観察する必要があります。
マルチスケール分析
新しい材料の場合、その構造全体を把握しながら、高い分解能で分析する必要があります。マルチスケール分析では、X線マイクロCT、DualBeam、レーザーPFIB、SEM、TEMなどのさまざまなイメージング技術や方法の相関が可能です。
自動NanoParticleワークフロー（APW）は、ナノ粒子分析用の透過型電子顕微鏡ワークフローです。広領域のナノスケール高分解能イメージングとデータ取得、およびその場での処理を行えます。
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