Search Thermo Fisher Scientific
3D電子顕微鏡
新材料の研究や不良の根本原因の解明の場合であっても、かつてないほど微小な特徴を有し、ますます複雑化する試料に対して、極めて局所的な解析を行うことは、ますます重要になっています。実際に、試料の材料特性を完全に理解するには、しばしば断面または三次元の解析が必要になります。これは、異種材料あるいは、介在物や析出物の検出および解析に特に有用です。DualBeam（集束イオンビーム–走査電子顕微鏡、FIB-SEM）装置では、連続断面加工法（SEM観察およびFIB加工の連続適用）により、ナノメートルレベルの分解能で高品質な三次元データセットを取得できます。
プラズマFIB（PFIB）
しばしば、大きな試料による全容のデータから判断された代表的で統計的な結果を得るために、一般的なガリウムFIB装置では不可能な容量のデータが必要になることがあります。Thermo Scientific Helios 5 PFIB DualBeamやThermo Scientific Helios Hydra DualBeamなどのプラズマFIB装置では、その優れた高電流特性を活かし、高品質かつボリュームの大きな3次元データをさまざまなモダリティで完全自動取得することが可能です。さらに、Helios Hydra DualBeamの複数のイオン源技術により、特定の試料毎に、また使用事例每に適したイオン源を選択できます。
プラズマFIB連続加工法では、材料のコントラスト（後方散乱電子イメージング）、組成情報（EDS）、および微細構造と結晶構造情報（電子後方散乱回折）に関する情報を提供します。これらのデータは、Thermo Scientific Avizoソフトウェアを使用して可視化できます。このソフトウェアは、ナノメートルスケールで得られ、最高の分解能で高度な三次元特性評価と分析を実現する、独自のワークフローを提供します。
レーザーPFIB
Thermo Scientific Helios 5レーザーPFIBシステムでは、通常のプラズマFIBでは不可能な広範囲の断面撮影や3次元解析が可能で、ミリメートルスケールまでの3次元解析を実施できます（粗加工速度はガリウムFIBより>15,000倍高速）。また、チャージアップしやすい材料やビームに敏感な材料など、イオンビームによる加工が困難な材料でも、最小限のダメージで処理できます。
Helios PFIB DualBeam、Auto Slice & View 4ソフトウェア、Avizoソフトウェアにより取得したジルカロイ試料（250×250×220 µm³）の3D EBSD再構築。
Helios DualBeamでレーザーPFIBにより取得した、炭素繊維強化複合材料の大ボリュームのフェムト秒レーザートモグラフィー。観察の横幅は500 µm。
選択的レーザー溶融テクノロジーで生産されたスチール試料の広範囲断面。レーザーによる総ミリング時間は5分未満（面積：600×350 µm）。フェムト秒のレーザー処理により高品質な切断面が得られるため、FIBによる後処理不要でEBSDの直接マッピングが可能。
自動車塗装のスクラッチ検査。Helios Plasma FIB DualBeamを用いてハイスループットな広範囲の断面イメージングを実施。
Thermo Scientific Scios 2 DualBeamシステム、Auto Slice & View 4ソフトウェア、Avizo材料科学用ソフトウェアにより取得したW-Mo-Cu試料のBSE（緑-青）画像とEDS（オレンジ）マップを組み合わせて再構築した3Dデータ。
Helios Hydra DualBeamでイメージングされ、Avizoソフトウェアで三次元再構築された自動車用のオイルフィルター枠（ポリマー／ガラス繊維の複合材料）。視野範囲は350 µmです。
Helios Hydra DualBeamでイメージングされ、Amiraソフトウェアで三次元再構築された包埋された組織試料。Helios Hydra DualBeamはこのような有機材料の高品質な三次元解析にも有効です。
Helios DualBeamでレーザーPFIBにより取得した、炭素繊維強化複合材料の大ボリュームのフェムト秒レーザートモグラフィー。観察の横幅は500 µm。
選択的レーザー溶融テクノロジーで生産されたスチール試料の広範囲断面。レーザーによる総ミリング時間は5分未満（面積：600×350 µm）。フェムト秒のレーザー処理により高品質な切断面が得られるため、FIBによる後処理不要でEBSDの直接マッピングが可能。
自動車塗装のスクラッチ検査。Helios Plasma FIB DualBeamを用いてハイスループットな広範囲の断面イメージングを実施。
Thermo Scientific Scios 2 DualBeamシステム、Auto Slice & View 4ソフトウェア、Avizo材料科学用ソフトウェアにより取得したW-Mo-Cu試料のBSE（緑-青）画像とEDS（オレンジ）マップを組み合わせて再構築した3Dデータ。
Helios Hydra DualBeamでイメージングされ、Avizoソフトウェアで三次元再構築された自動車用のオイルフィルター枠（ポリマー／ガラス繊維の複合材料）。視野範囲は350 µmです。
Helios Hydra DualBeamでイメージングされ、Amiraソフトウェアで三次元再構築された包埋された組織試料。Helios Hydra DualBeamはこのような有機材料の高品質な三次元解析にも有効です。
品質管理と不良解析
近年の産業では、品質管理と品質保証が不可欠です。私たちは、欠陥をマルチスケールかつ多モードで分析可能なEMおよび分光ツールを提供しており、これらにより得られる信頼性の高い十分な情報によりプロセス制御および改善のための決定が可能となります。
基礎材料研究
新材料開発では、その物理的および化学的特性を最大化するために、より小さなスケールでの研究がなされています。電子顕微鏡は、マイクロスケールからナノスケールのさまざまな材料特性について重要な情報を研究者に提供します。
繊維およびフィルター
合成繊維の直径、形態、密度は、フィルターの寿命と機能性を決定する重要なパラメーターです。走査電子顕微鏡法（SEM）は、これらの特徴を迅速かつ容易に調査するための理想的な手法です。
Style Sheet for Instrument Cards Origin
Style Sheet for Komodo Tabs
Style Sheet to change H2 style to p with em-h2-header class
Style Sheet for Support and Service footer
Style Sheet for Fonts
Style Sheet for Cards
材料科学向けの
電子顕微鏡サービス
最適なシステム性能をお届けするため、当社は国際的なネットワークで、分野ごとのサービスエキスパート、テクニカルサポート、正規交換部品などを提供しています。
