FIB-SEM装置

学術分野や産業会の研究者やエンジニアは、さまざまな試料や材料の局所領域の解析を必要としており、常に新たな課題に直面しています。物質の品質を改善する継続的な努力が求められ、そこにはナノスケールの構造解析や組成情報が必要となることがほとんどです。DualBeam、集束イオンビーム走査電子顕微鏡(FIB-SEM)は、精密なFIB試料加工とSEMの高分解能イメージングを組み合わせることで、必要なデータを正確に提供しています。

サーモフィッシャーサイエンティフィックは、DualBeam装置に関して、25年以上の経験を有するFIB-SEM技術における業界のリーダーです。当社は、透過電子顕微鏡（TEM）の試料作製、表面下解析および3D解析、ナノプロトタイピング、in situ実験など、幅広いアプリケーションに対応する幅広い製品レンジと高度な自動化機能を提供しています。

TEM試料作製

TEM試料作製は、材料科学研究においてもっとも重要な作業の1つと考えられています。しかし、これはもっとも困難で時間のかかる作業の1つでもあります。DualBeamテクノロジーの最新の技術革新と当社の包括的なソフトウェアソリューションおよびアプリケーションの専門知識により、さまざまな材料の加工位置精度の高い高品質S/TEM（走査／透過電子顕微鏡）試料を迅速かつ簡単に作製できます。Thermo Scientific AutoTEMソフトウェアは、完全に自動化されたin situ TEM試料作製機能を追加し、スループットを大幅に向上させ、経験にかかわらず専門家レベルの結果を提供します。

構造解析

DualBeam装置をThermo Scientific Auto Slice & Viewソフトウェアと組み合わせることで、表面下解析用に材料を部分的に除去（ミリング）し、試料の3D構造を明らかにできます。デジタル再構成は、材料のコントラストを最大化するための反射電子（BSE）イメージング、組成情報を得るためのエネルギー分散分光法（EDS）、微細構造および結晶構造情報を得るための電子後方散乱回折（EBSD）など、さまざまな信号で構成されるマルチモーダル3Dデータセットを生成します。

DualBeam装置のSEM機能は、STEMモードで30 keVで得られる構造情報から、低エネルギーで帯電のない詳細な表面情報まで、幅広い作業条件でナノスケールの詳細情報を提供します。独自のインレンズ検出器を備えたDualBeamシステムは、角度／エネルギー選択的な二次電子データおよびBSEデータを同時に取得できるように設計されています。当社独自のSEMカラム設計は、完全自動化されたレンズアライメントを特長とし、高速、正確、かつ再現性の高い結果を提供します。

ナノプロトタイピング

DualBeamシステムのナノパターニング機能により、研究開発期間を大幅に短縮することができます。FIBを使用したラピッドプロトタイピングでは、最終的なデバイスレイアウトがバッチ製造用に確立される前に機能テストが可能になります。さまざまな材料のビーム誘起蒸着は、追加のアライメントリソグラフィーステップを必要とせずにFIBミリングと組み合わせることができ、パターンは蒸着構造に直接付加することも、既存のパターンを変更することもできます。最終的なパターン化された基板は、すぐに使用でき、さらなる処理や解析が可能です。