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Thermo Scientific AutoTEM 5ソフトウェアは、DualBeam（集束イオンビーム走査電子顕微鏡、FIB-SEM）システム用の独自のソリューションで、幅広い材料科学試料の全自動in situ透過型電子顕微鏡（TEM）試料の作製をサポートします。あらゆる経験レベルのユーザーに、迅速で信頼性が高く再現性の高い結果を提供します。
高品質
どのような経験レベルのユーザーでも、1時間以内に高品質のS/TEM試料を作製することができます。
完全なワークフロー
自動チャンキング、ユーザーガイドによるリフトアウト、自動化された最終薄膜化など、in situ S/TEM試料作製の完全なワークフロー。
自動化されたin situ試料作製
トップダウン、平面、反転など、さまざまなジオメトリーを使用した、完全に自動化されたin situ試料作製。
堅牢な結果
幅広い材料科学試料に対して、堅牢で予測可能な結果を提供します
ハイスループット
完全に自動化された無人マルチサイトのin-situ/ex-situリフトアウトおよび自動クロスセクション機能によるハイスループット。
高度な設定が可能なワークフロー
高度に設定可能なワークフローにより、難しい試料の作製が可能。
Style Sheet for Products Table Specifications
手動作製 | AutoTEM 5ソフトウェア | ||
|---|---|---|---|
材料 | 金属および合金 | ||
半導体 | |||
高分子材料およびセラミック | |||
プロセスカバレッジ | チャンクミリング | 手動 | 完全自動またはインタラクティブ |
リフトアウトプロセス | 手動 | ||
最終的な薄膜化 | 手動 | ||
低エネルギーポリッシング | 手動 | ||
仕様 | スループット | 60～120分 | < 45分 |
高品質 | ユーザーによって異なります | プロトコルによって異なります | |
再現性 | - | ||
夜間運転 | - | ||
ユーザー | 経験レベル | 専門家 | 初心者 |
Style Sheet for Komodo Tabs
アルミニウム試料では、AutoTEMソフトウェアを使用して5x6配列のS/TEMラメラを完全に無人で作製、アンダーカットし、6時間以内にリフトアウト可能な状態になります。このソフトウェアを使用することで、アレイを自動的に定義し、個々の位置をシフトして、より正確にラメラを配置できます。
チャンキングおよびアンダーカット後の試料の事例で、in situリフトアウトの準備ができました。側面にある大きなフィデューシャルはチャンキングの自動化に使用され、ラメラ上の小さなフィデューシャルは後に最終的な薄膜化を自動化するために使用されます。
AutoTEM 5ソフトウェアで、in situリフトアウト法の銅グリッド上でのラメラ位置を定義。
Auto TEMソフトウェアを使用してショットピーニングされた、アルミニウム試料から1時間以内に作製された完成品ラメラのSEM画像。
アルミニウム試料では、AutoTEMソフトウェアを使用して5x6配列のS/TEMラメラを完全に無人で作製、アンダーカットし、6時間以内にリフトアウト可能な状態になります。このソフトウェアを使用することで、アレイを自動的に定義し、個々の位置をシフトして、より正確にラメラを配置できます。
チャンキングおよびアンダーカット後の試料の事例で、in situリフトアウトの準備ができました。側面にある大きなフィデューシャルはチャンキングの自動化に使用され、ラメラ上の小さなフィデューシャルは後に最終的な薄膜化を自動化するために使用されます。
AutoTEM 5ソフトウェアで、in situリフトアウト法の銅グリッド上でのラメラ位置を定義。
Auto TEMソフトウェアを使用してショットピーニングされた、アルミニウム試料から1時間以内に作製された完成品ラメラのSEM画像。
基礎材料研究
新材料開発では、その物理的および化学的特性を最大化するために、より小さなスケールでの研究がなされています。電子顕微鏡は、マイクロスケールからナノスケールのさまざまな材料特性について重要な情報を研究者に提供します。
電子顕微鏡を使用したプロセス制御
近年の産業では、確かなプロセス制御によって維持される優れた品質とスループットの両立が求められています。専用の自動化ソフトウェアを搭載したSEMおよびTEMツールは、プロセスモニタリングおよびプロセス改善のための迅速なマルチスケール情報を提供します。
品質管理と不良解析
近年の産業では、品質管理と品質保証が不可欠です。私たちは、欠陥をマルチスケールかつ多モードで分析可能なEMおよび分光ツールを提供しており、これらにより得られる信頼性の高い十分な情報によりプロセス制御および改善のための決定が可能となります。
半導体のパスファインディングと開発
高性能半導体デバイス製造を可能にするソリューションや設計へ導く高度な電子顕微鏡、集束イオンビーム、および関連する分析手法。
歩留り改善と計測
当社は、幅広い半導体アプリケーションやデバイスの生産性向上と歩留り改善に寄与する、欠陥分析、計測、およびプロセス制御のための高度な分析機能を提供しています。
半導体故障解析
半導体デバイスは益々構造が複雑化しているため、欠陥の原因と成り得る箇所が増えています。私たちの次世代ワークフローは、歩留り、性能、信頼性に影響を与える僅かな電気的不良の特定と解析に役立ちます。
物理解析および化学分析
継続的な性能要求により、小型で高速、かつ安価な電子デバイス開発が促進されています。これらの製造には、多岐に渡る半導体およびディスプレイデバイスのイメージング、分析、解析を行う、生産性の高い装置とワークフローが重要な役割を果たします。
(S)TEM試料作製
DualBeam顕微鏡では、(S)TEM分析用の高品質な極薄膜試料の作製が可能です。高度な自動化機能により、ユーザーの経験レベルにかかわらず、あらゆる材料で熟練者と同等の結果を得ることができます。
断面加工
断面加工により、表面下の情報が明らかになり、さらなる知見が得られます。DualBeam装置は、高品質の断面加工を実現する、優れた集束イオンビームカラムを備えています。自動化機能により、無人でのハイスループットな試料処理が可能になります。
マルチスケール分析
新しい材料の場合、その構造全体を把握しながら、高い分解能で分析する必要があります。マルチスケール分析では、X線マイクロCT、DualBeam、レーザーPFIB、SEM、TEMなどのさまざまなイメージング技術や方法の相関が可能です。
半導体TEMイメージングおよび分析
サーモフィッシャーサイエンティフィックの透過電子顕微鏡は、半導体デバイスの高分解能イメージングと分析が可能で、メーカーはツールセットの校正、故障診断、および全体的なプロセス効率の最適化を行うことができます。
TEM測長
先進的で自動化されたTEM測長ルーチンは、マニュアル測長よりもはるかに高い精度を実現します。これにより、オペレーター依存がなく、サブオングストロームレベルの仕様で、統計的に相関がある大量のデータを生成することができます。
半導体デバイスの試料作製
Thermo Scientific DualBeamシステムを使用すると、半導体デバイスの原子スケール分析で使用するTEMサンプルを正確に作製できます。自動化および高度な機械学習テクノロジーにより、高品質試料を正しい位置で、試料あたりのコストを抑えて作製できます。
半導体レーザーアブレーション
レーザーアブレーションにより、試料の完全性を維持しながら、電子顕微鏡によるイメージングおよび分析のための、半導体デバイスの高速加工が可能となります。大容量の3Dデータにアクセスして、お客様の試料タイプに適するようミリング条件を最適化します。
(S)TEM試料作製
DualBeam顕微鏡では、(S)TEM分析用の高品質な極薄膜試料の作製が可能です。高度な自動化機能により、ユーザーの経験レベルにかかわらず、あらゆる材料で熟練者と同等の結果を得ることができます。
断面加工
断面加工により、表面下の情報が明らかになり、さらなる知見が得られます。DualBeam装置は、高品質の断面加工を実現する、優れた集束イオンビームカラムを備えています。自動化機能により、無人でのハイスループットな試料処理が可能になります。
マルチスケール分析
新しい材料の場合、その構造全体を把握しながら、高い分解能で分析する必要があります。マルチスケール分析では、X線マイクロCT、DualBeam、レーザーPFIB、SEM、TEMなどのさまざまなイメージング技術や方法の相関が可能です。
半導体TEMイメージングおよび分析
サーモフィッシャーサイエンティフィックの透過電子顕微鏡は、半導体デバイスの高分解能イメージングと分析が可能で、メーカーはツールセットの校正、故障診断、および全体的なプロセス効率の最適化を行うことができます。
TEM測長
先進的で自動化されたTEM測長ルーチンは、マニュアル測長よりもはるかに高い精度を実現します。これにより、オペレーター依存がなく、サブオングストロームレベルの仕様で、統計的に相関がある大量のデータを生成することができます。
半導体デバイスの試料作製
Thermo Scientific DualBeamシステムを使用すると、半導体デバイスの原子スケール分析で使用するTEMサンプルを正確に作製できます。自動化および高度な機械学習テクノロジーにより、高品質試料を正しい位置で、試料あたりのコストを抑えて作製できます。
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