The Thermo Scientific iFast Developer's Tool Kit combines the flexibility of scripting with the ease of use of graphical programming to make recipe creation faster and easier than ever before. 

The iFast Developer's Tool Kit enables operators to quickly and easily create new or modify existing recipes to fit their specific needs. Recipes are edited within a new intuitive graphical environment, enabling faster learning of the programming environment as well as an easier understanding of existing recipes. Within the iFast Developer's environment, the operator is able to control column settings, detector settings, stage motion and position, patterning and site alignments with logical operation and looping. This enables a high degree of customization to match specific application requirements. 

iFast Recorder is included with iFast Developer's Tool Kit allowing to record recipes interactively on an instrument both for unattended operation as well as the creation of a baseline recipe for further enhancements with the Developer's Tool Kit.

Key Features

  • Graphical programming environment.
  • Runner for unattended operation.
  • Alignment tools: image recognition and edge finding.
  • FIB, SEM, Stage, GIS, patterning and other controls.
  • Macro recorder for faster recipe creating.
  • Process looping.
  • Logical tests such as If-Then statements.

Applications

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高性能半導体デバイス製造を可能にするソリューションや設計へ導く高度な電子顕微鏡、集束イオンビーム、および関連する分析手法。

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歩留り改善と計測

当社は、幅広い半導体アプリケーションやデバイスの生産性向上と歩留り改善に寄与する、欠陥分析、計測、およびプロセス制御のための高度な分析機能を提供しています。

半導体故障解析

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半導体デバイスは益々構造が複雑化しているため、欠陥の原因と成り得る箇所が増えています。私たちの次世代ワークフローは、歩留り、性能、信頼性に影響を与える僅かな電気的不良の特定と解析に役立ちます。

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物理解析および化学分析

継続的な性能要求により、小型で高速、かつ安価な電子デバイス開発が促進されています。これらの製造には、多岐に渡る半導体およびディスプレイデバイスのイメージング、分析、解析を行う、生産性の高い装置とワークフローが重要な役割を果たします。


Techniques

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半導体のイメージング・分析

サーモフィッシャーサイエンティフィックは、一般的なイメージング業務から、正確な電圧コントラスト測定を必要とする高度な故障解析技術まで、半導体ラボのあらゆる機能に対応する走査電子顕微鏡を提供します。

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電子顕微鏡サービス

最適なシステム性能をお届けするため、当社は国際的なネットワークで、分野ごとのサービスエキスパート、テクニカルサポート、正規交換部品などを提供しています。

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