第6世代の卓上SEM Thermo Scientific Phenom Pro G6は、光学顕微鏡とフロアーモデルSEM分析の間のギャップを埋め、研究設備の機能を拡張します。

卓上SEM Phenom Pro G6は、スピーディーで使いやすいため、フロアーモデルのSEM機器で必要となる、一般的試料をルーチン分析する際の負担を軽減できます。装置構成と試料導入メカニズムにより、実験間の調整にかかる時間を最小限に抑えながら、スピーディーに高画質な画像を得ることが可能です。

卓上SEM Phenom Pro G6を使えば、誰もが簡単にスピーディーに高画質な画像を得ることができます。長寿命のCeB6電子銃を搭載することにより、低メンテナンスで済むと同時に、高輝度が実現できます。さらに、その高い安定性と小型の形状により、装置をほぼすべてのラボ環境で使用できます。さらに端的に言えば、特殊なインフラは必要なく誰でも簡単に使用できます。

主な特徴

簡単

卓上SEM Phenom ProのカラーのNavCamは、光学像とSEM像のリンクを行うのに役立つ情報を提供します。ユーザーは、わずか10分間の基本トレーニングですぐ画像を取得できるようになります。広範囲なアプリケーションに対応できるよう、様々な試料ホルダをご用意しています。当社の特許取得済み試料真空導入技術により、試料導入が迅速かつ簡単です。

Phenom ProSuiteソフトウェア

Thermo Scientific Phenom ProSuiteソフトウェアは、卓上SEM Phenomの機能をさらに強化するために開発された、オプションのソフトウェアアプリケーションプラットフォームです。Phenom ProSuiteソフトウェアを使用すると、卓上SEM Phenom Proで取得した画像から最大限の情報を抽出できます。 

二次電子検出器

オプションで、卓上SEM Phenom Proで二次電子検出器(SED)を使用できます。SEDは、試料の上部表面層から低エネルギー電子を収集します。そのため、詳細な試料の表面情報を明らかにするのに最適です。 


仕様

Style Sheet for Products Table Specifications

光学ナビゲーション倍率

  • 20~134倍

電子顕微鏡倍率

  • 160~350,000倍

分解能

  • 6 nm以下(二次電子)、8 nm以下(反射電子)

デジタルズーム

  • 最大12倍

光学NavCam

  • カラー

加速電圧

  • デフォルト:5 kV、10 kV、15 kV
  • アドバンスモード:4.8 kV~20.5 kVの範囲で調整可能

真空モード

  • 高真空モード
  • オプションのチャージ軽減ホルダによる帯電軽減モード(低真空モード)

検出器

  • 反射電子検出器(標準)
  • エネルギー分散型X線分析装置(オプション)
  • 二次電子検出器(オプション)

試料サイズ

  • 最大直径25 mm
  • 32 mm(オプション)

試料高さ

  • 最大35 mm
  • 100 mm(オプション)
Style Sheet for Techniques (LONG VERSION) and Media Gallery Tab

デスクトップSEMブログ

使いやすさを犠牲にすることなく、走査電子顕微鏡の優れた能力を活用できます。走査電子顕微鏡の詳細情報と、デスクトップSEMが最適な方法で研究を補助できる理由を、PhenomデスクトップSEMブログでご確認ください。

詳細を見る

e-learning:走査型電子顕微鏡:お客様のニーズに合った適切な技術を選択します

このオンデマンドのe-learningは、お客様独自のニーズに最適なSEMを決定するのに役立つよう設計されています。当社は、マルチユーザー研究ラボ向けの サーモフィッシャーサイエンティフィックSEM技術の概要を説明し、これらの幅広いソリューションがどのように性能、汎用性、in situダイナミクスを提供し、結果を得るまでの時間を短縮するかに焦点を当てています。ご興味のある方は、以下のe-learningをご覧ください。

  • さまざまな微量分析モダリティ(EDS、EBSD、WDS、CLなど)のニーズを満たす方法。
  • 前処理を必要とせずに、試料を自然な状態で解析する方法。
  • 新しい高度な自動化により、研究者が時間を節約し、生産性を向上させる方法。

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このオンデマンドのe-learningは、お客様独自のニーズに最適なSEMを決定するのに役立つよう設計されています。当社は、マルチユーザー研究ラボ向けの サーモフィッシャーサイエンティフィックSEM技術の概要を説明し、これらの幅広いソリューションがどのように性能、汎用性、in situダイナミクスを提供し、結果を得るまでの時間を短縮するかに焦点を当てています。ご興味のある方は、以下のe-learningをご覧ください。

  • さまざまな微量分析モダリティ(EDS、EBSD、WDS、CLなど)のニーズを満たす方法。
  • 前処理を必要とせずに、試料を自然な状態で解析する方法。
  • 新しい高度な自動化により、研究者が時間を節約し、生産性を向上させる方法。

応用例

電子顕微鏡を使用したプロセス制御

電子顕微鏡を使用したプロセス制御

近年の産業では、確かなプロセス制御によって維持される優れた品質とスループットの両立が求められています。専用の自動化ソフトウェアを搭載したSEMおよびTEMツールは、プロセスモニタリングおよびプロセス改善のための迅速なマルチスケール情報を提供します。

 

電子顕微鏡を使用した品質管理と不良解析

品質管理と不良解析

近年の産業では、品質管理と品質保証が不可欠です。私たちは、欠陥をマルチスケールかつ多モードで分析可能なEMおよび分光ツールを提供しており、これらにより得られる信頼性の高い十分な情報によりプロセス制御および改善のための決定が可能となります。

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基礎材料研究

新材料開発では、その物理的および化学的特性を最大化するために、より小さなスケールでの研究がなされています。電子顕微鏡は、マイクロスケールからナノスケールのさまざまな材料特性について重要な情報を研究者に提供します。

 

EDS元素分析

EDSは、電子顕微鏡観察に不可欠な組成情報を提供します。特に、当社独自のSuper-XおよびDual-X検出器システムはSTEM-EDS分析の速度や感度を向上させるため、材料の研究に必要な元素分布情報が入手しやすくなります。

詳細はこちら ›

3D EDSトモグラフィー

現代の材料研究は、3次元のナノスケール分析にますます依存しています。3Dの電子顕微鏡解析およびエネルギー分散型X線分光法を使用することにより、全元素の組成情報を含む微細構造の3D解析が可能になります。

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EDSによる原子分解能元素マッピング

原子分解能EDSでは、個々の原子のレベルで元素を識別できるため、優れた高分解能の組成情報が得られます。高分解能S/TEMイメージングとの組み合わせにより、試料中の原子構成を正確に観察できます。

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高温試料のイメージング

実際の条件下で材料を研究するには、高温の試料を観察する必要もよくあります。高温下で材料が再結晶化、溶解、変形、反応する際の挙動は、走査電子顕微鏡またはDualBeamシステムを用いてin situで研究できます。

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In situ試験

加熱、冷却、液中での再結晶化、グレイン成長、相変態などの動的プロセスの基本原理を理解するには、電子顕微鏡を用いて、微細構造変化を直接かつリアルタイムで観察する必要があります。

詳細はこちら ›

マルチスケール分析

新しい材料の場合、その構造全体を把握しながら、高い分解能で分析する必要があります。マルチスケール分析では、X線マイクロCT、DualBeam、レーザーPFIB、SEM、TEMなどのさまざまなイメージング技術や方法の相関が可能です。

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EDS元素分析

EDSは、電子顕微鏡観察に不可欠な組成情報を提供します。特に、当社独自のSuper-XおよびDual-X検出器システムはSTEM-EDS分析の速度や感度を向上させるため、材料の研究に必要な元素分布情報が入手しやすくなります。

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3D EDSトモグラフィー

現代の材料研究は、3次元のナノスケール分析にますます依存しています。3Dの電子顕微鏡解析およびエネルギー分散型X線分光法を使用することにより、全元素の組成情報を含む微細構造の3D解析が可能になります。

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EDSによる原子分解能元素マッピング

原子分解能EDSでは、個々の原子のレベルで元素を識別できるため、優れた高分解能の組成情報が得られます。高分解能S/TEMイメージングとの組み合わせにより、試料中の原子構成を正確に観察できます。

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高温試料のイメージング

実際の条件下で材料を研究するには、高温の試料を観察する必要もよくあります。高温下で材料が再結晶化、溶解、変形、反応する際の挙動は、走査電子顕微鏡またはDualBeamシステムを用いてin situで研究できます。

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In situ試験

加熱、冷却、液中での再結晶化、グレイン成長、相変態などの動的プロセスの基本原理を理解するには、電子顕微鏡を用いて、微細構造変化を直接かつリアルタイムで観察する必要があります。

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マルチスケール分析

新しい材料の場合、その構造全体を把握しながら、高い分解能で分析する必要があります。マルチスケール分析では、X線マイクロCT、DualBeam、レーザーPFIB、SEM、TEMなどのさまざまなイメージング技術や方法の相関が可能です。

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参考資料

データシート

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材料科学向けの
電子顕微鏡サービス

最適なシステム性能をお届けするため、当社は国際的なネットワークで、分野ごとのサービスエキスパート、テクニカルサポート、正規交換部品などを提供しています。

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