原子分解能元素マッピング

元素マッピング

大電流かつ原子サイズの電子プローブと高感度X線検出器を組み合わせることで、電子顕微鏡を用いた原子分解能分析を日常的に行うことが出来ます。エネルギー分散型X線分光法（略称はEDSまたはEDXないしEDXS）は、元素固有のX線信号による広範な元素の同定が可能で、個々の原子の識別に適しています。研究者はこの情報を基に、材料の解析や物性の改善を原子スケールで行うことができ、ナノ材料や粒子の挙動に関する優れた知見が得られます。

このページにお示ししているイットリウムチタン酸塩の例のように、個々の原子位置は明確な化学的信号によって識別できます。個々の原子カラムが可視化されるだけでなく、その高いコントラストによって隣接する原子カラムと見分けることができ、複数元素が混在しているのか単元素で形成されているのかも区別できます。また、原子分解能での観察が困難であることが知られている軽元素に関しても、EDS信号を用いれば検出が可能です。

このような高品質な結果を安定して得るには、サーモフィッシャーサイエンティフィック独自のChemiSTEMテクノロジーとDual-X/Super-X検出システムのマルチSSD設計が不可欠です。信号の生成と検出能力がともに向上するため、原子分解能に必要とされる低プローブ電流条件であっても、X線スペクトルの収集と分析が可能となります。