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触媒反応研究

触媒はすべての製造製品で 80% 以上の処理に関与しており、現代産業に必要不可欠なものとなっています。特に不均一系ナノ粒子触媒は、水素燃料の生産など環境にやさしいとされる多くの最新プロセスにとって重要な触媒であり、自動車の触媒コンバーターで広く使用されています。このように新開発された触媒は生産速度を速め、それに必要な反応温度を低温化できるため、処理や生産に必要なエネルギーを削減することが出来ます。

ナノ粒子触媒

触媒の性能向上には、ナノ粒子の形態、分布、サイズ、化学組成に関する正しい情報を得ることが不可欠です。走査透過電子顕微鏡(S/TEM)とエネルギー分散型X線分光法(EDS)の組み合わせは、こうした情報の直接観察と定量解析の実現に重要な研究ツールとなることが実証されています。また高性能な走査電子顕微鏡(SEM)は、ビームのエネルギーと電流を抑制した条件下での観察が可能なツールであり、電子ビームへの感受性の高い触媒試料においても試料を損なうことなく優れた画像撮影が可能です。

サーモフィッシャーサイエンティフィックは、触媒ナノ粒子の解析に最適な装置ラインナップを揃えております。当社はさらに、ワークフローの自動化を可能にする一連のソフトウェアも提供しており、高分解能かつ広領域のナノ粒子データを生成して、触媒の全体的な概観を把握することもできます。

Platinum nanoparticles and cobalt nanoparticles, used to improve catalytic efficiency, imaged with high resolution EDS
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光触媒反応プロセス(C3N4(Co)-Pt)に使用された、電子線に敏感な材料の高分解能EDSマップ。プラチナおよびコバルトのナノ粒子挙動の相乗効果を用いて、触媒効率を改善する触媒。データ提供:Sheng Chun Yang教授、西安交通大学、中国。


リソース

オンデマンドWebセミナー:Spectra 200 S/TEM:触媒解析の主力製品

このWebセミナーでは、TEMを用いた高度な触媒解析方法、触媒分野におけるSpectra 200 S/TEMなどのツールの利用状況、Haldor TopsøeがSpectra 200 S/TEMを選択した理由を解説しています。

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オンデマンドWebセミナー:STEM HAADF-iDPCを用いた定量的構造解析

このWebセミナーでは、触媒反応における材料の重要性、触媒合成における課題、原子レベルでの触媒解析について解説しています。

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Thermo Scientific Ceta 16Mカメラを用いたPt-Rh触媒ナノ粒子の高分解能TEMによりナノ粒子の結晶構造が解明される。試料提供:B. Gorman教授、R. Richards教授、Colorado School of Mines。

オンデマンドWebセミナー:Spectra 200 S/TEM:触媒解析の主力製品

このWebセミナーでは、TEMを用いた高度な触媒解析方法、触媒分野におけるSpectra 200 S/TEMなどのツールの利用状況、Haldor TopsøeがSpectra 200 S/TEMを選択した理由を解説しています。

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オンデマンドWebセミナー:STEM HAADF-iDPCを用いた定量的構造解析

このWebセミナーでは、触媒反応における材料の重要性、触媒合成における課題、原子レベルでの触媒解析について解説しています。

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Thermo Scientific Ceta 16Mカメラを用いたPt-Rh触媒ナノ粒子の高分解能TEMによりナノ粒子の結晶構造が解明される。試料提供:B. Gorman教授、R. Richards教授、Colorado School of Mines。

応用例

電子顕微鏡を使用したプロセス制御

電子顕微鏡を使用したプロセス制御

近年の産業では、確かなプロセス制御によって維持される優れた品質とスループットの両立が求められています。専用の自動化ソフトウェアを搭載したSEMおよびTEMツールは、プロセスモニタリングおよびプロセス改善のための迅速なマルチスケール情報を提供します。

 

電子顕微鏡を使用した品質管理と不良解析

品質管理と不良解析

近年の産業では、品質管理と品質保証が不可欠です。私たちは、欠陥をマルチスケールかつ多モードで分析可能なEMおよび分光ツールを提供しており、これらにより得られる信頼性の高い十分な情報によりプロセス制御および改善のための決定が可能となります。

Fundamental Materials Research_R&D_Thumb_274x180_144DPI

基礎材料研究

新材料開発では、その物理的および化学的特性を最大化するために、より小さなスケールでの研究がなされています。電子顕微鏡は、マイクロスケールからナノスケールのさまざまな材料特性について重要な情報を研究者に提供します。

 

Style Sheet for Komodo Tabs

手法

(S)TEM試料作製

DualBeam顕微鏡では、(S)TEM分析用の高品質な極薄膜試料の作製が可能です。高度な自動化機能により、ユーザーの経験レベルにかかわらず、あらゆる材料で熟練者と同等の結果を得ることができます。

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3D材料解析

多くの場合、材料の開発にはマルチスケールの3D解析が必要です。DualBeam装置により、大量の連続スライスと、その後のナノメートルスケールでのSEMイメージングが可能となり、試料の高品質な3D再構成処理を行うことができます。

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EDS元素分析

EDSは、電子顕微鏡観察に不可欠な組成情報を提供します。特に、当社独自のSuper-XおよびDual-X検出器システムはSTEM-EDS分析の速度や感度を向上させるため、材料の研究に必要な元素分布情報が入手しやすくなります。

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3D EDSトモグラフィー

現代の材料研究は、3次元のナノスケール分析にますます依存しています。3Dの電子顕微鏡解析およびエネルギー分散型X線分光法を使用することにより、全元素の組成情報を含む微細構造の3D解析が可能になります。

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エネルギー分散分光法

エネルギー分散分光法(EDS)を使用することにより、電子顕微鏡の画像情報に加えて、詳細な元素情報も収集できます。電子顕微鏡観察時に重要な組成分布を得ることができます。EDSにより、全容を示す低倍率のスキャンから、原子分解能マッピングに至るまで、試料の元素組成情報が短時間で得られます。

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EDSによる原子分解能元素マッピング

原子分解能EDSでは、個々の原子のレベルで元素を識別できるため、優れた高分解能の組成情報が得られます。高分解能S/TEMイメージングとの組み合わせにより、試料中の原子構成を正確に観察できます。

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ChemiSEM

ChemiSEM技術は、ライブEDS(エネルギー分散型X線分光法)とライブ定量を使用して、SEM画像をカラー化します。どのユーザーでも、組成のデータを継続的に取得して、これまで以上に詳細な情報を得ることができます。

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HRSTEM、HRTEMのイメージング

透過電子顕微鏡は、ナノ粒子やナノ材料の構造解析をするための非常に重要な技術です。高分解能STEMおよびTEMにより、化学組成の情報とともに原子分解能データが得られます。

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微分位相コントラストイメージング

近年のエレクトロニクス研究は、電気的および磁気的特性のナノスケール分析が重要です。微分位相コントラストSTEM(DPC-STEM)により、試料中の磁場の強度と分布を可視化し、磁区構造を表示することができます。

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高温試料のイメージング

実際の条件下で材料を研究するには、高温の試料を観察する必要もよくあります。高温下で材料が再結晶化、溶解、変形、反応する際の挙動は、走査電子顕微鏡またはDualBeamシステムを用いてin situで研究できます。

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環境制御型SEM(ESEM)

環境制御型SEMにより、材料を本来の状態で観察できます。これは、ウェットな、汚れている、反応性のある、ガス放出があるなどの真空に適さない試料を扱う研究者に最適です。

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電子エネルギー損失分光法

高分解能EELSは、材料科学研究の幅広い分析アプリケーションに対応します。EELSを利用することで速くて高S/N比の元素マッピング、酸化状態の確認や表面フォノンの解析などが可能です。

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断面加工

断面加工により、表面下の情報が明らかになり、さらなる知見が得られます。DualBeam装置は、高品質の断面加工を実現する、優れた集束イオンビームカラムを備えています。自動化機能により、無人でのハイスループットな試料処理が可能になります。

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In situ試験

加熱、冷却、液中での再結晶化、グレイン成長、相変態などの動的プロセスの基本原理を理解するには、電子顕微鏡を用いて、微細構造変化を直接かつリアルタイムで観察する必要があります。

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粒子解析

粒子解析は、ナノマテリアルの研究および品質管理において重要な役割を果たします。電子顕微鏡のナノスケールの分解能と優れたイメージングは、粉末や粒子の迅速な解析のための専用ソフトウェアと組み合わせて使用することが出来ます。

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SIMS

集束イオンビーム走査電子顕微鏡(FIB-SEM)用の飛行時間型二次イオン質量分析(TOF-SIMS)検出器を用いることにより、周期表のすべての元素の低濃度での高分解能分析が可能になります。

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マルチスケール分析

新しい材料の場合、その構造全体を把握しながら、高い分解能で分析する必要があります。マルチスケール分析では、X線マイクロCT、DualBeam、レーザーPFIB、SEM、TEMなどのさまざまなイメージング技術や方法の相関が可能です。

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X線光電子分光法

X線光電子分光法(XPS)では、試料の最表面10 nmの元素組成、化学状態、電子状態に関する情報が得られます。深さ方向分析により、XPS分析は層の組成に関する知見を得られるようになります。

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自動粒子解析ワークフロー

自動NanoParticleワークフロー(APW)は、ナノ粒子分析用の透過型電子顕微鏡ワークフローです。広領域のナノスケール高分解能イメージングとデータ取得、およびその場での処理を行えます。

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(S)TEM試料作製

DualBeam顕微鏡では、(S)TEM分析用の高品質な極薄膜試料の作製が可能です。高度な自動化機能により、ユーザーの経験レベルにかかわらず、あらゆる材料で熟練者と同等の結果を得ることができます。

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3D材料解析

多くの場合、材料の開発にはマルチスケールの3D解析が必要です。DualBeam装置により、大量の連続スライスと、その後のナノメートルスケールでのSEMイメージングが可能となり、試料の高品質な3D再構成処理を行うことができます。

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EDS元素分析

EDSは、電子顕微鏡観察に不可欠な組成情報を提供します。特に、当社独自のSuper-XおよびDual-X検出器システムはSTEM-EDS分析の速度や感度を向上させるため、材料の研究に必要な元素分布情報が入手しやすくなります。

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3D EDSトモグラフィー

現代の材料研究は、3次元のナノスケール分析にますます依存しています。3Dの電子顕微鏡解析およびエネルギー分散型X線分光法を使用することにより、全元素の組成情報を含む微細構造の3D解析が可能になります。

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エネルギー分散分光法

エネルギー分散分光法(EDS)を使用することにより、電子顕微鏡の画像情報に加えて、詳細な元素情報も収集できます。電子顕微鏡観察時に重要な組成分布を得ることができます。EDSにより、全容を示す低倍率のスキャンから、原子分解能マッピングに至るまで、試料の元素組成情報が短時間で得られます。

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EDSによる原子分解能元素マッピング

原子分解能EDSでは、個々の原子のレベルで元素を識別できるため、優れた高分解能の組成情報が得られます。高分解能S/TEMイメージングとの組み合わせにより、試料中の原子構成を正確に観察できます。

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ChemiSEM

ChemiSEM技術は、ライブEDS(エネルギー分散型X線分光法)とライブ定量を使用して、SEM画像をカラー化します。どのユーザーでも、組成のデータを継続的に取得して、これまで以上に詳細な情報を得ることができます。

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HRSTEM、HRTEMのイメージング

透過電子顕微鏡は、ナノ粒子やナノ材料の構造解析をするための非常に重要な技術です。高分解能STEMおよびTEMにより、化学組成の情報とともに原子分解能データが得られます。

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微分位相コントラストイメージング

近年のエレクトロニクス研究は、電気的および磁気的特性のナノスケール分析が重要です。微分位相コントラストSTEM(DPC-STEM)により、試料中の磁場の強度と分布を可視化し、磁区構造を表示することができます。

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高温試料のイメージング

実際の条件下で材料を研究するには、高温の試料を観察する必要もよくあります。高温下で材料が再結晶化、溶解、変形、反応する際の挙動は、走査電子顕微鏡またはDualBeamシステムを用いてin situで研究できます。

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環境制御型SEM(ESEM)

環境制御型SEMにより、材料を本来の状態で観察できます。これは、ウェットな、汚れている、反応性のある、ガス放出があるなどの真空に適さない試料を扱う研究者に最適です。

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電子エネルギー損失分光法

高分解能EELSは、材料科学研究の幅広い分析アプリケーションに対応します。EELSを利用することで速くて高S/N比の元素マッピング、酸化状態の確認や表面フォノンの解析などが可能です。

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断面加工

断面加工により、表面下の情報が明らかになり、さらなる知見が得られます。DualBeam装置は、高品質の断面加工を実現する、優れた集束イオンビームカラムを備えています。自動化機能により、無人でのハイスループットな試料処理が可能になります。

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In situ試験

加熱、冷却、液中での再結晶化、グレイン成長、相変態などの動的プロセスの基本原理を理解するには、電子顕微鏡を用いて、微細構造変化を直接かつリアルタイムで観察する必要があります。

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粒子解析

粒子解析は、ナノマテリアルの研究および品質管理において重要な役割を果たします。電子顕微鏡のナノスケールの分解能と優れたイメージングは、粉末や粒子の迅速な解析のための専用ソフトウェアと組み合わせて使用することが出来ます。

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SIMS

集束イオンビーム走査電子顕微鏡(FIB-SEM)用の飛行時間型二次イオン質量分析(TOF-SIMS)検出器を用いることにより、周期表のすべての元素の低濃度での高分解能分析が可能になります。

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マルチスケール分析

新しい材料の場合、その構造全体を把握しながら、高い分解能で分析する必要があります。マルチスケール分析では、X線マイクロCT、DualBeam、レーザーPFIB、SEM、TEMなどのさまざまなイメージング技術や方法の相関が可能です。

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X線光電子分光法

X線光電子分光法(XPS)では、試料の最表面10 nmの元素組成、化学状態、電子状態に関する情報が得られます。深さ方向分析により、XPS分析は層の組成に関する知見を得られるようになります。

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自動粒子解析ワークフロー

自動NanoParticleワークフロー(APW)は、ナノ粒子分析用の透過型電子顕微鏡ワークフローです。広領域のナノスケール高分解能イメージングとデータ取得、およびその場での処理を行えます。

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製品

Style Sheet for Instrument Cards Origin

Spectra 300 TEM

  • 最高レベルの分解能による原子レベルの構造および化学情報
  • 30~300 kVの柔軟な加速電圧範囲
  • 3レンズコンデンサーシステム

Spectra 200 TEM

  • 30~200 kVの加速電圧設定で高解像度かつ高コントラストのイメージング
  • 5.4 mmのワイドギャップポールピース設計の対称S-TWIN/X-TWIN対物レンズ
  • 60 kV~200 kVでサブオングストロームの分解能を有するSTEMイメージング

Talos L120C TEM

  • 安定性の向上
  • 4K x 4K Ceta CMOSカメラ
  • 25~650 kXのTEM倍率範囲
  • 幅広い材料で使えるEDS分析により、元素分布情報が分かります

Talos F200C TEM

  • 幅広い材料で使えるEDS分析により、元素分布情報が分かります
  • 高コントラスト、高品質のTEMおよびSTEMイメージング
  • Ceta 16メガピクセルCMOSカメラにより広視野と高速読み出しを実現

Talos F200i TEM

  • 高品質なS/TEM画像と正確なEDS
  • Dual EDSテクノロジーを装備可能
  • 最高かつオールラウンドなin situ機能
  • 高速での広視野イメージング

Talos F200S TEM

  • 正確な化学組成データ
  • 高性能イメージングと精密な組成分析により、動的顕微鏡解析を実現します
  • 多種類の分析データの迅速かつ簡単な取得を可能にするVeloxソフトウェアを搭載

Talos F200X TEM

  • STEMイメージングおよび元素分析における高分解能と高速データ取得
  • 動的実験用のin situサンプルホルダーを追加
  • 多種類の分析データの迅速かつ簡単な取得を可能にするVeloxソフトウェアを搭載

Helios Hydra DualBeam

  • 幅広い材料に適したプラズマFIB処理を行うため、高速切り替え可能な4種類のイオン源(Xe、Ar、O、N)
  • GaフリーのTEM試料作製
  • 超高分解能SEMイメージング

Helios 5 PFIB DualBeam

  • GaフリーのSTEMおよびTEM試料作製
  • 多様な表面下情報と3D情報
  • 次世代の2.5 µAキセノンプラズマFIBカラム

Helios 5 DualBeam

  • 完全に自動化された高品質の超薄TEM試料作製
  • 高速かつ高分解能の表面下3D解析
  • 迅速なナノプロトタイピング機能

Scios 2 DualBeam

  • 磁気試料および非導電性試料に完全に対応
  • ハイスループットの表面下3D解析
  • 先進の使いやすさと自動化機能

Verios 5 XHR SEM

  • 1 keV~30 keVのエネルギー範囲でサブナノメートルの分解能を有する単色SEM
  • 20 eVの低入射エネルギーの電子ビームを簡単に使用可能
  • 標準でピエゾステージを備え、優れた安定性

Quattro ESEM

  • 独自の環境機能(ESEM)を備えた超多用途の高分解能FEG SEM
  • 全操作モードのSEとBSE信号の同時取り込みによって、試料からすべての情報を獲得します

Apreo 2 SEM

  • ナノメートルまたはサブナノメートルの分解能を備えたオールラウンドな高性能SEM
  • 高感度なテレビ品質の画像コントラストを実現するインカラムT1反射電子検出器
  • 長い作動距離(10 mm)で優れた性能を発揮

Prisma E SEM

  • 優れた画質を備えたエントリーレベルのSEM
  • 複数の試料を簡単かつ迅速にロードおよびナビゲーションできます
  • 専用の真空モードにより、幅広いタイプの材料に対応

VolumeScope 2 SEM

  • 大容量の試料からの等方性3Dデータ
  • 高真空および低真空モードにおける高コントラスト、高分解能
  • 通常のSEM使用からシリアルブロックフェイスイメージングへ簡単に切り替え

Phenom ProX G6 Desktop SEM

  • EDS検出器を搭載した高性能デスクトップSEM
  • 6 nm未満(SE)および8 nm未満(BSE)の分解能、最大倍率350,000倍
  • オプションのSE検出器

Phenom XL G2 Desktop SEM

  • 大容量の試料(100 × 100 mm)に対応し、自動データ取得に最適
  • 10 nm未満の分解能、最大倍率200,000倍、加速電圧4.8 kV~20 kV
  • EDS検出器およびBSE検出器の完全一体型(オプション)

Phenom Pharos G2 Desktop FEG-SEM

  • 1~20 kVの加速電圧範囲を有する電界放出型電子銃
  • 20 kVで2.0 nm(SE)および3.0 nm(BSE)未満の分解能
  • EDS検出器およびSE検出器の完全一体型(オプション)

Phenom Pro G6 Desktop SEM

  • 高性能卓上SEM
  • 6 nm未満(SE)および8 nm未満(BSE)の分解能、最大倍率350,000倍
  • オプションのSE検出器

Phenom Pure G6 Desktop SEM

  • 一般用の卓上SEM
  • 15 nm未満の分解能、最大倍率175,000倍
  • 長寿命CeB6電子銃

Nexsa G2 XPS

  • マイクロフォーカスX線源
  • 独自の追加可能なオプション
  • 単原子およびクラスターイオンデプスプロファイリング用のデュアルモードイオン源

K-Alpha XPS

  • 高分解能XPS
  • 高速で効率的な自動ワークフロー
  • イオン源を用いたデプスプロファイリング

ESCALAB Xi+ XPS

  • 高いスペクトル分解能
  • マルチテクニックによる表面分析
  • 試料作製および拡張のための豊富なオプション

オートスライス&ビュー 4.0ソフトウェア

  • DualBeam用の自動連続断面加工
  • 多種類の分析データを同時に取得(SEM、EDS、EBSD)
  • データ取得中の編集機能
  • エッジベースのカット位置制御

Avizo Software
材料科学

  • マルチデータ/マルチビュー、マルチチャンネル、時系列、非常に大きなデータのサポート
  • 高度なマルチモード2D/3D自動位置合わせ
  • アーチファクト削減アルゴリズム

Inspect 3D Software

  • 画像処理ツールおよび相互相関フィルター
  • 特徴点トラッキングを用いた画像アライメント
  • 代数的再構成法を用いた反復的投影比較

Maps Software

  • 広領域の高分解能画像を取得
  • 関心領域を容易に発見
  • 画像取得プロセスを自動化
  • 異なる機器で得られたデータを相関

Phenom PoroMetric Software

  • 面積、アスペクト比、長軸および短軸などの細孔特性の相関
  • 卓上SEMから画像を直接取得します
  • 高品質な画像を含む統計データ

Phenom ParticleMetric Software

  • ProSuiteに搭載されたオンラインおよびオフライン分析用ソフトウェア
  • 直径、真円度、アスペクト比、凸度などの粒子特性の相関
  • 自動画像マッピングによる画像データセットの作成

Phenom 元素マッピングSoftware

  • 試料または選択エリア内の元素分布に関する迅速で信頼性の高い情報
  • 簡単に結果をエクスポートおよび報告

Phenom 3D Reconstruction Software

  • 直感的なユーザーインターフェースにより、最大限のエンプロイアビリティーを実現します
  • 直観的で完全自動化されたユーザーインターフェース
  • 「シェイディングからの形状」技術に基づいており、ステージ傾斜は不要です

Phenom FiberMetric Software

  • 自動測定により時間を節約します
  • すべての統計データを迅速かつ自動的に収集します
  • マイクロファイバーおよびナノファイバーを比類のない精度で表示および測定できます

µHeater

  • 高分解能in-situイメージング用の超高速加熱実験ソリューション
  • 完全に統合
  • 最高温度1200℃

標準試料ホルダー (Phenom)

  • 最大100 mm×100 mmの試料を分析できるコンパクトなステージ
  • 3種類の樹脂または金属試料インサートで拡張可能
  • Phenom Desktop SEMと一緒に使用します

Eucentric Sample Holder (Phenom)

  • 卓上SEM上でのユーセントリック傾斜およびコンピューセントリック回転
  • 1分未満で試料をロードでき、短時間で画像を取得
  • リアルタイムの3Dサンプル可視化モジュール

引張試験用試料ホルダー (Phenom)

  • バッチ品質を確認できます
  • 製造の一貫性を確認できます
  • 設計プロセスを支援します

樹脂マウントインサート (Phenom)

  • 独自の試料ホルダーコンセプト
  • 直径25 mm(~1インチ)、32 mm(~1¼インチ)、40 mm(~1½インチ)の標準サイズの試料をサポートする3つのモデル
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最適なシステム性能をお届けするため、当社は国際的なネットワークで、分野ごとのサービスエキスパート、テクニカルサポート、正規交換部品などを提供しています。