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環境抑制型走査電子顕微鏡
Thermo Scientific Prisma E走査電子顕微鏡（SEM）は、幅広いイメージング、分析機能、高度な自動化を組み合わせて、このクラスの機器でもっとも完成度の高いソリューションを提供します。高分解能、試料の柔軟性、使いやすいユーザーインターフェースを必要とする産業研究開発、品質管理、および不良解析アプリケーションに最適です。Prisma E SEMは、実績のあるThermo Scientific Quanta SEMを継承しています。
Prisma E SEMは、簡単操作、汎用性、豊富なオプション、およびThermo Scientific ChemiSEMテクノロジーのきわめて直感的な元素分析の組み合わせにより、あらゆる産業や分野でのイメージングおよび分析に最適なSEMとなっています。
いつでも取得できる元素情報
オプションのChemiSEMテクノロジーと統合されたエネルギー分散型X線分光法（EDS）による直感的な元素分析とライブの元素組成に基づいたイメージのカラー化。常時オンのEDS分析により、分析のデータ取得をより速く完成でき、もっとも完全な試料情報を取得できます。
優れた画像品質
差動排気システムを含むさまざまな真空モードにより、低加速電圧および低真空で優れた画像品質を実現します。すべてのモードで二次電子（SE）および反射電子（BSE）の同時イメージングを行えます。
試料作製時間の短縮
低真空とESEM機能により、非導電性試料や水和した試料の帯電のないイメージングおよび分析が可能になります。
自然な状態での材料のin-situ研究
Prisma E SEMの環境制御型SEM（ESEM）モードを使用することで、試料が高温、汚れている、ガス放出がある、または湿っている場合でもイメージングできます。
優れた分析機能
同時に3つのEDS検出器を装備できるチャンバー、180°対向のEDSポート、波長分散分光法（WDS）、同一平面上のEDS/EBSD、および低真空下での高品質な無帯電EDSとEBSDを備え、優れた分析能力を実現しています。
簡単操作
使いやすい、直感的なソフトウェアとユーザーガイダンス、やり直し(Undo)機能などを搭載しているため、初心者ユーザーでもすぐに利用できるようになり、少ないマウスクリックでデータ取得を迅速に行うことができます。
Style Sheet for Products Table Specifications
分解能 |
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標準検出器 |
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オプション検出器 |
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ChemiSEMテクノロジー（オプション） |
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ステージバイアス（ビーム減速、オプション） |
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低真空モード |
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ステージ |
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標準試料ホルダー |
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試料室 |
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in situアクセサリー（オプション） |
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ソフトウェアのオプション |
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Style Sheet for Komodo Tabs
Webセミナー：走査型電子顕微鏡：お客様のニーズに合った適切な技術を選択します
このオンデマンドのWebセミナーは、お客様独自のニーズに最適なSEMを決定するのに役立つよう設計されています。当社は、マルチユーザー研究ラボ向けの サーモフィッシャーサイエンティフィックSEM技術の概要を説明し、これらの幅広いソリューションがどのように性能、汎用性、in situダイナミクスを提供し、結果を得るまでの時間を短縮するかに焦点を当てています。ご興味のある方は、以下のWebセミナーをご覧ください。
- さまざまな微量分析モダリティ（EDS、EBSD、WDS、CLなど）のニーズを満たす方法。
- 前処理を必要とせずに、試料を自然な状態で解析する方法。
- 新しい高度な自動化により、研究者が時間を節約し、生産性を向上させる方法。
ゴールドラッシュ。この粒子の混合物には、金（左側の大きな領域）、銅（最小の粒子）、およびAl/Si/Mg合金（大きな粒子）が含まれています。混合物は高温に加熱されます。ある時点で、金が金属表面全体に拡散し始め、それにより状態が完全に変化します。この実験は、Prisma E SEMに取り付けられた高真空加熱ステージを使用して行います。
セラミック-ガラス複合体のPrisma E SEMイメージ。
セラミック-ガラス複合体のPrisma E SEMイメージ。
亜塩素酸塩処理の細孔のPrisma E SEMイメージ。
CRT蛍光体のPrisma E SEMイメージ。
DyneemaファイバーのPrisma E SEMイメージ。
マラカイトのPrisma E SEMイメージ。
Prisma E SEMで取得したリチウムイオン電池正極のイメージ。
15 kVおよび70 Paチャンバー圧力でイメージングされた繊維強化ポリマー。
鋼含有物のPrisma E SEMイメージ。
スラグ試料のPrisma E SEMイメージ。
多目的サンプルホルダーを写した光学ナビゲーションカメラ画像。Prisma E SEMのユーザーインターフェースでは、ポイントアンドクリック操作で目的の領域に直接移動できます。
Prisma E SEM環境モード（ESEM）を用いて水和状態でイメージングされた花粉。
Webセミナー：走査型電子顕微鏡：お客様のニーズに合った適切な技術を選択します
このオンデマンドのWebセミナーは、お客様独自のニーズに最適なSEMを決定するのに役立つよう設計されています。当社は、マルチユーザー研究ラボ向けの サーモフィッシャーサイエンティフィックSEM技術の概要を説明し、これらの幅広いソリューションがどのように性能、汎用性、in situダイナミクスを提供し、結果を得るまでの時間を短縮するかに焦点を当てています。ご興味のある方は、以下のWebセミナーをご覧ください。
- さまざまな微量分析モダリティ（EDS、EBSD、WDS、CLなど）のニーズを満たす方法。
- 前処理を必要とせずに、試料を自然な状態で解析する方法。
- 新しい高度な自動化により、研究者が時間を節約し、生産性を向上させる方法。
ゴールドラッシュ。この粒子の混合物には、金（左側の大きな領域）、銅（最小の粒子）、およびAl/Si/Mg合金（大きな粒子）が含まれています。混合物は高温に加熱されます。ある時点で、金が金属表面全体に拡散し始め、それにより状態が完全に変化します。この実験は、Prisma E SEMに取り付けられた高真空加熱ステージを使用して行います。
セラミック-ガラス複合体のPrisma E SEMイメージ。
セラミック-ガラス複合体のPrisma E SEMイメージ。
亜塩素酸塩処理の細孔のPrisma E SEMイメージ。
CRT蛍光体のPrisma E SEMイメージ。
DyneemaファイバーのPrisma E SEMイメージ。
マラカイトのPrisma E SEMイメージ。
Prisma E SEMで取得したリチウムイオン電池正極のイメージ。
15 kVおよび70 Paチャンバー圧力でイメージングされた繊維強化ポリマー。
鋼含有物のPrisma E SEMイメージ。
スラグ試料のPrisma E SEMイメージ。
多目的サンプルホルダーを写した光学ナビゲーションカメラ画像。Prisma E SEMのユーザーインターフェースでは、ポイントアンドクリック操作で目的の領域に直接移動できます。
Prisma E SEM環境モード（ESEM）を用いて水和状態でイメージングされた花粉。
電子顕微鏡を使用したプロセス制御
近年の産業では、確かなプロセス制御によって維持される優れた品質とスループットの両立が求められています。専用の自動化ソフトウェアを搭載したSEMおよびTEMツールは、プロセスモニタリングおよびプロセス改善のための迅速なマルチスケール情報を提供します。
品質管理と不良解析
近年の産業では、品質管理と品質保証が不可欠です。私たちは、欠陥をマルチスケールかつ多モードで分析可能なEMおよび分光ツールを提供しており、これらにより得られる信頼性の高い十分な情報によりプロセス制御および改善のための決定が可能となります。
基礎材料研究
新材料開発では、その物理的および化学的特性を最大化するために、より小さなスケールでの研究がなされています。電子顕微鏡は、マイクロスケールからナノスケールのさまざまな材料特性について重要な情報を研究者に提供します。
半導体のパスファインディングと開発
高性能半導体デバイス製造を可能にするソリューションや設計へ導く高度な電子顕微鏡、集束イオンビーム、および関連する分析手法。
歩留り改善と計測
当社は、幅広い半導体アプリケーションやデバイスの生産性向上と歩留り改善に寄与する、欠陥分析、計測、およびプロセス制御のための高度な分析機能を提供しています。
半導体故障解析
半導体デバイスは益々構造が複雑化しているため、欠陥の原因と成り得る箇所が増えています。私たちの次世代ワークフローは、歩留り、性能、信頼性に影響を与える僅かな電気的不良の特定と解析に役立ちます。
物理解析および化学分析
継続的な性能要求により、小型で高速、かつ安価な電子デバイス開発が促進されています。これらの製造には、多岐に渡る半導体およびディスプレイデバイスのイメージング、分析、解析を行う、生産性の高い装置とワークフローが重要な役割を果たします。
ChemiSEM
ChemiSEM技術は、ライブEDS（エネルギー分散型X線分光法）とライブ定量を使用して、SEM画像をカラー化します。どのユーザーでも、組成のデータを継続的に取得して、これまで以上に詳細な情報を得ることができます。
高温試料のイメージング
実際の条件下で材料を研究するには、高温の試料を観察する必要もよくあります。高温下で材料が再結晶化、溶解、変形、反応する際の挙動は、走査電子顕微鏡またはDualBeamシステムを用いてin situで研究できます。
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環境制御型SEM（ESEM）
環境制御型SEMにより、材料を本来の状態で観察できます。これは、ウェットな、汚れている、反応性のある、ガス放出があるなどの真空に適さない試料を扱う研究者に最適です。
粒子解析
粒子解析は、ナノマテリアルの研究および品質管理において重要な役割を果たします。電子顕微鏡のナノスケールの分解能と優れたイメージングは、粉末や粒子の迅速な解析のための専用ソフトウェアと組み合わせて使用することが出来ます。
カソードルミネッセンス
カソードルミネッセンス（CL）では電子ビームで励起され、物質から放出された光を検出します。この信号は、特殊なCL検出器によって収集され、試料の組成、結晶欠陥、またはフォトニクス特性に関する情報が得られます。
半導体のイメージング・分析
サーモフィッシャーサイエンティフィックは、一般的なイメージング業務から、正確な電圧コントラスト測定を必要とする高度な故障解析技術まで、半導体ラボのあらゆる機能に対応する走査電子顕微鏡を提供します。
ChemiSEM
ChemiSEM技術は、ライブEDS（エネルギー分散型X線分光法）とライブ定量を使用して、SEM画像をカラー化します。どのユーザーでも、組成のデータを継続的に取得して、これまで以上に詳細な情報を得ることができます。
高温試料のイメージング
実際の条件下で材料を研究するには、高温の試料を観察する必要もよくあります。高温下で材料が再結晶化、溶解、変形、反応する際の挙動は、走査電子顕微鏡またはDualBeamシステムを用いてin situで研究できます。
環境制御型SEM（ESEM）
環境制御型SEMにより、材料を本来の状態で観察できます。これは、ウェットな、汚れている、反応性のある、ガス放出があるなどの真空に適さない試料を扱う研究者に最適です。
粒子解析
粒子解析は、ナノマテリアルの研究および品質管理において重要な役割を果たします。電子顕微鏡のナノスケールの分解能と優れたイメージングは、粉末や粒子の迅速な解析のための専用ソフトウェアと組み合わせて使用することが出来ます。
カソードルミネッセンス
カソードルミネッセンス（CL）では電子ビームで励起され、物質から放出された光を検出します。この信号は、特殊なCL検出器によって収集され、試料の組成、結晶欠陥、またはフォトニクス特性に関する情報が得られます。
半導体のイメージング・分析
サーモフィッシャーサイエンティフィックは、一般的なイメージング業務から、正確な電圧コントラスト測定を必要とする高度な故障解析技術まで、半導体ラボのあらゆる機能に対応する走査電子顕微鏡を提供します。
Style Sheet to change H2 style to p with em-h2-header class
Style Sheet for Support and Service footer
Style Sheet for Fonts
Style Sheet for Cards