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カソードルミネッセンス
カソードルミネッセンス（CL）は、電子（電子顕微鏡の線源によって生成されるものなど）が材料に衝突したときに、可視光の特有な光子を物質が放出するプロセスです。地質学、光電子工学、故障解析、セラミックス、ガラスなどの多くの分野の研究者は、従来の電子またはX線イメージング手法では見えなかった試料の特性を強調する独自の方法として、CL検出を使用しています。CLデータをトポグラフィー、結晶学、および元素情報に関連付けると、フォトニクス特性、組成、材料品質、または試料履歴がより深く理解できるようになります。
CL検出器
Thermo Scientific SEMおよびDualBeam製品シリーズには、サードパーティ製CLアクセサリーが各種用意されています。これらは通常、スペクトルCL検出、すなわち画像の各ピクセルの全スペクトルの収集（ハイパースペクトル・イメージングとも呼ばれる）に特化されています。これにより大量の情報が提供されるものの、ほとんどのCLソリューションでは、アライメントや使いやすさの問題、作動距離と視野の制限、X線や反射電子信号の同時検出不可、あるいはその両方に悩まされています。
Thermo Scientific RGBカソードルミネッセンス検出器は、装置のユーザーインターフェースに搭載されており、前述の制限なしに、リアルカラーCLイメージングを実現します。試料と対物レンズの間に入るフラット設計を特徴としています（リトラクタブル反射電子検出器と同じように）。従来の鏡を基にしたソリューションとは異なり、検出領域が広いため、光学調整が不要で、視野が制限されません。さらに、二次電子（SE）、反射電子（BSE）、X線の同時検出も可能で、一回の電子ビームスキャンだけでCLデータとSE、BSE、エネルギー分散型X線分光法（EDS）との相関が得られます。
RGBカソードルミネッセンス検出器は、顕微鏡のユーザーインターフェースに搭載されており、ビームスキャンの直後にカラー画像が利用できます。これにより、この検出器は、CLデータおよび相関性を必要とするマルチユーザーのラボにあって、安心して操作ができる、またとない資産となります。
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CRTモニターのSEM画像。CL検出器を用いた赤、緑、青のリアルカラー検出を示している。
Apreo SEMのRGBカソードルミネッセンス検出器を用いてリアルカラーで画像化した砂岩試料。カソードルミネッセンスコントラストを用いると、BSEやEDSでは識別できるとは限らない、組成の類似した白雲母（マイカ）やイライトなどの鉱物を識別できる。
カソードルミネッセンス検出器で測定されたジルコン粒子のリアルカラーSEM画像。観測した領域から、粒子の歴史に関する情報を取得できる。試料提供：カリフォルニア大学サンタクルーズ校。
文献および参考資料
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品質管理と不良解析
近年の産業では、品質管理と品質保証が不可欠です。私たちは、欠陥をマルチスケールかつ多モードで分析可能なEMおよび分光ツールを提供しており、これらにより得られる信頼性の高い十分な情報によりプロセス制御および改善のための決定が可能となります。
基礎材料研究
新材料開発では、その物理的および化学的特性を最大化するために、より小さなスケールでの研究がなされています。電子顕微鏡は、マイクロスケールからナノスケールのさまざまな材料特性について重要な情報を研究者に提供します。
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材料科学向けの
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