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走査電子顕微鏡（SEM）は飛躍的な進歩を遂げていますが、初めて使うユーザーにとっては複雑な技術だと思われているようです。試料の作製、アライメント、所有コスト、分析技術の困難さにより、普及が進んでいません。当社は、これらの課題を解決するために、柔軟性を損なうことなく、真にアクセシブルなSEMの実現を目指しています。当社の目標は、質の高いデータを得るために顕微鏡と格闘する必要がないような、顕微鏡を使いやすく楽しい体験にすることでした。その結果、SEM-EDSデータの取得が苦にならないシステム、Thermo Scientific™ Axia ChemiSEM™走査電子顕微鏡が誕生しました。EDSは、元素の情報とイメージングが一体化した、単なる追加機能ではありません。
Axia ChemiSEMは、EDSデータを常にバックグラウンドで収集するという点で、従来のSEMとは異なります。独自のアルゴリズムでSEMおよびEDSシグナルを同時に処理することで、試料の形態と定量的な元素構成を同時に、リアルタイムで表示できます。EDSデータはバックグラウンドで継続的に処理されるため、取得時に元素データの最新情報が得られます。試料に含まれる元素の表示と非表示を切り替えることができるため、解析の領域を分離できます。
Axia ChemiSEMは、アライメントフリー操作を実現するSmartAlign技術、新たに開発された自動機能、ライブ定量EDSマッピングなど、自動化によって強化された優れたユーザー体験を特徴としています。この常時オン処理により、従来の方法と比較して分析速度が2倍になります。Axia ChemiSEM走査電子顕微鏡は、SEM分析／EDS分析をより多くの科学者に提供し、ワークフローを高速化し、トレーニングにかかる時間を短縮します。
ライブ定量元素マッピング
完全に統合された最先端のThermo Scientific ChemiSEMテクノロジーにより、分析ワークフローをアップデートして、半分の時間で解析を行うことができます。
簡単に始められます
この装置では、搭載されたユーザーガイダンス、リアルタイムのライブ組成イメージング、アライメントフリー操作が組み合わされており、データ収集に集中できます。
さまざまな試料の挿入
この自由度の高いステージは、最大10 kgまでの試料をx-y移動で収容でき、ドアが完全に開くため、大型で扱いにくい試料を容易にロードでき、ポンプダウン時間を非常に短縮できます。
優れたイメージング性能
低真空動作と高忠実度のイメージングを可能にする高度なビームスキャンにより、絶縁性試料などの幅広いアプリケーションに容易に対応することができます
多様なアプリケーションソフトウェア
Thermo Scientific Maps™ソフトウェアなどの高度なシステム自動化オプションを使用して高度なアプリケーションを処理し、Thermo Scientific AutoScript™ソフトウェアでワークフロー開発をカスタマイズできます。
容易なメンテナンス
ソース交換は簡単であり、すべてのユーザーが実施できます。また、わかりやすいデザインは高い稼働率を実現し、注意が必要なときには迅速なサービスが得られます。
Style Sheet for Products Table Specifications
| 標準 |
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| SEM分解能 |
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| 試料室 |
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| ステージ |
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| 一般的なオプション |
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Style Sheet for Techniques (LONG VERSION) and Media Gallery Tab
オンデマンドe-learning：最新のSEMをご覧ください
このe-learningに参加して、以下をご覧になれます：
- ライブでの定量的な元素イメージングにより、アクセシビリティと生産性を向上させるゼロクリック元素分析をご紹介します。
- 最大10 kgの試料に対応し、多くのアクセサリーを収納できる十分なポートを備えた大容量チャンバーの将来を見据えた柔軟性をご体験ください。
- 高速な排気システム、自動アライメント、および簡単なインターフェースにより時間を節約する方法をご覧ください。
格納式BSE検出器でイメージングされたBa、Ti、Sフィラー、および鉄トレースを含むカラーコーティング（ケイ酸亜鉛）。Axia ChemiSEMでは、さまざまなフィラーの化学的変異に瞬時にアクセスできます。（加速電圧20 keV、ビーム電流3.6 nA）
Axia ChemiSEMが提供する迅速な定量元素マッピングにより、他の方法では見過ごされたAl、Mg、Tiなどの汚染物質の存在を強調できます。（加速電圧10 keV、ビーム電流0.76 nA）
銅およびニッケルでコート済みの真鍮。CuとNiは原子番号が近いため、後方散乱電子検出器によって提供される組成情報は、層の分布を明確にするには不十分です。Axia ChemiSEMを使用すると、ワンクリックで情報を得ることができます。（加速電圧20 keV、ビーム電流0.94 nA）
窒化チタンアルミニウム（TiAlN）コーティングを施した、タングステンカーバイド（WC-Co）ドリルビット。Axia ChemiSEMの定量的元素イメージングにより、さまざまな元素の分布を簡単に得ることができます。（加速電圧15 keV、ビーム電流0.85 nA）
クロムめっきを施したアルミニウム合金。試料には銅とニッケルのコーティングが施されていますが、CuとNiの原子番号は近いため、その違いは明らかではありません。そのため、後方散乱電子検出器によって提供される組成情報は、層の分布を明確にするには不十分です。Axia ChemiSEMを使用すると、ワンクリックで情報を得ることができます。（加速電圧20 keV、ビーム電流0.48 nA）
フェイスマスク：フェイスマスクの横糸にさまざまな粒子が付着している様子。Axia ChemiSEMが提供する瞬時の化学情報により、その性質とさまざまな元素（Al、Ca、Na、Cl、K）の分布を簡単に識別できます。（加速電圧10 keV、ビーム電流0.39 nA）
ライブでの定量元素情報とナビゲーションモンタージュ機能を組み合わせて取得した地質試料の断面。ナビゲーションモンタージュを使用すると、広い領域の複数の画像を自動的に収集できます（この場合は13✕13フレームが収集されています）。Axia ChemiSEMが提供する瞬時の元素情報により、モンタージュは大きな薄切片上の粒子内の化学的変化を示し、ユーザーはさらなる分析のために解析の領域を特定できます。
研磨されたセメント表面は、格納式BSE検出器のみでは見えなかったいくつかの化学的変化を示しています。（加速電圧20 keV、ビーム電流0.48 nA）
酸化ジルコニウム（ZrO2）は、スチールのさまざまな介在物中で析出します。試料提供：Primetals Austria社のラボラトリーチーム。
アルミニウム合金製造物の表面の不均一性。
（加速電圧15 keV、ビーム電流0.44 nA）
炭酸カルシウム（CaCO3）。画像は、形態やサイズ分布が異なる3種類の多形体（アラゴナイト、カルサイト、バテライト）を示しています。（加速電圧15 keV、ビーム電流0.44 nA）
ポリクリスタリンアルミナ（PCA）。画像（左）：加速電圧2 keV、ビーム電流45 pA。 画像（右）；加速電圧15 keV、ビーム電流7.9 pA
金ナノシート上の銀。Axia ChemiSEMで高分解能の結果が得られます。（加速電圧15 keV、ビーム電流7.9 pA）
Axia ChemiSEMのチャンバー内に取付けられたセラミック触媒コンバーターハニカムで、すぐにイメージングできます。試料の作製や特別な取り付けは不要です。
当社のeBook、「産業界におけるSEMおよびEDS分析」をダウンロードして、詳細をご覧ください：
- SEMおよびEDS分析の統合アプリケーションが、産業用途向けの詳細な材料解析をどのようにサポートするかをご覧になれます
- 当社独自のThermo Scientific ChemiSEM技術は、これら2つの技術を1つの迅速で使いやすいパッケージに統合したものであり、初心者でも専門家でも利用しやすく、価値のあるものとなっています
オンデマンドe-learning：最新のSEMをご覧ください
このe-learningに参加して、以下をご覧になれます：
- ライブでの定量的な元素イメージングにより、アクセシビリティと生産性を向上させるゼロクリック元素分析をご紹介します。
- 最大10 kgの試料に対応し、多くのアクセサリーを収納できる十分なポートを備えた大容量チャンバーの将来を見据えた柔軟性をご体験ください。
- 高速な排気システム、自動アライメント、および簡単なインターフェースにより時間を節約する方法をご覧ください。
格納式BSE検出器でイメージングされたBa、Ti、Sフィラー、および鉄トレースを含むカラーコーティング（ケイ酸亜鉛）。Axia ChemiSEMでは、さまざまなフィラーの化学的変異に瞬時にアクセスできます。（加速電圧20 keV、ビーム電流3.6 nA）
Axia ChemiSEMが提供する迅速な定量元素マッピングにより、他の方法では見過ごされたAl、Mg、Tiなどの汚染物質の存在を強調できます。（加速電圧10 keV、ビーム電流0.76 nA）
銅およびニッケルでコート済みの真鍮。CuとNiは原子番号が近いため、後方散乱電子検出器によって提供される組成情報は、層の分布を明確にするには不十分です。Axia ChemiSEMを使用すると、ワンクリックで情報を得ることができます。（加速電圧20 keV、ビーム電流0.94 nA）
窒化チタンアルミニウム（TiAlN）コーティングを施した、タングステンカーバイド（WC-Co）ドリルビット。Axia ChemiSEMの定量的元素イメージングにより、さまざまな元素の分布を簡単に得ることができます。（加速電圧15 keV、ビーム電流0.85 nA）
クロムめっきを施したアルミニウム合金。試料には銅とニッケルのコーティングが施されていますが、CuとNiの原子番号は近いため、その違いは明らかではありません。そのため、後方散乱電子検出器によって提供される組成情報は、層の分布を明確にするには不十分です。Axia ChemiSEMを使用すると、ワンクリックで情報を得ることができます。（加速電圧20 keV、ビーム電流0.48 nA）
フェイスマスク：フェイスマスクの横糸にさまざまな粒子が付着している様子。Axia ChemiSEMが提供する瞬時の化学情報により、その性質とさまざまな元素（Al、Ca、Na、Cl、K）の分布を簡単に識別できます。（加速電圧10 keV、ビーム電流0.39 nA）
ライブでの定量元素情報とナビゲーションモンタージュ機能を組み合わせて取得した地質試料の断面。ナビゲーションモンタージュを使用すると、広い領域の複数の画像を自動的に収集できます（この場合は13✕13フレームが収集されています）。Axia ChemiSEMが提供する瞬時の元素情報により、モンタージュは大きな薄切片上の粒子内の化学的変化を示し、ユーザーはさらなる分析のために解析の領域を特定できます。
研磨されたセメント表面は、格納式BSE検出器のみでは見えなかったいくつかの化学的変化を示しています。（加速電圧20 keV、ビーム電流0.48 nA）
酸化ジルコニウム（ZrO2）は、スチールのさまざまな介在物中で析出します。試料提供：Primetals Austria社のラボラトリーチーム。
アルミニウム合金製造物の表面の不均一性。
（加速電圧15 keV、ビーム電流0.44 nA）
炭酸カルシウム（CaCO3）。画像は、形態やサイズ分布が異なる3種類の多形体（アラゴナイト、カルサイト、バテライト）を示しています。（加速電圧15 keV、ビーム電流0.44 nA）
ポリクリスタリンアルミナ（PCA）。画像（左）：加速電圧2 keV、ビーム電流45 pA。 画像（右）；加速電圧15 keV、ビーム電流7.9 pA
金ナノシート上の銀。Axia ChemiSEMで高分解能の結果が得られます。（加速電圧15 keV、ビーム電流7.9 pA）
Axia ChemiSEMのチャンバー内に取付けられたセラミック触媒コンバーターハニカムで、すぐにイメージングできます。試料の作製や特別な取り付けは不要です。
電子顕微鏡を使用したプロセス制御
近年の産業では、確かなプロセス制御によって維持される優れた品質とスループットの両立が求められています。専用の自動化ソフトウェアを搭載したSEMおよびTEMツールは、プロセスモニタリングおよびプロセス改善のための迅速なマルチスケール情報を提供します。
品質管理と不良解析
近年の産業では、品質管理と品質保証が不可欠です。私たちは、欠陥をマルチスケールかつ多モードで分析可能なEMおよび分光ツールを提供しており、これらにより得られる信頼性の高い十分な情報によりプロセス制御および改善のための決定が可能となります。
基礎材料研究
新材料開発では、その物理的および化学的特性を最大化するために、より小さなスケールでの研究がなされています。電子顕微鏡は、マイクロスケールからナノスケールのさまざまな材料特性について重要な情報を研究者に提供します。
ChemiSEM
ChemiSEM技術は、ライブEDS（エネルギー分散型X線分光法）とライブ定量を使用して、SEM画像をカラー化します。どのユーザーでも、組成のデータを継続的に取得して、これまで以上に詳細な情報を得ることができます。
高温試料のイメージング
実際の条件下で材料を研究するには、高温の試料を観察する必要もよくあります。高温下で材料が再結晶化、溶解、変形、反応する際の挙動は、走査電子顕微鏡またはDualBeamシステムを用いてin situで研究できます。
粒子解析
粒子解析は、ナノマテリアルの研究および品質管理において重要な役割を果たします。電子顕微鏡のナノスケールの分解能と優れたイメージングは、粉末や粒子の迅速な解析のための専用ソフトウェアと組み合わせて使用することが出来ます。
カソードルミネッセンス
カソードルミネッセンス（CL）では電子ビームで励起され、物質から放出された光を検出します。この信号は、特殊なCL検出器によって収集され、試料の組成、結晶欠陥、またはフォトニクス特性に関する情報が得られます。
ChemiSEM
ChemiSEM技術は、ライブEDS（エネルギー分散型X線分光法）とライブ定量を使用して、SEM画像をカラー化します。どのユーザーでも、組成のデータを継続的に取得して、これまで以上に詳細な情報を得ることができます。
高温試料のイメージング
実際の条件下で材料を研究するには、高温の試料を観察する必要もよくあります。高温下で材料が再結晶化、溶解、変形、反応する際の挙動は、走査電子顕微鏡またはDualBeamシステムを用いてin situで研究できます。
粒子解析
粒子解析は、ナノマテリアルの研究および品質管理において重要な役割を果たします。電子顕微鏡のナノスケールの分解能と優れたイメージングは、粉末や粒子の迅速な解析のための専用ソフトウェアと組み合わせて使用することが出来ます。
カソードルミネッセンス
カソードルミネッセンス（CL）では電子ビームで励起され、物質から放出された光を検出します。この信号は、特殊なCL検出器によって収集され、試料の組成、結晶欠陥、またはフォトニクス特性に関する情報が得られます。
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Style Sheet for Fonts
Style Sheet for Cards