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エネルギー分散型X線分光法（EDS、EDXまたはXEDSとも略される）は、材料の化学的特性評価や元素分析を可能にする分析手法の1つです。試料に電子線が照射されたとき、電子線が試料中の原子の内殻電子をはじき飛ばします。こうして生じた空孔を高エネルギー順位の外殻電子が補うときに、原子固有のエネルギーを有するX線が発生します。これにより、組成分析が可能になります。スペクトルのピークの位置で元素を識別し、信号強度は元素濃度に依存します。
前述したように電子線は、内殻電子を放出し、X線放射に十分なエネルギーを提供します。電子顕微鏡にEDS検出器を追加することで、原子レベルまでもの組成情報を得ることができます。電子プローブが試料を走査すると、特性X線が放出され、測定されます。こうして記録された個々のEDSスペクトルが、試料の特定位置に対してマッピングされます。得られる結果の品質は、信号の強度とスペクトルのクリーン度に依存します。信号強度はシグナル対ノイズ比の良好性に大きく依存します。特に、微量元素の検出や最低限のドーズ量で測定を行う場合に重要です。（データ収集の高速化とアーチファクトのない結果の取得を可能とする要因）。クリーン度はスプリアスピークに影響します。これは電子カラムを構成している材料に起因しています。
これらの重要な品質を最大化するため、サーモフィッシャーサイエンティフィックはさまざまなソリューションを提供しています。当社のEDS分析では次の機能が利用可能です：
ChemiSEMテクノロジーで取得された電気メッキされたバイメタル金属発泡体。試料提供：Peter Broekmann教授、ベルン大学化学・生化学科。
酸化アルミニウム製ティーポットの断片。ChemiSEMテクノロジーにより取得。製造工程で使用された工具由来の微量の鉄片が確認できる。
自動取得された広領域STEM-EDSデータから金ニッケルのナノ粒子の元素組成が明らかになった。Avizoソフトウェアによりデータを処理。試料提供：J. Bursik氏、材料物理学研究所、ブルノ。
銀のコア（赤）と白金のシェル（緑）に色分けされたナノ粒子のサーフェイスレンダリング。視認性を高めるためPtシェルは半透明に表示しています。試料提供：Yi Ding教授、Jun Luo教授、天津工科大学電子顕微鏡センター。
P-Zn-InナノチューブのEDSトモグラフィー。試料提供：Reza Shahbazian Yassar博士、ミシガン工科大学。
ChemiSEMテクノロジーで取得された電気メッキされたバイメタル金属発泡体。試料提供：Peter Broekmann教授、ベルン大学化学・生化学科。
酸化アルミニウム製ティーポットの断片。ChemiSEMテクノロジーにより取得。製造工程で使用された工具由来の微量の鉄片が確認できる。
自動取得された広領域STEM-EDSデータから金ニッケルのナノ粒子の元素組成が明らかになった。Avizoソフトウェアによりデータを処理。試料提供：J. Bursik氏、材料物理学研究所、ブルノ。
銀のコア（赤）と白金のシェル（緑）に色分けされたナノ粒子のサーフェイスレンダリング。視認性を高めるためPtシェルは半透明に表示しています。試料提供：Yi Ding教授、Jun Luo教授、天津工科大学電子顕微鏡センター。
P-Zn-InナノチューブのEDSトモグラフィー。試料提供：Reza Shahbazian Yassar博士、ミシガン工科大学。
クリーン度
現代の製造では、これまで以上に信頼性の高い高品質の部品が必要とされています。走査電子顕微鏡を使用することで、部品のクリーン度分析を社内で実施でき、幅広い分析データが得られ、製造サイクルの短縮が可能です。
品質管理と不良解析
近年の産業では、品質管理と品質保証が不可欠です。私たちは、欠陥をマルチスケールかつ多モードで分析可能なEMおよび分光ツールを提供しており、これらにより得られる信頼性の高い十分な情報によりプロセス制御および改善のための決定が可能となります。
基礎材料研究
新材料開発では、その物理的および化学的特性を最大化するために、より小さなスケールでの研究がなされています。電子顕微鏡は、マイクロスケールからナノスケールのさまざまな材料特性について重要な情報を研究者に提供します。
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材料科学向けの
電子顕微鏡サービス
最適なシステム性能をお届けするため、当社は国際的なネットワークで、分野ごとのサービスエキスパート、テクニカルサポート、正規交換部品などを提供しています。
