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Talos F200X G2透過型電子顕微鏡

Thermo Scientific Talos F200X STEMは、優れた高分解能STEMおよびTEMイメージングと業界をリードするエネルギー分散型X線分光法(EDS)を組み合わせた走査透過型電子顕微鏡です。組成マッピングによる2次元/3次元の化学分析は、4つのインカラムSDD Super-X検出器によって行われ、高品質のEDSスペクトルを提供します。Talos F200X走査透過型電子顕微鏡は、あらゆる次元で高速かつもっとも正確なEDS分析、およびダイナミック観察のための高速ナビゲーションによる高分解能TEMおよびSTEM(HRTEM、HRSTEM)イメージングを可能にします。Talos F200X走査透過型電子顕微鏡は環境に対する安定性を追求し、エンクロージャの採用により、TEM室のわずかな温度変化、空気の流れなどの影響を低減します。

STEMイメージングおよび元素分析

Talos F200X (S)TEMでは、ナノ材料の多次元的な解析を高速、高精度、かつ定量的に行うことができます。スループット、精度、使いやすさを追求して設計された革新的な機能を備えたTalos F200X (S)TEMは、学術研究、政府機関研究、半導体および産業研究環境における高度な研究と分析に最適です。

近年では高解像度で広領域の相関イメージングの必要性が高まっています。研究者は、統計的に安定的なデータを取得すると同時に、観察、解析のデータセットを保存できるからです。Thermo Scientific Mapsソフトウェア(Thermo Scientific Veloxソフトウェアにより実現)は、試料全体で一連の画像を自動的に取得し、それらをつなぎ合わせて1つの大きな最終画像を作成します。画像取得は無人で実行することもできます。このセクションで説明するすべての利点を備えるAPW(自動粒子解析ワークフロー)パックは、Thermo Scientific Avizo2Dソフトウェア専用の処理PCで独自の処理を行います。サイズ、面積、周囲長、形状、因子などのナノ粒子パラメータを自動化された処理で取得できます。完全自動化・無人化ソフトウェアパックにより、24時間365日Talos F200X (S)TEMを使用できます。また、オペレーターの経験に依存しないため、より優れた統計データを取得し、再現性を大幅に向上できます。

Align Genie自動アライメントソフトウェアは、初心者をサポートし、経験豊富なエキスパートのデータ取得までの時間を短縮し、マルチユーザー環境に最適です。


Talos F200X G2透過型電子顕微鏡の特長


高分解能電界放出電子銃(FEG)の選択

高輝度X-FEGまたは超高輝度冷陰極型電界放出電子銃(X-CFEG)を選択できます。X-CFEGは、最高レベルの(S)TEMイメージングを最高レベルのエネルギー分解能を兼ね備えています。

直感的に使用できるソフトウェア

Thermo Scientific Veloxソフトウェアにより、マルチモーダルデータの取得と解析を迅速かつ簡単に行うことができます。

元素組成までの時間を短縮します

迅速かつ正確なEDS定量分析により、ナノスケールで2Dおよび3D解析を行うことができます。

優れた画像データ

複数の信号を同時に検出する高スループットSTEMイメージングにより、優れたコントラストで高品質な画像を取得できます。

可能性を拡げるポールピースギャップ

動的実験アプリケーション専用のin situ試料ホルダーを追加できます。

高品質(S)TEM画像と高精度EDS

革新的で直感的に使用できるVeloxソフトウェアにより、高品質TEM像およびSTEM像を取得できます。Veloxソフトウェア独自のEDS吸収補正により、高精度の定量が可能です。

再現性の高いデータ収集

フォーカス、ユーセントリック高さ、ビームシフト、コンデンサ絞り、ビーム傾斜ピボットポイント、ローテーションセンターなどの日常的なTEM調整はすべて自動化されており、いつでも最適なイメージング条件で使用できます。測定を再現性よく繰り返すことができるため、装置の操作に気を取られることなく、研究に集中することができます。

生産性の向上

高速なモード切替および加速電圧(HT)変更に対応したコンスタントパワー対物レンズを使用した、きわめて安定したカラムとSmartCamカメラによるリモート操作。マルチユーザー環境向けの迅速で簡単な切り替え。


仕様

Style Sheet for Products Table Specifications
HRTEM線分解能
  • ≦0.10 nm
STEM分解能
  • ≤0.16 nm (X-FEG)
  • ≤0.14 nm(X-CFEG)@100 pA
Super-X EDSシステム
  • 4つのSDDが対称配置されたデザイン、ウィンドウレス、シャッター保護
電子エネルギー損失分光(EELS)エネルギー分解能
  • ≤0.8 eV(X-FEG)
  • ≤0.3 eV(X-CFEG)
輝度@200 kV
  • 1.8×109 A/cm2 srad (X-FEG)
  • 2.4×109 A/cm2 srad (X-CFEG)
Style Sheet for Komodo Tabs

リソース

応用例

電子顕微鏡を使用したプロセス制御

電子顕微鏡を使用したプロセス制御

近年の産業では、確かなプロセス制御によって維持される優れた品質とスループットの両立が求められています。専用の自動化ソフトウェアを搭載したSEMおよびTEMツールは、プロセスモニタリングおよびプロセス改善のための迅速なマルチスケール情報を提供します。

 

電子顕微鏡を使用した品質管理と不良解析

品質管理と不良解析

近年の産業では、品質管理と品質保証が不可欠です。私たちは、欠陥をマルチスケールかつ多モードで分析可能なEMおよび分光ツールを提供しており、これらにより得られる信頼性の高い十分な情報によりプロセス制御および改善のための決定が可能となります。

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基礎材料研究

新材料開発では、その物理的および化学的特性を最大化するために、より小さなスケールでの研究がなされています。電子顕微鏡は、マイクロスケールからナノスケールのさまざまな材料特性について重要な情報を研究者に提供します。

 

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半導体のパスファインディングと開発

高性能半導体デバイス製造を可能にするソリューションや設計へ導く高度な電子顕微鏡、集束イオンビーム、および関連する分析手法。

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歩留り改善と計測

当社は、幅広い半導体アプリケーションやデバイスの生産性向上と歩留り改善に寄与する、欠陥分析、計測、およびプロセス制御のための高度な分析機能を提供しています。

半導体故障解析

半導体故障解析

半導体デバイスは益々構造が複雑化しているため、欠陥の原因と成り得る箇所が増えています。私たちの次世代ワークフローは、歩留り、性能、信頼性に影響を与える僅かな電気的不良の特定と解析に役立ちます。

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物理解析および化学分析

継続的な性能要求により、小型で高速、かつ安価な電子デバイス開発が促進されています。これらの製造には、多岐に渡る半導体およびディスプレイデバイスのイメージング、分析、解析を行う、生産性の高い装置とワークフローが重要な役割を果たします。


手法

エネルギー分散分光法

エネルギー分散分光法(EDS)を使用することにより、電子顕微鏡の画像情報に加えて、詳細な元素情報も収集できます。電子顕微鏡観察時に重要な組成分布を得ることができます。EDSにより、全容を示す低倍率のスキャンから、原子分解能マッピングに至るまで、試料の元素組成情報が短時間で得られます。

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3D EDSトモグラフィー

現代の材料研究は、3次元のナノスケール分析にますます依存しています。3Dの電子顕微鏡解析およびエネルギー分散型X線分光法を使用することにより、全元素の組成情報を含む微細構造の3D解析が可能になります。

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EDS元素分析

EDSは、電子顕微鏡観察に不可欠な組成情報を提供します。特に、当社独自のSuper-XおよびDual-X検出器システムはSTEM-EDS分析の速度や感度を向上させるため、材料の研究に必要な元素分布情報が入手しやすくなります。

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EDSによる原子分解能元素マッピング

原子分解能EDSでは、個々の原子のレベルで元素を識別できるため、優れた高分解能の組成情報が得られます。高分解能S/TEMイメージングとの組み合わせにより、試料中の原子構成を正確に観察できます。

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電子エネルギー損失分光法

高分解能EELSは、材料科学研究の幅広い分析アプリケーションに対応します。EELSを利用することで速くて高S/N比の元素マッピング、酸化状態の確認や表面フォノンの解析などが可能です。

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In situ試験

加熱、冷却、液中での再結晶化、グレイン成長、相変態などの動的プロセスの基本原理を理解するには、電子顕微鏡を用いて、微細構造変化を直接かつリアルタイムで観察する必要があります。

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粒子解析

粒子解析は、ナノマテリアルの研究および品質管理において重要な役割を果たします。電子顕微鏡のナノスケールの分解能と優れたイメージングは、粉末や粒子の迅速な解析のための専用ソフトウェアと組み合わせて使用することが出来ます。

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マルチスケール分析

新しい材料の場合、その構造全体を把握しながら、高い分解能で分析する必要があります。マルチスケール分析では、X線マイクロCT、DualBeam、レーザーPFIB、SEM、TEMなどのさまざまなイメージング技術や方法の相関が可能です。

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TEM測長

先進的で自動化されたTEM測長ルーチンは、マニュアル測長よりもはるかに高い精度を実現します。これにより、オペレーター依存がなく、サブオングストロームレベルの仕様で、統計的に相関がある大量のデータを生成することができます。

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半導体TEMイメージングおよび分析

サーモフィッシャーサイエンティフィックの透過電子顕微鏡は、半導体デバイスの高分解能イメージングと分析が可能で、メーカーはツールセットの校正、故障診断、および全体的なプロセス効率の最適化を行うことができます。

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エネルギー分散分光法

エネルギー分散分光法(EDS)を使用することにより、電子顕微鏡の画像情報に加えて、詳細な元素情報も収集できます。電子顕微鏡観察時に重要な組成分布を得ることができます。EDSにより、全容を示す低倍率のスキャンから、原子分解能マッピングに至るまで、試料の元素組成情報が短時間で得られます。

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3D EDSトモグラフィー

現代の材料研究は、3次元のナノスケール分析にますます依存しています。3Dの電子顕微鏡解析およびエネルギー分散型X線分光法を使用することにより、全元素の組成情報を含む微細構造の3D解析が可能になります。

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EDS元素分析

EDSは、電子顕微鏡観察に不可欠な組成情報を提供します。特に、当社独自のSuper-XおよびDual-X検出器システムはSTEM-EDS分析の速度や感度を向上させるため、材料の研究に必要な元素分布情報が入手しやすくなります。

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EDSによる原子分解能元素マッピング

原子分解能EDSでは、個々の原子のレベルで元素を識別できるため、優れた高分解能の組成情報が得られます。高分解能S/TEMイメージングとの組み合わせにより、試料中の原子構成を正確に観察できます。

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電子エネルギー損失分光法

高分解能EELSは、材料科学研究の幅広い分析アプリケーションに対応します。EELSを利用することで速くて高S/N比の元素マッピング、酸化状態の確認や表面フォノンの解析などが可能です。

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In situ試験

加熱、冷却、液中での再結晶化、グレイン成長、相変態などの動的プロセスの基本原理を理解するには、電子顕微鏡を用いて、微細構造変化を直接かつリアルタイムで観察する必要があります。

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粒子解析

粒子解析は、ナノマテリアルの研究および品質管理において重要な役割を果たします。電子顕微鏡のナノスケールの分解能と優れたイメージングは、粉末や粒子の迅速な解析のための専用ソフトウェアと組み合わせて使用することが出来ます。

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マルチスケール分析

新しい材料の場合、その構造全体を把握しながら、高い分解能で分析する必要があります。マルチスケール分析では、X線マイクロCT、DualBeam、レーザーPFIB、SEM、TEMなどのさまざまなイメージング技術や方法の相関が可能です。

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TEM測長

先進的で自動化されたTEM測長ルーチンは、マニュアル測長よりもはるかに高い精度を実現します。これにより、オペレーター依存がなく、サブオングストロームレベルの仕様で、統計的に相関がある大量のデータを生成することができます。

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半導体TEMイメージングおよび分析

サーモフィッシャーサイエンティフィックの透過電子顕微鏡は、半導体デバイスの高分解能イメージングと分析が可能で、メーカーはツールセットの校正、故障診断、および全体的なプロセス効率の最適化を行うことができます。

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