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電子エネルギー損失分光法
電子エネルギー損失分光法（EELS）はこの30年間で、解析手法として不動の地位を確立しました。このEELSに透過電子顕微鏡（TEM）を組み合わせることで、原子レベルでの化学的および構造的な特性評価が行えます。得られる情報には、元素組成、化学結合、酸化状態、価電子帯と伝導帯の電子特性、表面特性などがあります。また、電子線トモグラフィーなどのテクニックと組み合わせれば、元素と酸化状態に関する高度な3Dマッピングを行うことも可能です。
材料解析の要求が高まるにつれ、これまでより微小な領域でより複雑な構造の局在化した特性評価の必要性が高まっています。幸いなことに、これらの要求と歩調を合わせるように、EELSおよびS/TEM装置の機能も向上しています。特にS/TEMレンズの球面収差補正などの進歩やモノクロメーターによるエネルギー分解能の向上は、サブオングストロームでの空間分解能や、より高いプローブ電流を利用可能にしています。
EELS TEM
サーモフィッシャーサイエンティフィックは、Thermo Scientific Spectraに搭載されたX-FEG/Mono、X-FEG/UltiMono、X-CFEG銃、およびThermo Scientific Talos S/TEMプラットフォームに搭載されたX-FEGにより、すべてのEELSアプリケーションに対応しています。これらのシステムは超高分解能でのEELS分析を可能にするもので、構造、元素、化学的性質に関する有益な情報を原子スケールで取得できます。
BaTiO₃／SrTiO₃界面のコアロスEELS原子分解能元素マップ。青はバリウム、赤はストロンチウム、緑はチタン。半値幅（FWHM）1 eVの電子プローブを用いて80 kV（60 pA）で画像化（49×49ピクセル、<90秒）。
モノクロメーターによる半値幅（FWHM）<30 meVのプローブを用いて60 kVで取得した酸化マグネシウム結晶の表面フォノンモードのマッピング。試料／分析結果提供：Isobel Bicket氏、Gianluigi Botton教授、マクマスター大学電子顕微鏡カナダセンター。
X-FEG/UltiMonoを60 kVでモノクロメーターのオフ状態（1 eVのエネルギー分解能）からモノクロメーターの完全励起状態（<30 meV）まで励起するOptiMono+。
金ナノワイヤに沿ったプラズモン励起の局在的な位置を、<0.2 eVのエネルギー分解能の電子プローブを用いて励起エネルギー（0.18～1.2 eV）を変化させて表示。
BaTiO₃／SrTiO₃界面のコアロスEELS原子分解能元素マップ。青はバリウム、赤はストロンチウム、緑はチタン。半値幅（FWHM）1 eVの電子プローブを用いて80 kV（60 pA）で画像化（49×49ピクセル、<90秒）。
モノクロメーターによる半値幅（FWHM）<30 meVのプローブを用いて60 kVで取得した酸化マグネシウム結晶の表面フォノンモードのマッピング。試料／分析結果提供：Isobel Bicket氏、Gianluigi Botton教授、マクマスター大学電子顕微鏡カナダセンター。
X-FEG/UltiMonoを60 kVでモノクロメーターのオフ状態（1 eVのエネルギー分解能）からモノクロメーターの完全励起状態（<30 meV）まで励起するOptiMono+。
金ナノワイヤに沿ったプラズモン励起の局在的な位置を、<0.2 eVのエネルギー分解能の電子プローブを用いて励起エネルギー（0.18～1.2 eV）を変化させて表示。
基礎材料研究
新材料開発では、その物理的および化学的特性を最大化するために、より小さなスケールでの研究がなされています。電子顕微鏡は、マイクロスケールからナノスケールのさまざまな材料特性について重要な情報を研究者に提供します。
品質管理と不良解析
近年の産業では、品質管理と品質保証が不可欠です。私たちは、欠陥をマルチスケールかつ多モードで分析可能なEMおよび分光ツールを提供しており、これらにより得られる信頼性の高い十分な情報によりプロセス制御および改善のための決定が可能となります。
繊維およびフィルター
合成繊維の直径、形態、密度は、フィルターの寿命と機能性を決定する重要なパラメーターです。走査電子顕微鏡法（SEM）は、これらの特徴を迅速かつ容易に調査するための理想的な手法です。
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材料科学向けの
電子顕微鏡サービス
最適なシステム性能をお届けするため、当社は国際的なネットワークで、分野ごとのサービスエキスパート、テクニカルサポート、正規交換部品などを提供しています。
