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in situ分析

材料研究が進展し続ける中で、材料の初期状態および最終状態の観察だけでなく、さまざまな用途において、初めから終わりまでの材料変化の経過を観察することがますます重要になっています。これらの中には、実際条件下での挙動を理解するために、機能性ナノ粒子に対する付加的製造のための加熱、または機能性ナノ粒子の湿潤および乾燥過程などの金属原料のイメージングがあります。これらの挙動を解析することは、クリーンエネルギー、輸送、触媒作用、ナノエレクトロニクス、さらには人間の健康などの研究分野に影響を与えるため、極めて重要です。

in situ電子顕微鏡

従来、電子顕微鏡(EM)は静的イメージング法でしたが、試料処理や迅速なイメージングが進歩したことで、ライブでin situ観察が出来るようになりました。高分解能電子顕微鏡により、ナノスケールのアニーリング挙動、金属相転移、構造変化、触媒の焼結現象、分離/拡散現象などを調べることができます。

材料のin situ電子顕微鏡分析では、動的な高分解能イメージングだけでなく、高速かつ定量的なデータ取得が要求されます。このことは、研究対象となるプロセスが温度や湿度などに対して急速に変化する場合に特に重要です。このような動的実験では、試料のイメージングにおける自由度、異なるビーム条件や真空条件を使用する能力、および組成データの迅速な収集が不可欠です。

走査電子顕微鏡内で直接加熱および冷却されるはんだの一部。(ビデオ)

サーモフィッシャーサイエンティフィックのin situ電子顕微鏡

Thermo Scientific環境制御型走査電子顕微鏡(ESEM)およびDualBeam(集束イオンビームSEM)システムは、より現実に即したin situ実験で必要とされるさまざまな条件下での操作が可能です。特に、MEMSベースのThermo Scientific µHeaterホルダーは、in situ試料作製と組み合わせることで、高温での高品質な解析が行えます。


リソース

環境制御型SEMの低真空モードで直接観察される、塩化ナトリウム結晶の溶解および再結晶化。
環境制御型SEMの低真空モードで直接観察される、組織繊維の湿潤および乾燥。
金属ナノ粒子の加熱時での凝集。
環境制御型SEMの低真空モードで直接観察される、塩化ナトリウム結晶の溶解および再結晶化。
環境制御型SEMの低真空モードで直接観察される、組織繊維の湿潤および乾燥。
金属ナノ粒子の加熱時での凝集。

応用例

電子顕微鏡を使用した品質管理と不良解析

品質管理と不良解析

近年の産業では、品質管理と品質保証が不可欠です。私たちは、欠陥をマルチスケールかつ多モードで分析可能なEMおよび分光ツールを提供しており、これらにより得られる信頼性の高い十分な情報によりプロセス制御および改善のための決定が可能となります。

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基礎材料研究

新材料開発では、その物理的および化学的特性を最大化するために、より小さなスケールでの研究がなされています。電子顕微鏡は、マイクロスケールからナノスケールのさまざまな材料特性について重要な情報を研究者に提供します。

 


サンプル


電池の研究

SEM、TEM、microCT、ラマン分光、XPS、および3次元データの可視化と解析により、マルチスケールの情報を得られます。これは電池の開発に大きく貢献します。どうやってもっと優れた電池を開発するための構造情報および組成情報を提供するかをご覧ください。

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高分子材料の研究

高分子材料の微細構造によって、材料のバルク特性と性能が決まります。電子顕微鏡法により、R&Dおよび品質管理のアプリケーションにおける、ポリマーの形態および組成の包括的なマイクロスケール分析が可能になります。

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金属材料の研究

金属材料を効果的に生産するには、介在物および析出物を正確にコントロールする必要があります。当社の自動化ソリューションを利用することで、ナノ粒子の計数、EDS元素分析、TEM試料作製など、金属分析に不可欠なさまざまなタスクを実行できます。

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触媒研究

触媒は現代の工業プロセスに不可欠です。触媒の活性は、触媒粒子の微細な組成と形態に依存します。電子顕微鏡のEDS分析は、これらの特性の研究に最適です。

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ナノ粒子

材料のナノスケールの性質と特性はマクロスケールの特性と根本的に異なります。それで材料解析を行う時、S/TEMの技術とエネルギー分散型X線分光法を組み合わせることが効果的であり、ナノメートルまたはサブナノメートルの分解能のデータを得ることができます。

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製品

Style Sheet for Instrument Cards Origin

Helios 5 Laser PFIB

  • ミリメートルスケールの高速な断面加工
  • 統計的に重要な深部までの表面下3Dデータ解析
  • Helios 5 PFIBのすべての機能を利用可能

Helios Hydra DualBeam

  • 幅広い材料に適したプラズマFIB処理を行うため、高速切り替え可能な4種類のイオン源(Xe、Ar、O、N)
  • GaフリーのTEM試料作製
  • 超高分解能SEMイメージング

Helios 5 DualBeam

  • 完全に自動化された高品質の超薄TEM試料作製
  • 高速かつ高分解能の表面下3D解析
  • 迅速なナノプロトタイピング機能

Helios 5 PFIB DualBeam

  • GaフリーのSTEMおよびTEM試料作製
  • 多様な表面下情報と3D情報
  • 次世代の2.5 µAキセノンプラズマFIBカラム

Scios 2 DualBeam

  • 磁気試料および非導電性試料に完全に対応
  • ハイスループットの表面下3D解析
  • 先進の使いやすさと自動化機能

Spectra Ultra TEM

  • 最もビームに敏感な材料に対応する新しいイメージングおよび分析の性能
  • Ultra-X検出器によるEDX検出の飛躍的進歩
  • サンプルの完全性を維持するよう設計されたカラム。

Quattro ESEM

  • 独自の環境機能(ESEM)を備えた超多用途の高分解能FEG SEM
  • 全操作モードのSEとBSE信号の同時取り込みによって、試料からすべての情報を獲得します

Apreo 2 SEM

  • ナノメートルまたはサブナノメートルの分解能を備えたオールラウンドな高性能SEM
  • 高感度なテレビ品質の画像コントラストを実現するインカラムT1反射電子検出器
  • 長い作動距離(10 mm)で優れた性能を発揮

Prisma E SEM

  • 優れた画質を備えたエントリーレベルのSEM
  • 複数の試料を簡単かつ迅速にロードおよびナビゲーションできます
  • 専用の真空モードにより、幅広いタイプの材料に対応

Verios 5 XHR SEM

  • 1 keV~30 keVのエネルギー範囲でサブナノメートルの分解能を有する単色SEM
  • 20 eVの低入射エネルギーの電子ビームを簡単に使用可能
  • 標準でピエゾステージを備え、優れた安定性

AutoScript 4 Software

  • 再現性と精度の向上
  • 無人の高速イメージングおよびパターン作り
  • Python 3.5に基づいたスクリプト環境も使用可能

µHeater

  • 高分解能in-situイメージング用の超高速加熱実験ソリューション
  • 完全に統合
  • 最高温度1200℃

オートスライス&ビュー 4.0ソフトウェア

  • DualBeam用の自動連続断面加工
  • 多種類の分析データを同時に取得(SEM、EDS、EBSD)
  • データ取得中の編集機能
  • エッジベースのカット位置制御

Style Sheet to change H2 style to p with em-h2-header class
Style Sheet for Komodo Tabs

お問い合わせ

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電子顕微鏡サービス

最適なシステム性能をお届けするため、当社は国際的なネットワークで、分野ごとのサービスエキスパート、テクニカルサポート、正規交換部品などを提供しています。