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第6世代の卓上SEM Thermo Scientific Phenom ProX G6は、光学顕微鏡とフロアーモデルSEM分析の間のギャップを埋め、研究設備の機能を拡張します。スピーディーで高分解能なイメージングに加え、一体型のエネルギー分散型X線分析(EDS)装置も備えており、堅牢性、操作性、迅速性に優れた元素分析を実現します。
卓上SEM Phenom ProXを利用すると、フロアーモデルのSEMから日常的に行われる分析の負担を軽減できます。装置の構成や試料挿入メカニズムにより、実験毎の調整にかかる時間を最小限に抑えることができ、スピーディーに高画質な画像を得ることが可能です。
卓上SEM Phenom ProX G6を使えば、誰もが簡単にスピーディーに高画質な画像を得ることができます。コストを抑えながら、高い輝度を実現する長寿命のCeB6電子銃を備えています。
この装置は高い安定性と小型の形状により、ほぼすべてのラボ環境で使用できます。さらに端的に言えば、特殊なインフラは必要なく誰でも簡単に使用できます。
光学ナビゲーション倍率 |
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電子顕微鏡倍率 |
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分解能 |
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デジタルズーム |
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光学NavCam |
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加速電圧 |
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真空モード |
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検出器 |
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試料サイズ |
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試料高さ |
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使いやすさを犠牲にすることなく、走査電子顕微鏡の優れた能力を活用できます。走査電子顕微鏡の詳細情報と、デスクトップSEMが最適な方法で研究を補助できる理由を、PhenomデスクトップSEMブログでご確認ください。
製品開発エンジニアのLuigi Raspoliniが、Thermo Scientific Phenom ProX G6の新機能のすべてを説明します。デスクトップSEMに堅牢性と操作性に優れたEDS機能が組み込まれており、広範な用途での元素分析とSEM分析に適しています。
ケンブリッジ大学、Colin Humphreys教授による推薦。
このWebセミナーでは、以下の内容について説明します。
このオンデマンドのWebセミナーは、お客様独自のニーズに最適なSEMを決定するのに役立つよう設計されています。当社は、マルチユーザー研究ラボ向けの サーモフィッシャーサイエンティフィックSEM技術の概要を説明し、これらの幅広いソリューションがどのように性能、汎用性、in situダイナミクスを提供し、結果を得るまでの時間を短縮するかに焦点を当てています。ご興味のある方は、以下のWebセミナーをご覧ください。
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ケンブリッジ大学、Colin Humphreys教授による推薦。
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近年の産業では、確かなプロセス制御によって維持される優れた品質とスループットの両立が求められています。専用の自動化ソフトウェアを搭載したSEMおよびTEMツールは、プロセスモニタリングおよびプロセス改善のための迅速なマルチスケール情報を提供します。
近年の産業では、品質管理と品質保証が不可欠です。私たちは、欠陥をマルチスケールかつ多モードで分析可能なEMおよび分光ツールを提供しており、これらにより得られる信頼性の高い十分な情報によりプロセス制御および改善のための決定が可能となります。
新材料開発では、その物理的および化学的特性を最大化するために、より小さなスケールでの研究がなされています。電子顕微鏡は、マイクロスケールからナノスケールのさまざまな材料特性について重要な情報を研究者に提供します。
高性能半導体デバイス製造を可能にするソリューションや設計へ導く高度な電子顕微鏡、集束イオンビーム、および関連する分析手法。
当社は、幅広い半導体アプリケーションやデバイスの生産性向上と歩留り改善に寄与する、欠陥分析、計測、およびプロセス制御のための高度な分析機能を提供しています。
半導体デバイスは益々構造が複雑化しているため、欠陥の原因と成り得る箇所が増えています。私たちの次世代ワークフローは、歩留り、性能、信頼性に影響を与える僅かな電気的不良の特定と解析に役立ちます。
継続的な性能要求により、小型で高速、かつ安価な電子デバイス開発が促進されています。これらの製造には、多岐に渡る半導体およびディスプレイデバイスのイメージング、分析、解析を行う、生産性の高い装置とワークフローが重要な役割を果たします。
EDS元素分析
EDSは、電子顕微鏡観察に不可欠な組成情報を提供します。特に、当社独自のSuper-XおよびDual-X検出器システムはSTEM-EDS分析の速度や感度を向上させるため、材料の研究に必要な元素分布情報が入手しやすくなります。
3D EDSトモグラフィー
現代の材料研究は、3次元のナノスケール分析にますます依存しています。3Dの電子顕微鏡解析およびエネルギー分散型X線分光法を使用することにより、全元素の組成情報を含む微細構造の3D解析が可能になります。
EDSによる原子分解能元素マッピング
原子分解能EDSでは、個々の原子のレベルで元素を識別できるため、優れた高分解能の組成情報が得られます。高分解能S/TEMイメージングとの組み合わせにより、試料中の原子構成を正確に観察できます。
高温試料のイメージング
実際の条件下で材料を研究するには、高温の試料を観察する必要もよくあります。高温下で材料が再結晶化、溶解、変形、反応する際の挙動は、走査電子顕微鏡またはDualBeamシステムを用いてin situで研究できます。
In situ試験
加熱、冷却、液中での再結晶化、グレイン成長、相変態などの動的プロセスの基本原理を理解するには、電子顕微鏡を用いて、微細構造変化を直接かつリアルタイムで観察する必要があります。
マルチスケール分析
新しい材料の場合、その構造全体を把握しながら、高い分解能で分析する必要があります。マルチスケール分析では、X線マイクロCT、DualBeam、レーザーPFIB、SEM、TEMなどのさまざまなイメージング技術や方法の相関が可能です。
SEM測長
走査電子顕微鏡により、ナノメートルスケールでの正確かつ信頼性の高いメトロロジーデータが得られます。自動化された超高分解能SEM測定により、メモリー、ロジック、およびデータストレージアプリケーションの歩留まりの向上と市場投入までの時間短縮を実現できます。
半導体のイメージング・分析
サーモフィッシャーサイエンティフィックは、一般的なイメージング業務から、正確な電圧コントラスト測定を必要とする高度な故障解析技術まで、半導体ラボのあらゆる機能に対応する走査電子顕微鏡を提供します。
EDS元素分析
EDSは、電子顕微鏡観察に不可欠な組成情報を提供します。特に、当社独自のSuper-XおよびDual-X検出器システムはSTEM-EDS分析の速度や感度を向上させるため、材料の研究に必要な元素分布情報が入手しやすくなります。
3D EDSトモグラフィー
現代の材料研究は、3次元のナノスケール分析にますます依存しています。3Dの電子顕微鏡解析およびエネルギー分散型X線分光法を使用することにより、全元素の組成情報を含む微細構造の3D解析が可能になります。
EDSによる原子分解能元素マッピング
原子分解能EDSでは、個々の原子のレベルで元素を識別できるため、優れた高分解能の組成情報が得られます。高分解能S/TEMイメージングとの組み合わせにより、試料中の原子構成を正確に観察できます。
高温試料のイメージング
実際の条件下で材料を研究するには、高温の試料を観察する必要もよくあります。高温下で材料が再結晶化、溶解、変形、反応する際の挙動は、走査電子顕微鏡またはDualBeamシステムを用いてin situで研究できます。
In situ試験
加熱、冷却、液中での再結晶化、グレイン成長、相変態などの動的プロセスの基本原理を理解するには、電子顕微鏡を用いて、微細構造変化を直接かつリアルタイムで観察する必要があります。
マルチスケール分析
新しい材料の場合、その構造全体を把握しながら、高い分解能で分析する必要があります。マルチスケール分析では、X線マイクロCT、DualBeam、レーザーPFIB、SEM、TEMなどのさまざまなイメージング技術や方法の相関が可能です。
SEM測長
走査電子顕微鏡により、ナノメートルスケールでの正確かつ信頼性の高いメトロロジーデータが得られます。自動化された超高分解能SEM測定により、メモリー、ロジック、およびデータストレージアプリケーションの歩留まりの向上と市場投入までの時間短縮を実現できます。
半導体のイメージング・分析
サーモフィッシャーサイエンティフィックは、一般的なイメージング業務から、正確な電圧コントラスト測定を必要とする高度な故障解析技術まで、半導体ラボのあらゆる機能に対応する走査電子顕微鏡を提供します。
最適なシステム性能をお届けするため、当社は国際的なネットワークで、分野ごとのサービスエキスパート、テクニカルサポート、正規交換部品などを提供しています。