半導体計測 | SEM計測 | Thermo Fisher Scientific

走査型電子顕微鏡（SEM）は、3D構造の高品質な表面および断面イメージングを提供します。消費者や産業界の要求に応えて半導体のフィーチャーサイズが縮小し続ける中、ナノスケールの計測はプロセスやデバイス設計の歩留まりに貢献する重要性を増しています。重要な寸法のナノスケールを正確かつ繰り返し測定するには、高解像度のSEM画像と極めて正確な倍率の較正が必要です。

サーモフィッシャーサイエンティフィックが提供する超高解像度自動SEM機能は、業界をリードするソフトウェアソリューションと組み合わせることで、メモリとロジックの主要顧客の課題を満たすために必要な自動化、精度、堅牢性を備えたイメージングと計測を行うことができます。NISTトレーサブルキャリブレーション標準、成熟したイメージングオートメーション（断面およびトップダウン両方）、および次世代機械学習対応計測を活用し、サーモサイエンティフィック自動SEMは、プロセスおよびデバイスを直接監視し、市場投入までの時間を短縮するコスト効率の高い3次元計測を提供します。

サーモフィッシャーサイエンティフィックは、Thermo Scientific Verios 5 SEMとThermo Scientific AutoSEMソフトウェアによるトップダウンSEM計測など、CD計測のためのSEM計測ツールを提供しています。詳細について知りたい場合、またはデモをご希望の場合は、以下の該当する製品ページをご覧ください。