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Thermo Scientific™ ESCALAB™ Xi+ 線光電子分光装置(XPS)は高感度XPS測定が可能で、定量パラレルイメージング機能や装置の多機能化にも対応しており、高性能とフレキシビリティーを両立ています。 

ESCALAB Xi+XPSマイクロプローブはすぐれた拡張性を有しており、装置の多機能化に差異的な装置です。高感度であり、ハイクオリティのスペクトルをわずか数秒で取得できます。システムコントロール、データ取得、解析、レポート作成はThermo Scientific Avantageデータシステムにより、シームレスに統合されています。直感的なソフトウエアによる最新テクノロジーは最高クラスのデータと生産性を補償します。ESCALAB Xi+ XPマイクロプローブのデュアルディテクターシステムはすぐれた空間分解能でのXPSイメージングを可能にします。 

ESCALAB Xi+ XPSマイクロプローブでの微小部分析では3種類の分析エリア決定法があります: 

  • ソース規定のエリア設定—モノクロX線のスポットサイズは200 µmから900 µmの範囲で設定可能。 
  • レンズ規定のエリア設定—トランスファーレンズの視野制限スリットにより20 µm以下の空間分解能まで設定可能。 
  • イメージからのスペクトル抽出—高分解能パラレルイメージングを用い、微小部のスペクトルを得ることができる。 

WebセミナーThermo Scientific ESCALAB Xi+マイクロプローブ 

特長

モノクロXPS

モノクロXPS

500 mmのローランド径ツインクリスタル、マイクロフォーカスモノクロメーターはAlアノード(もしくはオプションのAl/Agデュアルアノード)を用い、200 µmから900 µmの範囲でスポットサイズを変更できます。 

帯電中和銃

帯電中和銃

アナライザーと同軸の帯電中和用電子銃を装備しており、モノクロX線源の使用時に用いられます。また、もう一台の中和銃も装備しており、こちらでは帯電中和をたすけるための低速イオン照射と、磁場レンズを用いないときに低速電子が照射可能になっています。

レンズとアナライザー

レンズとアナライザー

ESCALAB Xi+ XPSマイクロプローブのレンズ・アナライザーシステムはスペクトル取得とパラレルイメージング双方に対して最適化されており、同一のアナライザーパスを用いており、それゆえ同一のパラメーター(例えばパスエネルギー)をスペクトル取得とイメージングに使用できます。 

検出器

検出器

ESCALAB Xi+XPSマイクロプローブには2種類の検出器が装備されており、ひとつはスペクトル取得用の6チャンネル、マルチチャンネル検出器で、もひとつはチャンネルプレートと位置敏感検出器を組み合わせた、パラレルイメージング用の検出器です。 

イオン銃

イオン銃 

ESCALAB Xi+ XPSマイクロプローブでは、高速・高分解能のデプスプロファイルにふたつの選択肢があります。標準のEX06イオンガンにより、Ar単原子によるデプスプロファイルが行え、オプションであるAr単原子イオン/ガスクラスターイオンのデュアルモードイオン銃MAGCISの選択におり、単原子/クラスター双方のイオンでデプスプロファイルが行え、イオン散乱分光も可能です。

デジタルコントロール

デジタルコントロール 

すべての分析機能はWindowsベースのAvantageデータシステムにより制御されており、必要に応じリモートでの遠隔操作にも対応しています。 

アライメントとキャリブレーション

アライメントとキャリブレーション 

標準試料ブロックには、金、銀、銅等の各標準試料が装備されており、アナライザーのキャリブレーションやX線のアライメント、イオン銃の自動調整などの調整に使用できます。 

サンプルアライメント

サンプルアライメント

全ての駆動軸はAvantageデータシステムによりコントロールされ、高精度デジタルカメラの使用により、分析位置の正確なアライメントをとることができます。

サンプルマニピュレーター

サンプルマニピュレーター

5軸マニピュレーターでは試料の過熱/冷却が可能であり、ベーキング中でもモーターの取り外しが不要で、試料の傾斜と回転のモーターを真空チャンバー内に具備されていて、ダイレクトドライブ制御を行っています。<160/> 

真空システム

真空システム

分析チャンバーは5 mm厚のミューメタル製で、磁場遮蔽に優れています。チャンバーはターボ分子ポンプとチタンサブリメーションポンプにより真空排気され5 x 10-10 mbar以下の真空度を達成します。

予備処理チャンバー

予備処理チャンバー 

スタンダード予備処理チャンバーは試料導入と試料予備処理チャンバーを兼ねており、加熱/冷却、イオン銃、高圧反応ガスセル、サンプルパーキング、ガス導入のような、さまざまなオプションが装着できるポートを備えています。 


仕様

Style Sheet for Products Table Specifications
モノクロX線源
  • マイクロフォーカスAl K-Alpha X線源、もしくはオプションのマイクロフォーカスAl K-Alpha/Ag L-Alphaデュアルソース
分析
  • スペクトロスコピー/イメージングのデュアル検出機構付き、180° 2重収束、双極型半球アナライザー
イオン源
  • EX06スタンダード単原子イオン銃、MAGCISデュアルモードイオン銃オプション
真空システム
  • 分析チャンバー用、エントリーチャンバー用ターボ分子ポンプ/バッキング用ロータリーポンプ、もしくはオイルフリーポンプ/自動点灯チタンサブリメーション補助ポンプ
サンプルステージ
  • 加熱/冷却対応5軸サンプルステージ
標準の分析テクニック
  • X線光電子分光(XPS)
  • 反射エネルギー損失分光(REELS) 
  • イオン散乱分光(ISS) 
分析オプション
  • UPS用紫外光源 
  • HAXPES用非モノクロX線源 
  • フィールドエミッションオージェ電子分光(AES/SEM) 
  • 逆光電子分光(IPES) 
  • EDS検出器 
オプションアクセサリー
  • グローブボックス、トランスファーベッセル、EX03ブロードビームイオン源、プラッターカメラ 
試料前処理オプション
  • 加熱/冷却サンプルホルダー、追加の指処理チャンバー、ベーカブル3系統ガス導入システム、劈開、サンプルパーキング 
Style Sheet for Komodo Tabs

画像・ビデオ

サンプル


電池の研究

SEM、TEM、microCT、ラマン分光、XPS、および3次元データの可視化と解析により、マルチスケールの情報を得られます。これは電池の開発に大きく貢献します。どうやってもっと優れた電池を開発するための構造情報および組成情報を提供するかをご覧ください。

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金属材料の研究

金属材料を効果的に生産するには、介在物および析出物を正確にコントロールする必要があります。当社の自動化ソリューションを利用することで、ナノ粒子の計数、EDS元素分析、TEM試料作製など、金属分析に不可欠なさまざまなタスクを実行できます。

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高分子材料の研究

高分子材料の微細構造によって、材料のバルク特性と性能が決まります。電子顕微鏡法により、R&Dおよび品質管理のアプリケーションにおける、ポリマーの形態および組成の包括的なマイクロスケール分析が可能になります。

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地質学研究

地球科学は、岩石試料内の構造特徴の正確なマルチスケール観察に頼っています。SEM-EDSを自動化ソフトウェアと組み合わせることで、岩石学および鉱物学の研究におけるテクスチャおよび鉱物組成の直接的かつ大規模な分析が可能になります。

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石油およびガス

石油およびガスの需要が続く中で、炭化水素を効率的かつ効果的に抽出する必要があります。サーモフィッシャーサイエンティフィックは、さまざまな石油科学アプリケーションに対応する、幅広い顕微鏡および分光法ソリューションを提供しています。

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ナノ粒子

材料のナノスケールの性質と特性はマクロスケールの特性と根本的に異なります。それで材料解析を行う時、S/TEMの技術とエネルギー分散型X線分光法を組み合わせることが効果的であり、ナノメートルまたはサブナノメートルの分解能のデータを得ることができます。

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法医学

法医学捜査の一環として、電子顕微鏡で取得した犯罪現場の微量の証拠物の分析データとその比較を利用できます。適合する試料には、ガラスおよび塗料片、工具痕跡、薬物、爆発物、およびGSR(ガンショット残渣物)があります。

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触媒研究

触媒は現代の工業プロセスに不可欠です。触媒の活性は、触媒粒子の微細な組成と形態に依存します。電子顕微鏡のEDS分析は、これらの特性の研究に最適です。

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繊維およびフィルター

合成繊維の直径、形態、密度は、フィルターの寿命と機能性を決定する重要なパラメーターです。走査電子顕微鏡法(SEM)は、これらの特徴を迅速かつ容易に調査するための理想的な手法です。

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2D材料

新規材料研究では、低次元材料の構造への関心が高まっています。プローブの収差補正器およびモノクロメーターを備えた走査透過電子顕微鏡は、高分解能の二次元材料のイメージングを可能にします。

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自動車用材料の試験

現代の自動車部品のすべては、安全性、効率性、性能を考慮して設計されています。電子顕微鏡と分光法を用いた自動車材料の詳細な解析は、重要なプロセスの決定、製品の改善、および新材料開発に必要な情報を提供します。

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手法

マルチテクニックによる表面分析ワークフロー

表面の広範囲な評価のニーズを満たすため、Thermo Scientific ESCALAB CXi XPSマイクロプローブまたはThermo Scientific Nexsa表面分析システムを用いたマルチテクニックワークフローを確立しました。これら装置はタイムリーかつ効率的な方法で包括的な分析を提供するための、マルチテクニックワークステーションとして設計されています。

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X線光電子分光法

X線光電子分光法(XPS)では、試料の最表面10 nmの元素組成、化学状態、電子状態に関する情報が得られます。深さ方向分析により、XPS分析は層の組成に関する知見を得られるようになります。

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X線光電子分光法

X線光電子分光法(XPS)では、試料の最表面10 nmの元素組成、化学状態、電子状態に関する情報が得られます。深さ方向分析により、XPS分析は層の組成に関する知見を得られるようになります。

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