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Thermo Scientific™ ESCALAB™ Xi+ 線光電子分光装置(XPS)は高感度XPS測定が可能で、定量パラレルイメージング機能や装置の多機能化にも対応しており、高性能とフレキシビリティーを両立ています。
ESCALAB Xi+XPSマイクロプローブはすぐれた拡張性を有しており、装置の多機能化に差異的な装置です。高感度であり、ハイクオリティのスペクトルをわずか数秒で取得できます。システムコントロール、データ取得、解析、レポート作成はThermo Scientific Avantageデータシステムにより、シームレスに統合されています。直感的なソフトウエアによる最新テクノロジーは最高クラスのデータと生産性を補償します。ESCALAB Xi+ XPマイクロプローブのデュアルディテクターシステムはすぐれた空間分解能でのXPSイメージングを可能にします。
ESCALAB Xi+ XPSマイクロプローブでの微小部分析では3種類の分析エリア決定法があります:
WebセミナーThermo Scientific ESCALAB Xi+マイクロプローブ
500 mmのローランド径ツインクリスタル、マイクロフォーカスモノクロメーターはAlアノード(もしくはオプションのAl/Agデュアルアノード)を用い、200 µmから900 µmの範囲でスポットサイズを変更できます。
アナライザーと同軸の帯電中和用電子銃を装備しており、モノクロX線源の使用時に用いられます。また、もう一台の中和銃も装備しており、こちらでは帯電中和をたすけるための低速イオン照射と、磁場レンズを用いないときに低速電子が照射可能になっています。
ESCALAB Xi+ XPSマイクロプローブのレンズ・アナライザーシステムはスペクトル取得とパラレルイメージング双方に対して最適化されており、同一のアナライザーパスを用いており、それゆえ同一のパラメーター(例えばパスエネルギー)をスペクトル取得とイメージングに使用できます。
ESCALAB Xi+XPSマイクロプローブには2種類の検出器が装備されており、ひとつはスペクトル取得用の6チャンネル、マルチチャンネル検出器で、もひとつはチャンネルプレートと位置敏感検出器を組み合わせた、パラレルイメージング用の検出器です。
ESCALAB Xi+ XPSマイクロプローブでは、高速・高分解能のデプスプロファイルにふたつの選択肢があります。標準のEX06イオンガンにより、Ar単原子によるデプスプロファイルが行え、オプションであるAr単原子イオン/ガスクラスターイオンのデュアルモードイオン銃MAGCISの選択におり、単原子/クラスター双方のイオンでデプスプロファイルが行え、イオン散乱分光も可能です。
すべての分析機能はWindowsベースのAvantageデータシステムにより制御されており、必要に応じリモートでの遠隔操作にも対応しています。
標準試料ブロックには、金、銀、銅等の各標準試料が装備されており、アナライザーのキャリブレーションやX線のアライメント、イオン銃の自動調整などの調整に使用できます。
全ての駆動軸はAvantageデータシステムによりコントロールされ、高精度デジタルカメラの使用により、分析位置の正確なアライメントをとることができます。
5軸マニピュレーターでは試料の過熱/冷却が可能であり、ベーキング中でもモーターの取り外しが不要で、試料の傾斜と回転のモーターを真空チャンバー内に具備されていて、ダイレクトドライブ制御を行っています。<160/>
分析チャンバーは5 mm厚のミューメタル製で、磁場遮蔽に優れています。チャンバーはターボ分子ポンプとチタンサブリメーションポンプにより真空排気され5 x 10-10 mbar以下の真空度を達成します。
スタンダード予備処理チャンバーは試料導入と試料予備処理チャンバーを兼ねており、加熱/冷却、イオン銃、高圧反応ガスセル、サンプルパーキング、ガス導入のような、さまざまなオプションが装着できるポートを備えています。
モノクロX線源 |
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分析 |
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イオン源 |
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真空システム |
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サンプルステージ |
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標準の分析テクニック |
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分析オプション |
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オプションアクセサリー |
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試料前処理オプション |
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合成繊維の直径、形態、密度は、フィルターの寿命と機能性を決定する重要なパラメーターです。走査電子顕微鏡法(SEM)は、これらの特徴を迅速かつ容易に調査するための理想的な手法です。
表面の広範囲な評価のニーズを満たすため、Thermo Scientific ESCALAB CXi XPSマイクロプローブまたはThermo Scientific Nexsa表面分析システムを用いたマルチテクニックワークフローを確立しました。これら装置はタイムリーかつ効率的な方法で包括的な分析を提供するための、マルチテクニックワークステーションとして設計されています。
表面の広範囲な評価のニーズを満たすため、Thermo Scientific ESCALAB CXi XPSマイクロプローブまたはThermo Scientific Nexsa表面分析システムを用いたマルチテクニックワークフローを確立しました。これら装置はタイムリーかつ効率的な方法で包括的な分析を提供するための、マルチテクニックワークステーションとして設計されています。