光電子分光装置 | K-Alpha X線光電子分光装置

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Thermo ScientificのK-Alpha™ X線光電子分光は、表面分析への新しいアプローチをもたらします。スムーズに流れるワークフローを用いてハイクオリティのデータをもたらすことにフォーカスしているK-Alpha XPSシステムにより、パフォーマンスに一切の妥協をすることなく単純で直感的なオペレーションが可能です。

最高レベルのパフォーマンス、低ランニングコスト、高操作性、高スループットのK-Alphaはマルチユーザー環境に理想的です。K-Alpha XPSシステムよる多くの研究者にXPSへのアクセスを可能とします。

WebセミナーThermo Scientific K-Alpha XPSシステム

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特長

高性能X線源

モノクロメーターX線源は50 µmから400 µmまで、5 µmステップでスポットサイズを変更でき、目的の試料にあわせて最高のシグナルを得ることができます。

最適化された電子光学系

高効率電子レンズ、半球型アナライザー、検出器により非常に高い検出性能と高速測定を実現します。

試料観察

K-Alphaの特許技術の光学観察系とSnapMapは目的の分析位置のピンポイントでの位置合わせを可能とします。

絶縁物分析

低速電子、低速Arイオンを1 eV以下の低速で照射可能な特許のデュアルビーム帯電中和銃は、試料の帯電を防ぎ、多くの場合に補正用のリファレンスが不要です。

デプスプロファイル

EX06イオン源により、次の表面へ進めます。自動調整機能と自動ガスハンドリングにより、高い性能と高い再現性を補償します。

デジタルコントロール

直感的なオペレーションが可能なAvantageデータシステムにより、マルチユーザーが利用する共通機器においても、エキスパートが高度の分析を行う場合にも、高いスループットでの分析ができます。

オプションサンプルホルダー

角度分解XPS用試料ホルダー、仕事関数測定用試料ホルダー、トランスファーベッセルのオプションサンプルホルダー

仕様

Style Sheet for Products Table Specifications

アナライザー形式	180°ダブルフォーカス半球型アナライザー、128チャンネル検出器
X線源タイプ	マイクロフォーカス型、低出力Al K-Alpha X線源
X線スポットサイズ	50～400 µm（5 µm刻み）
デプスプロファイル	EX06イオンソース
最大分析エリア	60x60 mm
最大試料厚み	20 mm
真空システム	2台のターボ分子ポンプ、Tiサブリメーションポンプとバッキングポンプ
オプションアクセサリー	ADXPSサンプルホルダー、ワークファンクションサンプルホルダー、グローブボックス