Centrios回路修正システム

Centrios HX回路修正システム

Centrios HX回路修正システムの設計は、最先端の表面および裏面からの修正機能を追求しており、加工時の制御および正確性と安定性は比類のないレベルに達しています。

新しいThermo Scientific Celta集束イオンビーム（FIB）カラムを搭載したCentrios HXシステムは、低いビーム電流や低加速度電圧においても高解像度が得られ、回路への影響を最小限に抑えつつ正確な修正加工が実行できます。革新的なデュアルノズルガス供給システムを採用し、広範なケミストリーポートフォリオと最新のFIBテクノロジーを取り込んだCentrios HXシステムであれば、業界をリードする高精度なエッチングおよび、高速かつ効率的な修正作業が行えます。

イメージングおよびミリング分解能

Centriosシステム – 現場で実証されたThermo Scientific Tomahawk WDR FIBカラムの採用と最新のビームプロファイルの改善により、低いビーム電流でも高い解像度での、効率と安全性に優れた修正が可能。

Centrios HXシステム – 新しいThermo Scientific Celta FIBカラムの採用と最新のビームプロファイルの改善により、より低いビーム電流でのさらに高い解像度での、効果と安全性に優れた修正が可能。

強化されたミリングの精度と制御

デュアルノズルガス供給システムと独自のケミストリーポートフォリオを併用して、平面性／均一性の確保および、ディレイアリング／エッチングの終点検出、高精度作成が高アスペクト比ビアで行えます。

回路修正の専用プラットフォーム

回路修正用に特別な設計のされたCentriosおよびCentrios HX回路修正システムでは、ケミストリー供給などの主要コンポーネントが統合されており、手動および自動でのアプリケーション最適化が可能です。

低い運用コスト

ナビゲーション用のThermo Scientific NEXS CADソフトウェアとThermo Scientific iFASTソフトウェアを用いた自動化作業のカスタマイズが可能で、効率と操作性の向上をもたらします。