TEM | Metrios AX TEM | Thermo Fisher Scientific

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先進的なロジックやメモリの製造プロセスでは、精密な構造データや分析データを校正された装置で迅速に入手し、歩留まり異常の診断やプロセス歩留まりの最適化を行うことがより重要になってきています。28 nm以下のテクノロジーノードで、特に3Dや高度なデバイス設計を行う場合は、従来のSEMや光学ベースの分析・検査ツールでは、堅牢で信頼性の高いデータを得ることが難しいという問題があります。サーモサイエンティフィック社のMetrios AX透過電子顕微鏡（TEM）は、半導体メーカーがウェハ製造プロセスを開発・管理し、歩留まりを向上させるために必要な高速かつ正確な特性評価と校正された計測結果を提供する初めての専用TEMです。

正確かつ再現性に優れたTEMビッグデータ

Metrios AX TEMは、TEMの基本的な操作と測定手順を自動化し、専門的なオペレータートレーニングに必要な時間を最小限に抑えています。その高度な自動計測ルーチンは、手作業に比べ格段に高い精度を実現します。Metrios AX TEMは、他のTEMと比較してスループットの向上とサンプルあたりコストの低減が実現されるよう設計されています。

主な特長

一貫性、再現性、正確性

TEMおよびSTEMをベースとした再現性のあるイメージング、分析、ゲージ対応計測を実現するために、ゼロからの設計がされています。

高い測定精度

歪みと倍率のキャリブレーションにおける総合誤差は、TEMとSTEMの両方で0.75%未満です。

自動化されたEDS分析とハイブリッド測定

EDSデータ取得と定量化は自動で行えます。進歩したSTEMによって重要な限界寸法と元素コントラストを重ねて利用できます。

ワークフローの接続

重要なプロセスデータは、試料作製、プラッキング、イメージングを通じて追跡されます。測長はオフラインで使用できるので、マシンタイムが最大化されます。すべてのイメージおよび計測データは、ウェブベースの画像ビューアに統合されています。

仕様

Style Sheet for Products Table Specifications

加速電圧範囲（kV）	60～200 kV
空間分解能200 kV（nm）	0.11
	補正なし	プローブ補正あり*
STEM HAADF分解能（nm）200 kV	≦0.164	≦0.083
STEM HAADF分解能（nm）80 kV	≦0.31	≦0.11
MetroCalウェハーの水平および垂直方向の測定精度	≦0.3 nm 3σ
電子銃	X-CFEGまたはXFEG
高安定電子機器および高安定加速電圧	標準装備
アコースティックエンクロージャー	標準装備
コンスタントパワーレンズ	標準装備
ピエゾステージ	標準装備
プローブ補正器対応	可能