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Thermo Scientific NEXS Software goes far beyond a CAD viewer and stage driver by facilitating fault isolation, failure analysis, sample preparation and circuit edit. NEXS Software enables diverse workflows by providing CAD connectivity with Thermo Scientific analytical equipment.
NEXS Software directly reads/displays the mask data and drives the system stage accurately to fault or edit locations.
Technical specifications
Database file formats supported
Thermo Scientific equipment supported
高性能半導体デバイス製造を可能にするソリューションや設計へ導く高度な電子顕微鏡、集束イオンビーム、および関連する分析手法。
半導体デバイスは益々構造が複雑化しているため、欠陥の原因と成り得る箇所が増えています。私たちの次世代ワークフローは、歩留り、性能、信頼性に影響を与える僅かな電気的不良の特定と解析に役立ちます。
光学的不良解析
設計が複雑になるにつれ、半導体製造における不良個所や欠陥個所の特定が、ますます複雑になっています。光学的不良解析技術によりデバイスの電気的動作性能を解析し、デバイスの故障につながる重大な欠陥を特定することができます。
回路編集
新たなガス供給システムと幅広い化学物質の構成、そして集束イオンビーム技術を組み合わせた、高度な回路修正およびナノプロトタイピングソリューションにより、半導体デバイス開発のための比類のない制御と精度が得られます。