Thermo Scientific NEXS Software goes far beyond a CAD viewer and stage driver by facilitating fault isolation, failure analysis, sample preparation and circuit edit. NEXS Software enables diverse workflows by providing CAD connectivity with Thermo Scientific analytical equipment.

NEXS Software directly reads/displays the mask data and drives the system stage accurately to fault or edit locations.

 


Key Features

  • Reads/displays GDS2 and OASIS mask data
  • Creates cache database for faster re-load, rendering and tracing (GDS only)
  • Connects to most Thermo Scientific tools used for EFA, PFA and Circuit Edit space
  • Supports overlaying CAD on microscope image
  • Auto-syncs position/magnification between NEXS and Circuit Edit system for a more seamless user experience
  • Annotates layout, navigates by text location point, and receives marked hotspot locations
  • Reads popular box, text and net trace formats (.vl, .dl, .hl)
  • Traces/highlights nets and cells
  • Reads software diagnostic callouts and scan chains from various formats (.vl, .sigps.txt, query.txt)

Specifications

Technical specifications

  • Windows® 10 – Runs on Thermo Scientific support PC (SPC)
  • 64-bit Linux OS – Can run on Linux server farm, network or local server
  • RAM and hard drive requirements vary with CAD database sizes

Database file formats supported

  • GDS2
  • Gnuzip compressed GDS2 (.gz) for Linux only
  • OASIS

Thermo Scientific equipment supported

  • PFA: Helios, Scios, Apreo, Prisma, Verios, Quattro
  • EFA: Meridian, WaferScan, ELITE, nProber
  • Circuit Edit: Centrios, Taipan, OptiFIB IV, V400 ACE

 


Applications

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半導体のパスファインディングと開発

高性能半導体デバイス製造を可能にするソリューションや設計へ導く高度な電子顕微鏡、集束イオンビーム、および関連する分析手法。

半導体故障解析

半導体故障解析

半導体デバイスは益々構造が複雑化しているため、欠陥の原因と成り得る箇所が増えています。私たちの次世代ワークフローは、歩留り、性能、信頼性に影響を与える僅かな電気的不良の特定と解析に役立ちます。


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Techniques

光学的不良解析

設計が複雑になるにつれ、半導体製造における不良個所や欠陥個所の特定が、ますます複雑になっています。光学的不良解析技術によりデバイスの電気的動作性能を解析し、デバイスの故障につながる重大な欠陥を特定することができます。

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回路編集

新たなガス供給システムと幅広い化学物質の構成、そして集束イオンビーム技術を組み合わせた、高度な回路修正およびナノプロトタイピングソリューションにより、半導体デバイス開発のための比類のない制御と精度が得られます。

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電子顕微鏡サービス

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