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Verios 5 XHR SEM扫描电镜

Verios 5 XHR SEM扫描电镜采用出色的材料对比度在全 1 keV-30 keV 能量范围内提供亚纳米级分辨率。前所未有的自动化和易用性使任何经验水平的用户都能使用该性能。

体验 Verios XHR SEM扫描电镜所提供的优势:

  • 使用行业最先进的电子源单色器UC+实现高分辨率纳米材料成像,可在 1-30 kV 范围内实现亚纳米性能。
  • 对电子束敏感材料性能出色,具有 20 eV 着陆能量和高灵敏度电子镜筒内和透镜下检测器以及信号过滤,可实现在低剂量条件下获取超高分辨率和高信噪比图像。
  • 凭借采用 SmartAlign 和 FLASH 技术的 Elstar 电子束镜筒,可大大缩短各种经验水平的用户获得纳米级信息的时间。
  • 借助 ConstantPower 透镜、静电扫描和两种高精度压电陶瓷载物台的选择,获得一致的测量结果。
  • 配备大腔室,配件的灵活性高。
  • 使用 Thermo Scientific AutoScript 4 软件(可选配的基于 Python 的应用程序编程界面)实现仪器无人自动化 SEM 操作。

Verios 5 XHR SEM扫描电镜的主要特点

SmartAlign 技术

使用 SmartAlign 技术时,用户无需对电子束镜筒进行任何对中,这不仅能最大限度地减少维护,还能提高电镜生产率。

创新的电子光学系统

包括 Thermo Scientific 获得专利的 UC+(单色器)电子枪、ConstantPower 透镜和静电扫描,可实现准确稳定的成像。

亚纳米级分辨率

Elstar Schottky 电子源单色器(UC+)FESEM 技术和性能,实现从 1 至 30 keV 的亚纳米级分辨率。

一致的测量结果

Verios 扫描电镜非常适合实验室计量应用,能够在高放大倍数下校准经 NIST 认证的标准品。

低剂量操作和最佳对比度选择

结合了先进的高灵敏度、镜筒内 & 透镜下探测器和信号过滤功能 可实现低剂量操作和最佳衬度选择。

轻松访问射束着陆能量

低至 20 eV 也可实现用于真正的表面表征的极高分辨率。

无人照看的 SEM 运行

借助 AutoScript 4 软件,可选配基于 Python 的应用程序编程界面 (API)。

大腔室

可从两种高精确稳定的压电陶瓷驱动样品台中进行选择。


规格

产品表格规范样式表

电子束分辨率

  • 在 30 kV STEM 下 0.6 nm(可选)
  • 在 2-15 kV 下 0.6 nm
  • 1 kV 时 0.7 nm
  • 在 500 V 下 1.0 nm

标准检测器

ETD、TLD、MD、ICD、射束电流测量、Nav-Cam+、IR 摄像机

可选检测器

可选检测器 | EDS、EBSD、RGB 阴极发光、拉曼、WDS 等

载物台偏倚(光束减速、可选)

标准配置包括高达 -4000 V

样品清洁

标配配置包括集成式等离子清洗装置

样品操纵

Verios 5 UC

  • 5-轴电动共心载物台,配有 XYR 轴压电驱动。
  • XY 范围 150 x 150 mm2,70° 倾斜范围。
  • 通过门加载。

Verios 5 HP

  • 已安装腔室,超稳定 5 轴所有压电驱动载物台。
  • XY 范围 100 x 100 mm2,70° 倾斜范围。
  • 通过自动负载锁加载。

 

腔室

379 mm 内径、21 个端口

软件选项

Style Sheet for Komodo Tabs

Verios 5 XHR SEM扫描电镜相关资源

介绍新款 Verios 5 XHR SEM扫描电镜网络讲座

本网络讲座将介绍 Thermo Scientific 在实现常规超低温电压 SEM 成像和表征的电子源、电子束镜筒、检测器以及用户界面等方面的技术进展。通过观看网络讲座,您将:

  • 了解高性能 SEM 可以为纳米材料样品提供哪些级别的信息
  • 了解 Verios 5 上的不同技术如何协同工作以实现优异的低电压性能
  • 了解用户界面自动化如何为所有用户带来专家结果

网络讲座:扫描电子显微镜:选择适合您需求的SEM技术

这一应要求举办的网络讲座旨在帮助您确定哪一款SEM扫描电镜最符合您的独特需求。我们概述了赛默飞世尔科技 SEM 技术适合多用户研究实验室,重点介绍这些广泛的解决方案如何实现性能、多功能性、原位动力学以及更快得出结果。如果您有兴趣,请观看该网络讲座:

  • 如何满足不同微区分析模式的需求(EDX、EBSD、WDS、CL 等)。
  • 如何自然状态下表征样品,从而无需进行样品制备。
  • 先进的自动化技术如何使研究人员节省时间并提高生产率。

介绍新款 Verios 5 XHR SEM扫描电镜网络讲座

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  • 了解高性能 SEM 可以为纳米材料样品提供哪些级别的信息
  • 了解 Verios 5 上的不同技术如何协同工作以实现优异的低电压性能
  • 了解用户界面自动化如何为所有用户带来专家结果

网络讲座:扫描电子显微镜:选择适合您需求的SEM技术

这一应要求举办的网络讲座旨在帮助您确定哪一款SEM扫描电镜最符合您的独特需求。我们概述了赛默飞世尔科技 SEM 技术适合多用户研究实验室,重点介绍这些广泛的解决方案如何实现性能、多功能性、原位动力学以及更快得出结果。如果您有兴趣,请观看该网络讲座:

  • 如何满足不同微区分析模式的需求(EDX、EBSD、WDS、CL 等)。
  • 如何自然状态下表征样品,从而无需进行样品制备。
  • 先进的自动化技术如何使研究人员节省时间并提高生产率。

Verios 5 XHR SEM扫描电镜相关应用

使用电镜进行基础材料研究

基础材料研究

越来越小的规模研究新型材料,以最大限度地控制其物理和化学特性。电子显微镜为研究人员提供了对微米到纳米级各种材料特性的重要见解。

半导体寻路

半导体探索和开发

先进的电子显微镜、聚焦离子束和相关半导体分析技术可用于识别制造高性能半导体器件的可行解决方案和设计方法。

半导体良率提升和计量

良率提升和计量

我们为缺陷分析、计量学和工艺控制提供先进的分析功能,旨在帮助提高生产率并改善一系列半导体应用和设备的产量。

半导体故障分析

半导体故障分析

越来越复杂的半导体器件结构导致更多隐藏故障引起的缺陷的位置。我们的新一代半导体分析工作流程可帮助您定位和表征影响量产、性能和可靠性的细微的电子问题。

物理和化学表征

物理和化学表征

持续的消费者需求推动了创建更小型、更快和更便宜的电子设备。它们的生产依赖高效的仪器和工作流程,可对多种半导体和显示设备进行电子显微镜成像、分析和表征。


Verios 5 XHR SEM扫描电镜相关技术

能量色散谱EDS

能量色散谱(EDS)可采集详细的元素信息以及电子显微镜图像,为电镜观察提供关键的组成背景。利用EDS可通过快速、整体的表面扫描至各个原子以确定化学成分。

了解更多 ›

对热样品进行成像

在现实条件中,研究材料通常需要在高温下工作。在热量存在时,可以通过扫描电子显微镜或DualBeam工具对材料再结晶、熔化、变形或反应的行为进行原位研究。

了解更多 ›

多尺度分析

必须在更高分辨率下分析新材料,同时保留较大的样品背景。多尺度分析允许多种成像工具和模态(如X射线microCT、DualBeam、激光PFIB、SEM和TEM)关联。

了解更多 ›

阴极发光

阴极发光 (CL) 描述材料在电子束的激发下产生的发光现象。该信号由专业的 CL 检测器捕获,包含样品成分、晶体缺陷或光子特性的信息。

了解更多 ›

SEM 计量

扫描电子显微镜可以纳米尺度提供准确可靠的计量数据。自动化的超高分辨率 SEM 计加快了内存、逻辑和数据存储应用的利润产出时间和上市时间。

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能量色散谱EDS

能量色散谱(EDS)可采集详细的元素信息以及电子显微镜图像,为电镜观察提供关键的组成背景。利用EDS可通过快速、整体的表面扫描至各个原子以确定化学成分。

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对热样品进行成像

在现实条件中,研究材料通常需要在高温下工作。在热量存在时,可以通过扫描电子显微镜或DualBeam工具对材料再结晶、熔化、变形或反应的行为进行原位研究。

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多尺度分析

必须在更高分辨率下分析新材料,同时保留较大的样品背景。多尺度分析允许多种成像工具和模态(如X射线microCT、DualBeam、激光PFIB、SEM和TEM)关联。

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阴极发光 (CL) 描述材料在电子束的激发下产生的发光现象。该信号由专业的 CL 检测器捕获,包含样品成分、晶体缺陷或光子特性的信息。

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SEM 计量

扫描电子显微镜可以纳米尺度提供准确可靠的计量数据。自动化的超高分辨率 SEM 计加快了内存、逻辑和数据存储应用的利润产出时间和上市时间。

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