ESCALAB QXi - X射线光电子能谱仪微探针 | 赛默飞

ESCALAB QXi X 射线光电子能谱仪微探针

结合了高灵敏度、高分辨率定量成像以及多技术联用能力的 Thermo Scientific™ ESCALAB™ QXi X 射线光电子能谱仪 (XPS) 微探针将满足您对提高分析性能和灵活性的需求。

ESCALAB QXi XPS 微探针是一种可扩展和优化的多技术仪器，具有无与伦比的灵活性和可配置性。它非常灵敏，可在几秒钟内产生高质量的光谱。系统控制、数据采集、处理和报告无缝集成在强大的 Thermo Scientific Avantage 数据系统中。由直观软件驱动的尖端技术保证了世界一流的结果和生产力。ESCALAB QXi XPS 微探针具有独特的双检测器系统，还提供具有出色空间分辨率的优质 XPS 成像。

Thermo Scientific ESCALAB QXi 微探针自动进样

ESCALAB QXi X射线光电子能谱仪微探针

单色 XPS

双晶微聚焦单色器带有 500 mm 罗兰圆，使用铝阳极（或有双单色器选项的铝银双阳极），测试光斑尺寸在 200 µm 到 900 µm 范围内可选。

电子枪

与分析仪输入透镜同轴的电子枪用于在使用单色 X 射线源分析非导电样品时进行电荷补偿，而不使用磁透镜时，双束电子枪产生两种低能离子，以协助提供有效的电荷补偿和低能电子。

透镜和分析仪

ESCALAB QXi XPS微探针上的透镜和分析仪系统针对光谱学和平行成像进行了优化；单一分析仪路径意味着相同的仪器参数（例如，通过能）可用于谱图和成像。

检测器

ESCALAB QXi XPS 微探针配备了两个检测器系统：一个针对光谱进行了优化，由一组六通道电子倍增器组成，另一个用于平行成像，由一对通道板和一个连续位置敏感探测器组成。

离子枪

ESCALAB QXi XPS 微探针有两个选项用于快速、高分辨率的深度剖析：标准 EX06 离子枪，针对单粒子模式离子溅射和离子散射光谱进行了优化；以及可选的单粒子和团簇离子源 MAGCIS，它能够应用于单粒子离子剖析、离子簇剖析和离子散射光谱分析。

数码控制

所有分析功能均由基于 Windows 软件的 Avantage 数据系统控制，这意味着可以根据需要远程执行整个分析过程。

对准和校准

包含铜、银和金样品的标准块可用于评估灵敏度、设置分析仪能量标度的线性度、校准离子源、校准 X 射线单色器以及确定分析仪的转换功能。

样品对齐

样品台上的所有运动轴均由 Avantage 数据系统控制，仪器上安装了高分辨率数码摄像机，并与分析位置准确对齐。

样品机械手

计算机控制的 5 轴高精度转换器 (HPT) 可实现准确的样品对齐以进行分析。当与新的自动样品装载系统结合使用时，它可用于自动更换样品架和运行预设实验树。

真空系统

分析室由 5 mm 厚的高导磁合金构成，以最大限度地提高磁屏蔽效率，并使用涡轮分子泵和钛升华泵对分析室进行抽气，使分析室的真空度优于 5 x 10^-10毫巴。

制备室

标准前处理室是一个组合式的样品入口锁和制备室，具有可容纳各种样品制备设备的端口，例如加热/冷却探针、离子枪、高压气室、样品停放装置和气体入口。

连接性

测量坐标可以通过Thermo Scientifc Maps软件从专用显微镜系统导入Avantage数据系统，从而更快地识别测量区域。可以将 XPS 光谱和成像数据添加至 Maps 软件中，以便直接比较表面化学和结构信息。

性能数据

产品表格规范样式表

单色 X 射线源	微聚焦 Al K-Alpha 源或可选的微聚焦双阳极 Al K-Alpha 和 Ag L-Alpha 源
分析	180°、双聚焦、双极半球形分析仪，配备用于光谱和成像的双检测器系统
离子源	Monatomic EX06 离子源作为标准配置提供； MAGCIS 双模离子源可选
真空系统	两个用于入口和分析室的涡轮分子泵，配备旋转泵或无油前级泵；用于分析室的自启动、3 丝钛升华泵
样品台	具有样品加热和冷却功能的 5 轴样品台从样品室到分析室的可选全自动样品传送
包括标准分析技术	X 射线光电子能谱 (XPS) 反射电子能量损失谱 (REELS) 离子散射谱 (ISS)
可选的分析技术	用于紫外光电子能谱 (UPS) 的紫外灯用于 HAXPES 的非单色 X 射线源用于俄歇电子能谱 (AES) 和 SEM 的场发射电子源逆光电子能谱 (IPES) EDS 检测器
可选配件	手套箱、真空转移容器、EX03 宽束离子源、盘片相机
样品制备选项	加热/冷却样品架、附加制备室、可烘烤的 3 路进气管、断裂台、样品停放装置