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能量色散 X 射线光谱仪
能量色散 X 射线光谱仪（EDS，也缩写为 EDX 或 XEDS）是一种分析技术，可以对材料进行化学表征/元素分析。由能量源（例如电子显微镜的电子束）激发的样品通过激发出核壳电子来消散一些吸收的能量。然后，一个更高能量的外壳电子跃迁到它的位置，将能量差异释放为 X 射线，该 X 射线具有基于其初始原子的特征光谱。这允许对已被能源激发的给定样品体积进行组分分析。根据光谱中峰的位置识别元素，而信号的强度对应于元素的浓度。
EDS 元素面分布
能量色散 X 射线光谱仪（EDS，也缩写为 EDX 或 XEDS）是一种分析技术，可以对材料进行化学表征/元素分析。由能源（例如电子显微镜的电子束）激发的样品通过喷射核壳电子来消散一些吸收的能量。然后，一个更高能量的外壳电子继续填充它的位置，将能量差异释放为 X 射线，该 X 射线具有基于其初始原子的特征光谱。这允许对已被能源激发的给定样品体积进行组分分析。根据光谱中峰的位置识别元素，而信号的强度对应于元素的浓度。
如前所述，电子束提供足够的能量来喷射核壳电子并引起 X 射线发射。通过在电子显微镜上添加 EDS 探测器，可以获得低至原子水平的信息成分。当电子探针在样品上扫描时，特征 X 射线被发射并测量；每个记录下的 EDS 谱都对应着样品上的特定位置。结果的质量取决于信号强度和光谱的纯净度。信号强度在很大程度上依赖于良好的信噪比，特别是对于微量元素检测和剂量最小化（允许更快速的记录和无伪影的结果）。纯净度会影响可见虚假峰的数量；这是构成电子柱的材料产生的结果。
赛默飞世尔科技提供了一系列解决方案，力求最大限度地提高这些关键品质。我们的 EDS 成分分析能力包括：
EDS 材料分析
- 对低浓度敏感—理想案例中的检测限下限低于 0.1%
- 提供较高的相对精度—通常为 2–4%
- 在大多数情况下无损
- 通常只需要相当少的样品制备工作量和时间
- 通常在一分钟内快速提供复杂样本的完整分析
Thermo Scientific TEM、SEM 和台式电镜提供先进的且完全集成的 EDS 解决方案。
TEM EDS 元素面分布
SEM EDS 分析
元素面分布软件
使用 ColorSEM 技术成像的电镀双金属泡沫。样品由伯尔尼大学（University of Bern）化学与生物化学系的 Peter Broekmann 教授提供。
使用 ColorSEM 技术成像的由氧化铝制成的破裂茶壶。可以看到制造过程中使用的工具产生的微量铁屑。
自动化的大面积 STEM-EDS 数据揭示了单个金镍纳米粒子的元素组成。使用 Avizo 软件进行数据处理。样品由 Brno 材料物理研究所的 J. Bursik 提供。
存在元素着色的纳米粒子的分段表面渲染：银核（红色）和铂壳（绿色）。为了增加可见度，铂壳已被着色为半透明。 样本由天津理工大学电子显微中心的丁毅教授和罗俊教授提供。
P-Zn-In 纳米管的 EDS 断层扫描。样品由密歇根理工大学的 Reza Shahbazian Yassar 博士提供。
使用 ColorSEM 技术成像的电镀双金属泡沫。样品由伯尔尼大学（University of Bern）化学与生物化学系的 Peter Broekmann 教授提供。
使用 ColorSEM 技术成像的由氧化铝制成的破裂茶壶。可以看到制造过程中使用的工具产生的微量铁屑。
自动化的大面积 STEM-EDS 数据揭示了单个金镍纳米粒子的元素组成。使用 Avizo 软件进行数据处理。样品由 Brno 材料物理研究所的 J. Bursik 提供。
存在元素着色的纳米粒子的分段表面渲染：银核（红色）和铂壳（绿色）。为了增加可见度，铂壳已被着色为半透明。 样本由天津理工大学电子显微中心的丁毅教授和罗俊教授提供。
P-Zn-In 纳米管的 EDS 断层扫描。样品由密歇根理工大学的 Reza Shahbazian Yassar 博士提供。
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