Helios 5 DualBeam| 用FIB-SEM进行 S/TEM 成像和原子探针断层扫描 (APT) | 赛默飞

主要特点

性能数据

Helios 5 DualBeam的主要特点

高质量样品制备

使用高通量 Thermo Scientific Tomahawk 离子镜筒或具有无人可比低电压性能的 Thermo Scientific Phoenix 离子镜筒为 S/TEM 和 APT 分析制备自定义样品。

全自动

使用可选配的 AutoTEM 5 软件进行快速、简单、全自动、无人值守的多现场原位和非原位 TEM 样品制备以及交叉切片。

以最短时间获得纳米级信息

使用一流的 Thermo Scientific Elstar 电子镜筒为任何经验水平的用户提供 Thermo Scientific SmartAlign 和 FLASH 技术支持。

新一代 UC+ 单色器技术

凭借具有更高电流的新一代 UC+ 单色器技术，可以在低能量下实现亚纳米性能，从而显示最细致的细节信息。

完整的样品信息

可通过多达 6 个集成在色谱柱内和透镜下的集成检测器获得清晰、精确且无电荷的对比度。

3D 分析

使用可选配的 Thermo Scientific Auto Slice & View 4 (AS&V4) 软件通过精确靶向目标区域而获得高质量、多模式的亚表面和 3D 信息。

快速纳米原型设计

对临界尺寸小于 10 nm 的复杂结构进行快速、准确、精确的铣削和沉积。

精确的样品导航

在 150-mm 压电载物台的高稳定性和准确性或 110-mm 载物台的灵活性以及腔室内 Thermo Scientific Nav-Cam 摄像机的支持下根据具体应用需求进行定制。

无伪影成像

基于集成的样品清洁度管理和专用成像模式，例如 DCFI 和 SmartScan 模式。

STEM 成像

Thermo Scientific Helios 5 FX 的配置具有独特的原位 3Å 分辨率 STEM 功能，可提供高高效的工作流程。

电镜设备的规格

若要查看 Helios 5 HX DualBeam 和 Helios 5 FX DualBeam 的规格，请下载文档部分中的数据表。

产品表格规范样式表

半导体应用规格

适用于半导体行业的 Helios 5 DualBeam 规格

		Helios 5 CX	Helios 5 HP	Helios 5 UX	Helios 5 HX	Helios 5 FX
		工作准备和 XHR SEM 成像		最终样品制备（TEM 片层、APT）		埃米级 STEM 成像和样品制备
SEM	分辨率	20 eV – 30 keV		20 eV – 30 keV
	着陆能量	0.6 nm @ 15 keV 1.0 nm @ 1 keV		0.6 nm @ 2 keV 0.7 nm @ 1 keV 1.0 nm @ 500 eV
STEM	分辨率 @ 30 keV	0.7 nm		0.6 nm		0.3 nm
FIB 制备工艺	最大物料去除率	65 nA	100 nA	65 nA
	最佳最终抛光	2 kV		500 V
TEM 样品制备	样品厚度	50 nm	15 nm	7 nm
	自动化	否	是	是
样品处理	行程	110 x 110 x 65 mm	110 x 110 x 65 mm	150 x 150 x 10 mm	100 x 100 x 20 mm	100 x 100 x 20 mm + 5 轴 (S)TEM 计算机阶段
	加载锁	手动快速加载器	自动	手动快速加载器	自动	自动 + 自动插入/拔出 STEM 杆

材料科学应用规格

用于材料科学的 Helios 5 DualBeam 的规格

		Helios 5 CX	Helios 5 UC	Helios 5 UX
离子光学系统		具有出色的高电流性能的 Tomahawk HT 离子柱		具有卓越高电流和低电压性能的 Phoenix 离子镜筒
	离子束电流范围	1 pA – 100 nA		1 pA – 65 nA
	加速电压范围	500 V – 30 kV		500 V – 30 kV
	最大水平射野宽度	在光束重合点处为 0.9 mm		在光束重合点处为 0.7 mm
	最小离子源寿命	1,000 小时		1,000 小时
		两级差速抽气飞行时间 (TOF) 校正 15 位置光阑条		两级差速抽气飞行时间 (TOF) 校正 15 位置光阑条
电子光学系统		Elstar 超高分辨率场发射 SEM 镜筒	Elstar 极高分辨率场发射 SEM 镜筒
		磁性浸没物镜	磁性浸没物镜
		可提供稳定的高分辨率分析电流的高稳定性肖特基场发射枪	可提供稳定的高分辨率分析电流的高稳定性肖特基场发射枪
电子束分辨率	最佳工作距离 (WD) 下	30 kV (STEM) 时 0.6 nm 15 kV 时 0.6 nm 1 kV 时 1.0 nm 1 kV（射束减速*）时为 0.9 nm	30 kV (STEM) 时 0.6 nm 1 kV 时 0.7 nm 500 V (ICD) 时 1.0 nm
	重合点上	15 kV 时 0.6 nm 1 kV（射束减速和 DBS）时为 1.5 nm	15 kV 时 0.6 nm 1 kV 时 1.2 nm
电子束参数空间	电子束电流范围	0.8 pA 至 176 nA	0.8 pA 至 100 nA
	加速电压范围	200 V – 30 kV	350 V – 30 kV
	着陆能量范围	20 eV – 30 keV	20 eV – 30 keV
	最大水平射野宽度	4 mm WD 时 2.3 mm	4 mm WD 时 2.3 mm
检测器		Elstar 镜筒内 SE/BSE 检测器（TLD-SE、TLD-BSE）
		Elstar 色谱柱内 SE/BSE 检测器 (ICD)*
		Elstar 色谱柱内 BSE 检测器 (MD)*
		Everhart-Thornley SE 检测器 (ETD)
		查看样品/色谱柱的 IR 摄像机
		用于二级离子 (SI) 和二级电子 (SE) 的高性能腔室内电子和离子检测器 (ICE)*
		用于样品导航的 Thermo Scientific 腔室内 Nav-Cam 摄像机*
		可伸缩、低电压、高对比度、定向、固态反向散射电子检测器 (DBS)*
		带 BF/DF/HAADF 分段的可伸缩 STEM 3+ 检测器*
		集成的等离子束电流测量
载物台和样品	载物台	灵活的 5 轴电动载物台	高精度五轴电动载物台，配有压电驱动的 XYR 轴
	XY 范围	110 mm	150 mm
	Z 范围	65 mm	10 mm
	旋转	360°（无限）	360°（无限）
	倾斜范围	-15° 至 +90°	-10° 至 +60°
	最大样品高度	与共心点间距 85 mm	与共心点间距 55 mm
	最大样品重量	500 g，任何载物台位置上 0° 倾斜下最高 5 千克（适用某些限制）	500 g（包括样品架）
	最大样品尺寸	完全旋转时 110 mm（也可以是更大的样品，但旋转有限）	完全旋转时 150 mm（也可以是更大的样品，但旋转有限）
		计算中心旋转和倾斜	计算中心旋转和倾斜