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现代工业过程需要高通量以实现经济高效的生产。这个节奏按最终产品的质量、可靠性和一致性需求来计量。因此，过程控制力求优化和规范生产，以便在产出和质量之间取得平衡。监测各种参数（如尺寸、形态和杂质）时必须尽可能高效，才能最大限度地减少分析对整体生产时间的影响。此外，观察结果必须高度可靠，以确保根据样品的真实特征进行过程调整。
尽管可以在电子显微镜 (EM) 上获得高度通用和宝贵的数据，但以往这些仪器需要手动操作，所以一直以来都不实用。如今，随着专用工具和自动化软件的出现，EM 逐渐成为生产监测和分析的重要组成部分。甚至可以在同一台仪器内结合能量色散 X 射线光谱 (EDS) 和 EM 成像来获得化学和结构信息。
扫描电子显微镜 (SEM) 工具能够对从根本上影响产品质量的亚微米至纳米级颗粒、夹杂物和故障进行自动可视化、定量和报告。对于更具体的细节，可使用透射电子显微镜 (TEM) 观察和表征亚纳米级特征，例如纳米颗粒的结构和元素组成。这种快速分析（在几分钟内完成）可生成针对关键样品参数的可执行的可靠统计数据，以用于关键过程控制和改进。最后，如果需要亚表面信息，DualBeam（聚焦离子束和 SEM）工具能够通过交替表面铣削和成像来进行样品探测，从而提供层厚等 3D 信息。
赛默飞世尔科技提供一系列专门用于过程控制应用的硬件和软件解决方案。单击以下链接以获取更多信息。
使用 SEM 成像的金属板上的磷酸锌。
使用 SEM 成像的增材制造粉末。分离颗粒和聚结物的形态分类可随后在分析软件中进行。
通过谱图、Velox 和 Avizo 软件的组合，Talos TEM 可自动生成和分析大面积 TEM 数据，例如纳米颗粒集合。此处，后续数据分析揭示了颗粒直径的分布。样品由科罗拉多矿业学院的 B. Gorman 教授和 R. Richards 教授提供。
Thermo Scientific Talos TEM 生成的纳米颗粒的大面积 TEM 图像。后续图像中，会自动分析这些微粒并根据其大小排序。样品由科罗拉多矿业学院的 B. Gorman 教授和 R. Richards 教授提供。
通过谱图、Velox 和 Avizo 软件的组合，Talos TEM 可自动生成和分析大面积 TEM 数据，例如此纳米颗粒集合。此处，颜色对应微粒尺寸；该数据随后可定量和分析。样品由科罗拉多矿业学院的 B. Gorman 教授和 R. Richards 教授提供。
使用 SEM 成像的金属板上的磷酸锌。
使用 SEM 成像的增材制造粉末。分离颗粒和聚结物的形态分类可随后在分析软件中进行。
通过谱图、Velox 和 Avizo 软件的组合，Talos TEM 可自动生成和分析大面积 TEM 数据，例如纳米颗粒集合。此处，后续数据分析揭示了颗粒直径的分布。样品由科罗拉多矿业学院的 B. Gorman 教授和 R. Richards 教授提供。
Thermo Scientific Talos TEM 生成的纳米颗粒的大面积 TEM 图像。后续图像中，会自动分析这些微粒并根据其大小排序。样品由科罗拉多矿业学院的 B. Gorman 教授和 R. Richards 教授提供。
通过谱图、Velox 和 Avizo 软件的组合，Talos TEM 可自动生成和分析大面积 TEM 数据，例如此纳米颗粒集合。此处，颜色对应微粒尺寸；该数据随后可定量和分析。样品由科罗拉多矿业学院的 B. Gorman 教授和 R. Richards 教授提供。
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