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环境扫描电镜

Thermo Scientific Prisma E SEM扫描电镜结合了广泛的成像和分析模式以及先进自动化功能,和同类仪器相比,可提供最完整的扫描电镜分析解决方案。对于工业研发、质量控制和失效分析应用领域,需要一台具有高分辨成像,广泛的样品兼容性,简单易用的用户界面的扫描电镜,Prisma E环境扫描电镜是这类应用的理想选择。Prisma E环境扫描电镜是在前代Quanta SEM扫描电镜基础上的又一次成功实践。

全面的性能,强大的附近扩展能力,以及结合Thermo Scientific ChemiSEM 技术所实现最直观的元素分析能力,使Prisma E在任何行业或领域都能够实现微米/亚微米级成像和分析。

Prisma E环境扫描电镜的主要特点

触手可及的元素信息

通过选配 ChemiSEM 技术和集成能量色散 X 射线光谱(EDS)进行实时成分面分布以实现直观元素分析。这种始终在线的分析能力可极大提高您的工作效率,并获取最完整的样品信息。

出色的图像质量

灵活的真空模式以及通过透镜抽真空技术,使Prisma E环境扫描电镜可在低电压和低真空下获得出色的图像质量。且在每个操作模式下,都可实现二级电子 (SE) 和背散射电子 (BSE) 同时成像。

最大限度地减少样品制备时间

低真空和ESEM环境扫描电镜功能可对非导电和/或含水样品进行无电荷/或无脱水成像和分析。

对自然状态下的材料进行原位研究

凭借 Prisma E的环境扫描电镜 (ESEM) 模式、可在样品加热、放气或潮湿的状态下直接成像。

优异的分析能力

仓室支持最多安装3 个 EDS 探测器,其中两个EDS接口呈180°对称,并可安装波长色散光谱 (WDS)、共面 EDS/EBSD,并可在低真空模式下实现高质量无电荷 EDS 和 EBSD 分析。

易于使用

Prisma E环境扫描电镜相关操作软件具有用户指南和撤消功能,可以使新手用户进行高效的操作,也可极大减少专家级用户的操作负荷。


Prisma E环境扫描电镜的规格

产品表格规范样式表

参数

  • 分辨率在高真空、低真空和 ESEM 的 30 kV 下为 3.0 nm
  • 在 3 kV(BSED、样品台减速)下为 7.0 nm

标准检测器

  • ETD、低真空 SED (LVD)、 ESEM SED (GSED)、红外CCD

可选检测器

  • Thermo Scientific Nav-Cam+ 摄像机、DBS、DBS-GAD、ESEM-GAD、STEM 3+、WetSTEM、RGB-CLD、EDS、EBSD、WDS、拉曼、EBIC 等

ChemiSEM 技术(可选)

  • 可基于能量色散 X 射线光谱 (EDS) 进行实时定量 元素面分布。包含点分析、线扫描、面分布及元素定量。

样品台减速(可选)

  • -4,000 V 至 +50 V

低真空模式

  • 高达 2,600 Pa (H2O) 或 4,000 Pa (N2)

样品台

  • 5轴马达优中心样品台,110 x 110 mm2,105° 倾斜范围。最大样品重量:未倾斜位置,5 kg。

标准样品支架

  • 标准多样品 SEM 支架可单独安装
  • 在载物台上,可容纳多达 18 个标准样品托 (⌀ 12 mm),
  • 无需工具即可安装样品

样品仓

  • 340 mm 内宽,12 个接口,最多可接三个 EDS 检测器(两个呈 180°对称),并具有与共面 EDS共面的EBSD接口。

原位配件(可选)

  • 软件控制的 -20°C 至 +60°C Peltier 冷台
  • 软件控制的 1,000°C 低真空/ESEM 热台
  • 软件控制的 1,100°C 高真空热台
  • 软件控制的 1,400°C 低真空/ESEM 热台
  • 集成气体注入系统:用于下列材料的电子束诱导沉积,最多支持2种气体(其他配件可能限制可用的注气系统 (GIS) 数量):
  • 纳米机械手
  • 液氮致冷台
  • 电子探针/多探针台

软件选项

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Prisma E环境扫描电镜的相关资源

网络讲座:扫描电子显微镜:选择适合您需求的技术

这一应要求举办的网络讲座旨在帮助您确定哪一款 SEM 最符合您的独特需求。我们概述了赛默飞世尔科技 SEM 技术适合多用户研究实验室,重点介绍这些广泛的解决方案如何实现性能、多功能性、原位动力学以及更快得出结果。如果您有兴趣,请观看该网络讲座:

  • 如何满足不同微区分析模式的需求(EDX、EBSD、WDS、CL 等)。
  • 如何自然状态下表征样品,从而无需进行样品制备。
  • 先进的自动化技术如何使研究人员节省时间并提高生产率。

Goldrush。颗粒混合物包括金(左侧大面积)、铜(最小颗粒)和铝/硅/镁合金(较大颗粒)。混合物加热到较高和更高温度。在某一点,金开始扩散到金属表面,从而完全改变其外观。使用安装在 Prisma E SEM 上的高真空加热载物台进行实验。

网络讲座:扫描电子显微镜:选择适合您需求的技术

这一应要求举办的网络讲座旨在帮助您确定哪一款 SEM 最符合您的独特需求。我们概述了赛默飞世尔科技 SEM 技术适合多用户研究实验室,重点介绍这些广泛的解决方案如何实现性能、多功能性、原位动力学以及更快得出结果。如果您有兴趣,请观看该网络讲座:

  • 如何满足不同微区分析模式的需求(EDX、EBSD、WDS、CL 等)。
  • 如何自然状态下表征样品,从而无需进行样品制备。
  • 先进的自动化技术如何使研究人员节省时间并提高生产率。

Goldrush。颗粒混合物包括金(左侧大面积)、铜(最小颗粒)和铝/硅/镁合金(较大颗粒)。混合物加热到较高和更高温度。在某一点,金开始扩散到金属表面,从而完全改变其外观。使用安装在 Prisma E SEM 上的高真空加热载物台进行实验。

Prisma E环境扫描电镜的相关应用

采用电子显微镜进行过程控制

采用电镜进行过程控制

现代工业需求高通量、质量卓越、通过稳健的工艺控制维持平衡。SEM扫描电镜TEM透射电镜工具结合专用的自动化软件,为过程监控和改进提供了快速、多尺度的信息。

使用电子显微镜进行质量控制和故障分析

质量控制和故障分析

质量控制和保证对于现代工业至关重要。我们提供一系列用于缺陷多尺度和多模式分析的 EM电子显微镜和光谱工具,使您可以为过程控制和改进做出可靠、明智的决策。

使用电镜进行基础材料研究

基础材料研究

越来越小的规模研究新型材料,以最大限度地控制其物理和化学特性。电子显微镜为研究人员提供了对微米到纳米级各种材料特性的重要见解。

半导体寻路

半导体探索和开发

先进的电子显微镜、聚焦离子束和相关半导体分析技术可用于识别制造高性能半导体器件的可行解决方案和设计方法。

半导体良率提升和计量

良率提升和计量

我们为缺陷分析、计量学和工艺控制提供先进的分析功能,旨在帮助提高生产率并改善一系列半导体应用和设备的产量。

半导体故障分析

半导体故障分析

越来越复杂的半导体器件结构导致更多隐藏故障引起的缺陷的位置。我们的新一代半导体分析工作流程可帮助您定位和表征影响量产、性能和可靠性的细微的电子问题。

物理和化学表征

物理和化学表征

持续的消费者需求推动了创建更小型、更快和更便宜的电子设备。它们的生产依赖高效的仪器和工作流程,可对多种半导体和显示设备进行电子显微镜成像、分析和表征。


Prisma E环境扫描电镜的相关技术

ColorSEM

通过实时采集SEM和EDS信息以及实时定量功能,ColorSEM技术将SEM图像转化为彩色图像。现在任何用户都可以实时获取元素信息,得到比以往任何时候更多的完整信息。

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对热样品进行成像

在现实条件中,研究材料通常需要在高温下工作。在热量存在时,可以通过扫描电子显微镜或DualBeam工具对材料再结晶、熔化、变形或反应的行为进行原位研究。

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环境SEM (ESEM)

环境SEM 能对自然状态的材料进行成像。它是需要测试和分析湿、脏、活性、脱气或其他不兼容真空的样品的学术和工业研究人员的理想选择。

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颗粒分析

颗粒分析在纳米材料研究和质量控制中发挥着重要作用。纳米级分辨率和卓越的电子显微镜成像可以与专用软件相结合,以快速表征粉末和微粒。

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阴极发光

阴极发光 (CL) 描述材料在电子束的激发下产生的发光现象。该信号由专业的 CL 检测器捕获,包含样品成分、晶体缺陷或光子特性的信息。

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半导体扫描电子显微镜分析和成像

赛默飞世尔科技提供适合半导体实验室每个功能的扫描电子显微镜,从一般成像任务到高级故障分析技术,都需要精确的电压对比测量。

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ColorSEM

通过实时采集SEM和EDS信息以及实时定量功能,ColorSEM技术将SEM图像转化为彩色图像。现在任何用户都可以实时获取元素信息,得到比以往任何时候更多的完整信息。

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对热样品进行成像

在现实条件中,研究材料通常需要在高温下工作。在热量存在时,可以通过扫描电子显微镜或DualBeam工具对材料再结晶、熔化、变形或反应的行为进行原位研究。

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环境SEM (ESEM)

环境SEM 能对自然状态的材料进行成像。它是需要测试和分析湿、脏、活性、脱气或其他不兼容真空的样品的学术和工业研究人员的理想选择。

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颗粒分析

颗粒分析在纳米材料研究和质量控制中发挥着重要作用。纳米级分辨率和卓越的电子显微镜成像可以与专用软件相结合,以快速表征粉末和微粒。

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阴极发光

阴极发光 (CL) 描述材料在电子束的激发下产生的发光现象。该信号由专业的 CL 检测器捕获,包含样品成分、晶体缺陷或光子特性的信息。

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半导体扫描电子显微镜分析和成像

赛默飞世尔科技提供适合半导体实验室每个功能的扫描电子显微镜,从一般成像任务到高级故障分析技术,都需要精确的电压对比测量。

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联系我们

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电子显微镜服务

为实现理想的系统性能,我们为您提供了由现场服务专家、技术支持部门和认证备件组成的全球网络支持。

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