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Thermo Scientific™のNexsa™ X線光電子分光装置は、完全に自動化されており、高いスループットを実現しており、高度な最先端の研究開発や、製造工程の問題解決にいたるまでのさまざまな有用なデータを提供します。イオン散乱分光(ISS)、紫外光電子分光(UPS)、反射エネルギー損失分光(REELS)、ラマン分光といった複数の分析手法の統合による、相関性を持った分析や先進のマイクロエレクトロニクス、超薄膜、ナノテク開発そのた多くのアプリケーションであらたな可能性を切り開くことになります。

特長

高性能X線源

高性能X線源

新しいローパワーX線モノクロメーターでは、分析エリアが10 µmから400 µmまで、5 µm刻みで選択でき、目的部位のサイズに合わせてスポットを調整可能で、最大限の信号が得られます。

最適化された電子光学系

最適化された電子光学系

高効率電子レンズ、半球型アナライザー、高性能検出器は高速で高い検出効率の分析を可能にします。

試料観察

試料観察

Nexsaの特許の光学系やXPS Snap-Mapにより、目的の部位にフォーカスを合わせることで、XPSイメージにおいて目的の場所に速やかに分析位置を設定できます。 

絶縁物分析

絶縁物分析

低速電子、低速Arイオンを1 eV以下の低速で照射可能な特許のデュアルビーム帯電中和銃は、試料の帯電を防ぎ、多くの場合に補正用のリファレンスが不要です。 

デプスプロファイル

デプスプロファイル

標準のイオン銃、もしくは単原子イオン、ガスクラスターイオン兼用デュアルモードイオン銃MAGCISにより、試料内部の情報が得られます。自動調整機能と自動ガスハンドリング機構により、優れた性能とデータの再現性を実現します。

オプションサンプルホルダー

オプションサンプルホルダー

角度分解XPS用試料ホルダー、仕事関数測定用試料ホルダー、トランスファーベッセルのオプションサンプルホルダー

デジタルコントロール

デジタルコントロール

システムコントロール、データ取得、解析、レポート作成はThermo Scientific Avantageデータシステムにより制御されています。 


仕様

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アナライザータイプ
  • 180°ダブルフォーカス半球型アナライザー、128チャンネル検出器
X線源タイプ
  • マイクロフォーカス型、低出力Al K-Alpha X線源
X線スポットサイズ
  • 10~400 µm(5 µm刻み)
デプスプロファイル
  • EX06単原子イオン銃、もしくはMAGCISデュアルモードイオン銃
最大分析エリア
  • 60 x 60 mm
最大試料厚み
  • 20 mm  
真空システム
  • 2台のターボ分子ポンプ、Tiサブリメーションポンプとバッキングポンプ 
オプションアクセサリー
  • UPS、ISS、REELS、ラマン分光、MAGCIS、角度分解XPS用試料ホルダー、仕事関数測定用試料ホルダー、トランスファーベッセル、グローブボックスアダプター 
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画像・ビデオ

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サンプル


電池の研究

SEM、TEM、microCT、ラマン分光、XPS、および3次元データの可視化と解析により、マルチスケールの情報を得られます。これは電池の開発に大きく貢献します。どうやってもっと優れた電池を開発するための構造情報および組成情報を提供するかをご覧ください。

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金属材料の研究

金属材料を効果的に生産するには、介在物および析出物を正確にコントロールする必要があります。当社の自動化ソリューションを利用することで、ナノ粒子の計数、EDS元素分析、TEM試料作製など、金属分析に不可欠なさまざまなタスクを実行できます。

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高分子材料の研究

高分子材料の微細構造によって、材料のバルク特性と性能が決まります。電子顕微鏡法により、R&Dおよび品質管理のアプリケーションにおける、ポリマーの形態および組成の包括的なマイクロスケール分析が可能になります。

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地質学研究

地球科学は、岩石試料内の構造特徴の正確なマルチスケール観察に頼っています。SEM-EDSを自動化ソフトウェアと組み合わせることで、岩石学および鉱物学の研究におけるテクスチャおよび鉱物組成の直接的かつ大規模な分析が可能になります。

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石油およびガス

石油およびガスの需要が続く中で、炭化水素を効率的かつ効果的に抽出する必要があります。サーモフィッシャーサイエンティフィックは、さまざまな石油科学アプリケーションに対応する、幅広い顕微鏡および分光法ソリューションを提供しています。

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ナノ粒子

材料のナノスケールの性質と特性はマクロスケールの特性と根本的に異なります。それで材料解析を行う時、S/TEMの技術とエネルギー分散型X線分光法を組み合わせることが効果的であり、ナノメートルまたはサブナノメートルの分解能のデータを得ることができます。

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法医学

法医学捜査の一環として、電子顕微鏡で取得した犯罪現場の微量の証拠物の分析データとその比較を利用できます。適合する試料には、ガラスおよび塗料片、工具痕跡、薬物、爆発物、およびGSR(ガンショット残渣物)があります。

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触媒研究

触媒は現代の工業プロセスに不可欠です。触媒の活性は、触媒粒子の微細な組成と形態に依存します。電子顕微鏡のEDS分析は、これらの特性の研究に最適です。

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繊維およびフィルター

合成繊維の直径、形態、密度は、フィルターの寿命と機能性を決定する重要なパラメーターです。走査電子顕微鏡法(SEM)は、これらの特徴を迅速かつ容易に調査するための理想的な手法です。

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2D材料

新規材料研究では、低次元材料の構造への関心が高まっています。プローブの収差補正器およびモノクロメーターを備えた走査透過電子顕微鏡は、高分解能の二次元材料のイメージングを可能にします。

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自動車用材料の試験

現代の自動車部品のすべては、安全性、効率性、性能を考慮して設計されています。電子顕微鏡と分光法を用いた自動車材料の詳細な解析は、重要なプロセスの決定、製品の改善、および新材料開発に必要な情報を提供します。

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手法

マルチテクニックによる表面分析ワークフロー

表面の広範囲な評価のニーズを満たすため、Thermo Scientific ESCALAB CXi XPSマイクロプローブまたはThermo Scientific Nexsa表面分析システムを用いたマルチテクニックワークフローを確立しました。これら装置はタイムリーかつ効率的な方法で包括的な分析を提供するための、マルチテクニックワークステーションとして設計されています。

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X線光電子分光法

X線光電子分光法(XPS)では、試料の最表面10 nmの元素組成、化学状態、電子状態に関する情報が得られます。深さ方向分析により、XPS分析は層の組成に関する知見を得られるようになります。

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マルチテクニックによる表面分析ワークフロー

表面の広範囲な評価のニーズを満たすため、Thermo Scientific ESCALAB CXi XPSマイクロプローブまたはThermo Scientific Nexsa表面分析システムを用いたマルチテクニックワークフローを確立しました。これら装置はタイムリーかつ効率的な方法で包括的な分析を提供するための、マルチテクニックワークステーションとして設計されています。

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X線光電子分光法

X線光電子分光法(XPS)では、試料の最表面10 nmの元素組成、化学状態、電子状態に関する情報が得られます。深さ方向分析により、XPS分析は層の組成に関する知見を得られるようになります。

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参考資料

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